Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX

Основные
Тип
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год

Назначение

Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и обеспечения трехмерной визуализации поверхности твердотельных объектов.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на использовании конфокальной диафрагмы, размещённой в плоскости промежуточного изображения и подавляющей поток фонового рассеянного света, излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Данная диафрагма играет роль пространственного фильтра: чем меньше диаметр диафрагмы, тем меньше размеры области, из которой выходит излучение, способное пройти через указанную диафрагму и сделать вклад в информативный сигнал.

В конфокальном микроскопе в каждый момент времени происходит регистрация изображения из одной точки объекта. Полное изображение объекта в конфокальном микроскопе формируется путем последовательной регистрации света, исходящего из этих элементарных объемов с применением сканирующей системы. Это позволяет получить серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости внутри образца (т. н. оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное изображение образца из этих серий.

В микроскопе применена лазерная конфокальная оптическая система, использующая фиолетовый лазерный диод и высокочувствительный фотоумножитель.

Конструктивно микроскоп состоит из базового блока, блока освещения, блока питания, блока электроники MC- 1000A, пульта управления и персонального компьютера с программным обеспечением для управления работой микроскопа. Базовый блок, реализующий конфокальную оптическую систему, включает столик образцов с держателем пластин 150 мм, перемещаемый по осям X, Y, Z ручным приводом или автоматически, и измерительную оптическую головку с набором объективов.

Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунке 1.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа конфокального лазерного сканирующего VL2000DX

Знак поверки наносится в виде наклейки или оттиска поверительного клейма на свидетельство о поверке.

Место нанесения знака утверждения типа

Программное обеспечение

Управление микроскопом и обработки результатов измерений осуществляется с помощью компьютера с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «LM-eye». ПО «LM-eye» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z, в том числе определять в автоматическом режиме значение шага шаговых структур, измерять параметры шероховатости поверхности, толщину пленок, производить сшивку изображений, полученных в различных положениях столика объектов в условиях частичного перекрытия изображений. ПО «LM-eye» не может быть использовано отдельно от микроскопа.

Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.

Таблица 1

Идентификационное наименование ПО

LM-eye

Номер версии (идентификационный номер) ПО

4.09

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

-

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

-

Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» по Р.50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики_

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

от 0,2 до 4500

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY , мкм

-    объектив 5х

-    объектив 10х

-    объектив 20х

-    объектив 50х

-    объектив 100х

от 20 до 1280 от 10 до 640 от 3 до 320 от 2 до 128 от 1 до 64

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм (где L - измеряемая длина, мкм)

±(0,1+0,005-L)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм (где L - измеряемая длина, мкм)

±(0,3+0,015-L)

Наименование характеристики

Значение

Привод столика образцов

механический

Максимальная высота образцов, мм

100

Масса, кг, не более

100

Габаритные размеры (ДхШхВ) основных составных частей, мм, не более:

-    базовый блок

-    блок электроники MC-1000A

-    пульт управления

-    блок освещения

-    блок питания

540х345х1030

450х430х105

150х210х45

255х120х65

215х195х90

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, %, не более

от +18 до +22 80

Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В

от 100 до 240

Потребляемая мощность, Вт, не более

600

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель базового блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий

VL2000DX

1 шт.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

Методика поверки

МП 80/072-1-2020

1 экз.

Сведения о методах измерений

приведены в документе: «Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX. Руководство по эксплуатации», раздел 2

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя, Lasertech Corporation, Япония.

Развернуть полное описание