Назначение
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-2OOA (далее микроскоп) предназначен для измерения профиля поверхности различных отражающих поверхностей в лабораториях научно-исследовательских институтов, оптическом приборостроении и производстве.
Описание
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-2OOA представляет собой конфокальный микроскоп тандемного типа. Конфокальная микроскопия - вид оптической микроскопии, в которой изображение объекта формируется послойно за счет сканирования и пространственной фильтрации прошедшего, отраженного или испускаемого объектом излучения. Использование пространственной фильтрации позволяет увеличить разрешающую способность и контраст по сравнению с обычным световым микроскопом.
В составе микроскопа имеется конфокальный сканирующий модуль позволяющий переносить изображения точек образца находящихся в фокальной плоскости объектива, отсекая паразитный сигнал от остальных точек образца. Таким образом изменяя расстояние от объектива до образца производится получение различных сечений образца вдоль вертикальной оси с последующим построением трехмерного изображения исследуемого объекта путем объединения полученных сечений.
Рис. 1 - Внешний вид микроскопа VCM-2OOA
Программное обеспечение
Микроскоп оснащен программным обеспечением VCM-2OOA версии v3.
Весь исходный код и вычислительный алгоритм VCM-2OOA расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах, которые не могут быть модифицированы. VCM-2OOA задает пользовательские уровни. Пользователи административного уровня блокируют редактирование для пользователей низших уровней и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
| VCM-200A | VCM-200A Hypernated-System (R) HS200 | v3 | D2263A1FCEF3 E920E75652585 C29911B | MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения микроскопа соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
| Наименование параметра | Значение параметра |
| Линейное поле зрения в плоскости X и Y , мкм | Объектив 10х 773х587 Объектив 20х 336х292 Объектив 50х 146х117 Объектив 100х 72х58 |
| Диапазон измерений по оси Z, мкм | Свыше 0 до 6 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм | ±0,2 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z , мкм | ±0,07 |
| Масса, кг | 50 |
| Питание, В | 240 ± 5 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус прибора методом наклейки.
Комплектность
| Наименование | Кол-во | Примечание |
| Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-2OOA | 1 шт. | |
| Цифровая ПЗС-камера Pixelink | 1 шт | |
| Компьютер | 2 шт | |
| Руководство по эксплуатации | 1 экз. | |
| Методика поверки | 1 экз | |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48291-11 «Микроскоп конфокальный сканирующий VCM 200A. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 г. и включенной в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: Мера ширины и периода МШПС-2.0К 7, Период шаговой структуры: 2000±10 нм.
Сведения о методах измерений
Метод измерений изложен в документе «Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200А. Руководство по эксплуатации» в разделе 2.4.
Нормативные документы
1. ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
54030-13
