Назначение
Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Э1 предназначен для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Результаты измерений могут быть использованы для определения геометрических параметров в нанометровом диапазоне.
Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Э1 применяется при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для технологического контроля.
Описание
Действие сканирующего зондового микроскопа НаноСкан-3Э1 основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондом, регистрации параметров взаимодействия зонда с поверхностью и восстановлении по результатам регистрации геометрии поверхности образца и карты распределения физико-механических и электрических свойств, создании микрорельефа на поверхности исследуемого материала.
Сканирующий зондовый микроскоп НаноСкан-3Э1 представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему и состоит из рамы, измерительной головки, управляющей электроники, набора датчиков-кантилеверов, гетеродинного интерферометра и персонального компьютера. В сканирующем зондовом микроскопе НаноСкан-3Э1 реализован следующий режим сканирующей зондовой микроскопии: полуконтактная АСМ.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.
Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа сканирующего зондового НаноСкан-3Э1
Программное обеспечение
ПО предназначено для обработки данных о перемещениях пьезостолика, полученных с емкостного и интерференционного датчиков и последующего восстановления профилей исследуемых поверхностей. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы NSDevCtrl.exe, служебных файлов NSMover.dll, NSDevComm.dll, Motor_vc.dll, index.ini, DeviceSetup.ini, MoverSetup.ini, Signals.ini, Variables.ini и ViewerSetup.ini обеспечивающих управление прибором, хранение настроек и обработку результатов. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование Программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения |
| NanoScan Device | NSDevCtrl.exe | 1.0 | CC88E236 | CRC32 |
Идентификация ПО: осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении прибора.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений согласно МИ 3286-2010: С.
Технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон сканирования | 500х500х50 мкм |
| Разрешение при сканировании в плоскости XY | 3 нм |
| Разрешение при сканировании по оси Z | 0,2 нм |
| Погрешность измерения линейных размеров в плоскости XY (не хуже) | ± 0,1% |
| Погрешность измерения линейных размеров по оси Z (не хуже): | ± 0,1% |
Знак утверждения типа
наносится и на раму прибора методом наклейки.
Комплектность
| № п/п | Наименование комплектующей части поставки | Количество |
| 1 | Микроскоп сканирующий зондовый «НаноСкан-3ЭЬ» | 1 |
| 2 | Г етеродинный интерферометр | 1 |
| 3 | Плата управляющей электроники | 1 |
| 4 | Соединительные кабели | 1 |
| 5 | Сменные пьезокерамические зонды с алмазными иглами | 2 |
| 6 | Программное обеспечение для управления прибором и обработки данных | 1 |
| 7 | Руководство по эксплуатации | 1 |
| 8 | Набор рельефных мер типа TGZ (01,02) | 1 |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 48284-11 «Микроскоп сканирующий зондовый HaHoCkaH-3Di. Методика поверки», утвержденной ВНИИМС в сентябре 2011 года и входящей в комплект документации к прибору.
Основные средства поверки: рельефные меры TGZ01, (высота ступеньки 18,4 ± 1,0 нм, период 3000,07±0,18 нм), TGZ02 (высота ступеньки 101,1 ± 1,6 нм период 3000,07±0,18 нм).
Сведения о методах измерений
Методики измерений изложены в документе «Микроскоп сканирующий зондовый На-HoC^H^Di. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм
Рекомендации к применению
Вне сферы государственного регулирования
776-52
