Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Di. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Di

Основные
Тип НаноСкан-3Di
Год регистрации 2011
Дата протокола Приказ 6335 от 25.11.11 п.16
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 44501
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск ГОСТ 8.296-78
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Э1 предназначен для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Результаты измерений могут быть использованы для определения геометрических параметров в нанометровом диапазоне.

Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Э1 применяется при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для технологического контроля.

Описание

Действие сканирующего зондового микроскопа НаноСкан-3Э1 основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондом, регистрации параметров взаимодействия зонда с поверхностью и восстановлении по результатам регистрации геометрии поверхности образца и карты распределения физико-механических и электрических свойств, создании микрорельефа на поверхности исследуемого материала.

Сканирующий зондовый микроскоп НаноСкан-3Э1 представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему и состоит из рамы, измерительной головки, управляющей электроники, набора датчиков-кантилеверов, гетеродинного интерферометра и персонального компьютера. В сканирующем зондовом микроскопе НаноСкан-3Э1 реализован следующий режим сканирующей зондовой микроскопии: полуконтактная АСМ.

Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.

Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа сканирующего зондового НаноСкан-3Э1

Программное обеспечение

ПО предназначено для обработки данных о перемещениях пьезостолика, полученных с емкостного и интерференционного датчиков и последующего восстановления профилей исследуемых поверхностей. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы NSDevCtrl.exe, служебных файлов NSMover.dll, NSDevComm.dll, Motor_vc.dll, index.ini, DeviceSetup.ini, MoverSetup.ini, Signals.ini, Variables.ini и ViewerSetup.ini обеспечивающих управление прибором, хранение настроек и обработку результатов. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.

Наименование программного обеспечения

Идентификационное наименование Программного обеспечения

Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения

Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения

NanoScan Device

NSDevCtrl.exe

1.0

CC88E236

CRC32

Идентификация ПО: осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении прибора.

Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений согласно МИ 3286-2010: С.

Технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон сканирования

500х500х50 мкм

Разрешение при сканировании в плоскости XY

3 нм

Разрешение при сканировании по оси Z

0,2 нм

Погрешность измерения линейных размеров в плоскости XY (не хуже)

± 0,1%

Погрешность измерения линейных размеров по оси Z (не хуже):

± 0,1%

Знак утверждения типа

наносится и на раму прибора методом наклейки.

Комплектность

№ п/п

Наименование комплектующей части поставки

Количество

1

Микроскоп сканирующий зондовый «НаноСкан-3ЭЬ»

1

2

Г етеродинный интерферометр

1

3

Плата управляющей электроники

1

4

Соединительные кабели

1

5

Сменные пьезокерамические зонды с алмазными иглами

2

6

Программное обеспечение для управления прибором и обработки данных

1

7

Руководство по эксплуатации

1

8

Набор рельефных мер типа TGZ (01,02)

1

Поверка

осуществляется в соответствии с документом МП 48284-11 «Микроскоп сканирующий зондовый HaHoCkaH-3Di. Методика поверки», утвержденной ВНИИМС в сентябре 2011 года и входящей в комплект документации к прибору.

Основные средства поверки: рельефные меры TGZ01, (высота ступеньки 18,4 ± 1,0 нм, период 3000,07±0,18 нм), TGZ02 (высота ступеньки 101,1 ± 1,6 нм период 3000,07±0,18 нм).

Сведения о методах измерений

Методики измерений изложены в документе «Микроскоп сканирующий зондовый На-HoC^H^Di. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм

Рекомендации к применению

Вне сферы государственного регулирования

Развернуть полное описание