Назначение
Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D предназначен для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением.
Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D может использоваться для контроля параметров топографии в плоскости XY при|производстве изделий микроэлектроники (пластин), а также при проведении фундаментальных и прикладных исследований для разработки данных элементов.
Описание
Действие сканирующего электронного микроскопа NanoSEM-3D основано на принципе сканирования исследуемой поверхности пучком электронов, регистрации пространственного распределения электронов и получения топо-граммы поверхности образца.
Сканирующий электронный микроскоп NanoSEM-3D состоит из основного блока, пульта управления, системы держателя подложек и блока электроники. Сканирующий электронный микроскоп NanoSEM-3D реализует функцию измерения топографии поверхности кремниевой подложки методом сканирования.
Основные метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений по осям X и Y, мкм (не менее) | 0- 10 |
| Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, нм | 3 |
Технические характеристики
| Габаритные размеры основного блока, мм | 3269x1786x2200 |
| Напряжение питания, В | 380±10% |
| Условия эксплуатации: Класс чистоты по ГОСТ 17216-2001 | 10 |
| Рабочая частота, Гц | 50+1% |
| Масса основного блока, кг (не более) | 3400 |
| Максимальная потребляемая мощность, кВ А | 12 |
Знак утверждения типа
Знак Утверждения типа наносится на Руководство по эксплуатации прибора типографским методом, на основание рамы прибора методом наклейки.
Комплектность
Поставляются в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:
| №п/п | Наименование комплектующей части поставки | Количество |
| 1 | Базовая конструкция | 1 |
| 2 | Система бесперебойного пигания(иР8) | 1 |
| 3 | Система охлаждения | 1 |
| 4 | Насос робота | 1 |
| 5 | Насос главной камеры | 1 |
| 6 | Насос камеры загрузки/выгрузки | 1 |
Поверка
Поверка приборов производится в соответствии с документом по поверке «Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП ВНИИМС в августе 2009 г..
Основные средства поверки: специальная мера периода на основе кремниевой пластины с одномерной протравленной решеткой с периодом 0.1 мкм и погрешностью, не превышающей 1 нм..
Межповерочный интервал 2 года
Заключение
Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D (Зав. № U630) утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.
22608-02
