Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1

Основные
Тип МИА-1
Год регистрации 2010
Дата протокола 03д от 29.07.10 п.74
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 40262
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск тех.документация ФГУП
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1 (далее микроскоп) предназначен для измерений глубины рельефа поверхности отражающих объектов.

Область применения - в машиностроении, приборостроении и лабораториях научно-исследовательских институтов, занимающихся вопросами оценки и измерения параметров микрорельефа поверхности.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС-камеры, оцифровываются и поступают в

Приложение к свидетельству №                       Лист 2

об утверждении типа средств измерений                            Всего листов 4

персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.

Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.

Технические характеристики

Линейное поле зрения в плоскости предмета, мкм

175x130

Максимальная измеряемая глубина рельефа, мкм

20

Пределы допускаемой погрешности по глубине рельефа, в долях длины волны А

±АУ350

Пределы допускаемой абсолютной погрешности в плоскости изображения, мкм

±0,4

Числовая апертура микрообъектива

0,65

Пределы перемещения для фокусировки, мм

3

Увеличение, крат

33,4

Пределы перемещения интерференционной головки по вертикали, мм

±1,5

Цена деления шкалы барабана микрометрического винта интерференционной головки, мм

0,003

Осветитель

твердотельный лазер

длина волны, мкм

0,473

мощность, мВт

20

Размерность изображения, пиксел

1392x1040

Время измерения и обработки, с

30

Число обрабатываемых интерференционных картин

9

Приложение к свидетельству №                       Лист 3

об утверждении типа средств измерений                            Всего листов 4

Частота сети питания, Гц

50±1

Напряжение в сети питания, В

220±20

Потребляемая мощность, не более Вт

250

Комплектность

Микроскоп МИИ-4М (ЛОМО)

1 шт.

Цифровая ПЗС-камера Видеоскан-205-USB

1 шт.

Осветительный лазерный блок

1 шт.

Волоконно-оптический жгут

1 шт.

Плата управления пьезоприводом

1 шт.

Плата контроллера PCI Ю

1 шт.

Компьютер

1 шт.

Монитор

1 шт.

Соединительные кабели

2 шт.

Руководство по эксплуатации

1 шт.

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации.

Поверка

Поверка микроскопа производится в соответствии с разделом 4 «Методика поверки» Руководства по эксплуатации, утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в июле 2010 г.

Основные средства поверки: рельефная мера высоты SHS-180QC , объект-микрометр ОМО ДТ7.216.009ПС.

Межповерочный интервал - Иод.

Нормативные документы

Приложение к свидетельству №                       Лист 4

об утверждении типа средств измерений                            Всего листов 4

Руководство по эксплуатации микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1.

Заключение

Тип микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание