Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV

Основные
Тип INM 300 DUV
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 740 п. 99 от 11.09.2012
Номер сертификата 48066
Срок действия сертификата ..
Страна-производитель  Германия 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E

Назначение

Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV, (далее по тексту -микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

Описание

Принцип работы микроскопа основан на освещении объекта через объектив микроскопа излучением видимого или ультрафиолетового диапазона длин волн и проведением измерений структуры его поверхности в отраженном свете.

Оптическая часть микроскопа содержит канал освещения объекта и канал измерений. Канал измерений предназначен для визуального наблюдения (с помощью окуляра), а также для измерения и документирования с помощью цифровой видеокамеры или цифровой фотокамеры. Канал освещения предназначен для освещения объекта. Интенсивность освещения поверхности объекта контроля регулируется потенциометром. Изображение с цифровой фотокамеры вводится в ПЭВМ через USB - порт или через устройство цифрового ввода видеосигнала (УЦВВ) в режиме реального времени.

Оптическое изображение проецируется на видеокамере. С помощью программного обеспечения, учитывая масштабный коэффициент размера цифрового изображения к размеру реального объекта, определяется линейный размер твердотельных микроструктур.

В состав микроскопа входят персональный компьютер, программное обеспечение. В микроскопе реализованы следующие режимы оптической микроскопии:

- микроскопия в видимом диапазоне длин волн;

- микроскопия в режиме глубокого ультрафиолета.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа оптического ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV

Заводской номер прибора, место пломбирования

Рисунок 2 - Маркировка и пломбирование микроскопа оптического ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV

Марка изготовителя и наименование прибора

Программное обеспечение

Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV оснащен программным обеспечением High Performance Image Control.

Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.

Таблица 1

Наименование

ПО

Идентификац ионное наименование ПО

Номер версии (идентификацион ный номер) ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления цифрового идентификато ра ПО

High Performance Image Control

HiPic 32

7.1.0

D8220560DF13E1C6AE52DA AC03CE8EA9

MD5

ImageScope

ImageScope M

1.0. 1

E60FA5E92F13F275C5E2F452 3EF93BE4

MD5

Изменение ПО возможно только с помощью специальных технических средств сервисными инженерами фирмы-изготовителя. Пользователь долступа к ПО не имеет.

ПО защищено USB-ключом.

Защита программного обеспечения микроскопа оптического ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 2. Таблица 2

Наименование характеристики

Значение характеристики

Диапазон измерений линейных размеров для объектива 5х, мкм по оси Х

3 - 1290

по оси Y

3 - 969

Диапазон измерений линейных размеров для объектива 10х, мкм по оси Х

2 - 645

по оси Y

2 - 494

Диапазон измерений линейных размеров для объектива 20х, мкм по оси Х

2 - 323

по оси Y

2 - 242

Диапазон измерений линейных размеров для объектива 50х, мкм по оси Х

0,2 - 130

по оси Y

0,2 - 97

Диапазон измерений линейных размеров для объектива 150х, мкм по оси Х

0,5 - 43,7

по оси Y

0,5 - 32,8

Диапазон измерений линейных размеров для объектива 150х DUV, мкм по оси Х

0,1 - 28,4

по оси Y

0,1 - 22,7

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям Х и Y, мкм для объектива 5х

± 2

для объектива 10х

± 1

для объектива 20х

± 1

для объектива 50х

± 0,1

для объектива 150х

± 0,05

для объектива 150х DUV

± 0,03

СКО измерений линейных размеров по осям Х и Y, мкм, не более для объектива 5х

0,7

для объектива 10х

0,3

для объектива 20х

0,3

для объектива 50х

0,03

для объектива 150х

0,0012

для объектива 150х DUV

0,001

Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В

220 ± 22

частотой, Гц

50 ± 1

Потребляемая мощность, Вт, не более

600

Габаритные размеры микроскопа (ДхШхВ), мм, не более

950x650x550

Масса, кг, не более

85

Условия эксплуатации:

Температура окружающей среды, 0С

Максимальная относительная влажность воздуха при температуре 25 0С,

20 ± 5

%

80

Атмосферное давление, кПа

101,3± 4

Знак утверждения типа

наносится на корпус микроскопа методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

Таблица 3

Наименование

Количество, шт.

Микроскоп INM 300 DUV

1

Персональный компьютер

1

Монитор

2

Элементы контроля: клавиатура Vistec INM 300 DUV встроенные функциональные клавиши, трекбол

1

Комплект оптических элементов: объективы, призмы, оптические фильтры, светоделители

1

Упаковка

1

Руководство по эксплуатации

1

Методика поверки МП 62.Д4-12

1

Поверка

осуществляется по документу: «Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV. Методика поверки МП 62.Д4-12», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 16 июля 2012 г.

Основные средства поверки:

1 Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К

Основные метрологические характеристики:

Среднее значение шага 2,001 мкм, предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры ± 0,002 мкм.

2 Мера графитовая S106.

Основные метрологические характеристики:

Номинальное значение шага 0,463 мкм, предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры ± 0,020 мкм.

Сведения о методах измерений

«Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV. Руководство по эксплуатации», раздел 2.3 «Подготовка к работе» и 2.4 «Порядок работы».

Нормативные документы

1 Техническая документация фирмы - изготовителя.

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям

Развернуть полное описание