Назначение
Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1 (далее микроскоп) предназначен для измерений глубины рельефа поверхности отражающих объектов.
Область применения - в машиностроении, приборостроении и лабораториях научно-исследовательских институтов, занимающихся вопросами оценки и измерения параметров микрорельефа поверхности.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС-камеры, оцифровываются и поступают в
Приложение к свидетельству № Лист 2
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
Технические характеристики
| Линейное поле зрения в плоскости предмета, мкм | 175x130 |
| Максимальная измеряемая глубина рельефа, мкм | 20 |
| Пределы допускаемой погрешности по глубине рельефа, в долях длины волны А | ±АУ350 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности в плоскости изображения, мкм | ±0,4 |
| Числовая апертура микрообъектива | 0,65 |
| Пределы перемещения для фокусировки, мм | 3 |
| Увеличение, крат | 33,4 |
| Пределы перемещения интерференционной головки по вертикали, мм | ±1,5 |
| Цена деления шкалы барабана микрометрического винта интерференционной головки, мм | 0,003 |
| Осветитель | твердотельный лазер |
| длина волны, мкм | 0,473 |
| мощность, мВт | 20 |
| Размерность изображения, пиксел | 1392x1040 |
| Время измерения и обработки, с | 30 |
| Число обрабатываемых интерференционных картин | 9 |
Приложение к свидетельству № Лист 3
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
| Частота сети питания, Гц | 50±1 |
| Напряжение в сети питания, В | 220±20 |
| Потребляемая мощность, не более Вт | 250 |
Комплектность
| Микроскоп МИИ-4М (ЛОМО) | 1 шт. |
| Цифровая ПЗС-камера Видеоскан-205-USB | 1 шт. |
| Осветительный лазерный блок | 1 шт. |
| Волоконно-оптический жгут | 1 шт. |
| Плата управления пьезоприводом | 1 шт. |
| Плата контроллера PCI Ю | 1 шт. |
| Компьютер | 1 шт. |
| Монитор | 1 шт. |
| Соединительные кабели | 2 шт. |
| Руководство по эксплуатации | 1 шт. |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации.
Поверка
Поверка микроскопа производится в соответствии с разделом 4 «Методика поверки» Руководства по эксплуатации, утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в июле 2010 г.
Основные средства поверки: рельефная мера высоты SHS-180QC , объект-микрометр ОМО ДТ7.216.009ПС.
Межповерочный интервал - Иод.
Нормативные документы
Приложение к свидетельству № Лист 4
об утверждении типа средств измерений Всего листов 4
Руководство по эксплуатации микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1.
Заключение
Тип микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
91286-24
