Назначение
Микроскоп оптический AxioImager m2M (далее - прибор) предназначен для измерений линейных размеров функциональных элементов нано- и микроэлектромеханических систем.
Описание
Принцип действия прибора основан на явлении преломления световых лучей системой оптических элементов и построения увеличенного изображения системой объектив-окуляр. Объект изучения помещается под объектив, где он освещается с помощью источника искусственного светового потока и системы зеркал (конденсора). Основным элементом оптического микроскопа в данном случае является оптическая система, нижней частью которой является объектив, оснащенный системой оптических линз. Различная кратность микроскопа достигается установкой объективов необходимого увеличения в рабочее положение с помощью, револьверного устройства, верхняя часть которого заканчивается специальной насадкой, позволяющей вести изучение объекта как при помощи глаза, так и с помощью цифровой камеры, подающей изображение на ПЭВМ.
Прибор состоит из основания с встроенными осветителями и кронштейном с предметным столиком, окуляров, револьверного устройства и набора объективов к нему, двух камер с ПЗС-матрицей (верхняя и боковая), источников питания током осветителей и рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.
Рисунок 1. Общий вид микроскопа оптического AxioImager m2M.
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений | Carl Zeiss AxioVision | 4.8.3 | 233D2490AD2CC70501 5D2D1B1D9DE5F9BD F89AEF2A7D439F7469 1EA63DFAFDCF | ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон увеличений, крат | от 50 до 1000 |
| Максимальное разрешение, мкм | 0,3 |
| Диапазон измерений линейных размеров, мкм | от 0,1 до 200 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров, мкм: в диапазоне от 1 до 10 в диапазоне от 10 до 200 | ± 0,1 ± 1 |
| Размеры исследуемых объектов, мкм | от 500 до 75000 |
| Потребляемая мощность, Вт | 190 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, оС - атмосферное давление, мм рт. ст. - относительная влажность воздуха, %, не более - напряжение сети питания, В - частота сети питания, Гц | 22 ± 3 от 730 до 800 70 220 ± 10 50 ± 1 |
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на основание прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.
Комплектность
В комплект прибора входят: микроскоп оптический AxioImager m2M, комплект ЗИП, ПЭВМ, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 48389-11 «Микроскоп оптический AxioImager m2M фирмы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в сентябре 2011 г.
Средство поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Сведения о методах измерений
Техническое описание «Микроскоп оптический AxioImager m2M производства фирмы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия», раздел 6.
Нормативные документы
Техническое описание «Микроскоп оптический AxioImager m2M производства фирмы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия».
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
54182-13
