Назначение
Микроскоп электронный растровый S-4800 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Описание
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, двух детекторов вторичных электронов, детектора отраженных электронов, детектора прошедших электронов (для режима «на-просвет»), вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Микроскоп обеспечивает работу в режимах регистрации вторичных и отраженных электронов и в режиме «напросвет».
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Рис.1. Общий вид микроскопа электронного растрового S-4800
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений | S-4800 Scanning Electron Micro scope | 03.03 | 0142742361B2079CBF 1B35EBDD7055A166C 855EF41C884D8C8BF 0B3366E85AF4 | ГОСТ Р 34.11 94 |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
| Наименование характеристики | Значение |
| Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 15 кВ (образец - кремний), нм, не более | 10 |
| Диапазон измерений линейных размеров, мкм | 0,05^1000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: - в диапазоне от 0,05 до 0,1 мкм - в диапазоне от 0,1 до 0,3 мкм - в диапазоне от 0,3 до 1000 мкм | ±10 ±6 ±4 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В | 220+22-33 |
| Потребляемая мощность, кВА | 4 |
| Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм: - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ - видеоконтрольный блок | 840x966x1660 1000x960x1200 |
| Масса, кг | 860 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа | 20 ± 5 60 84^107 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на электронно-оптическую систему (колонну) прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый S-4800, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Сведения о методах измерений
Техническое описание «Микроскоп электронный растровый S-4800 фирмы «HITACHI», Япония»
Нормативные документы
Техническое описание «Микроскоп электронный растровый S-4800 фирмы «HI
TACHI», Япония»
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
54030-13
