Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400

Основные
Тип JSPM 5400
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 1133 п. 07 от 14.12.2012
Номер сертификата 49135
Срок действия сертификата ..
Страна-производитель  Япония 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E

Назначение

Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400 (далее - микроскоп) предназначен для измерений параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на измерении силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение микрорельефа поверхности.

Микроскоп состоит из ПЗС-камеры, системы увеличения изображения на штативе, колпака для стабилизации атмосферы, объектного столика, основания микроскопа, стола на воздушной подушке, источника лазерного излучения, системы визуализации изображения, блока управления, ПЭВМ, системы визуализации технических характеристик и блока управления осветителем.

Рисунок 1. Общий вид микроскопа зондового сканирующего атомно-силового JSPM.

Программное обеспечение

Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений

WinSPMII

V2.06.

070203.0

328858B259237FD96 B23B39DE33E0D18E 8EB1B6E51300BC5B 665FF1A3FF876EA

по ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

от 0 до 20

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

от 0 до 3

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, %

±5

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, %

±5

Разрешение в плоскости XY, нм, не менее

10

Разрешение по оси Z, нм, не менее

от 1 до 2

Перемещение держателя образца по горизонтали, мм

±3

Перемещение держателя образца по вертикали, мм

±5

Геометрические размеры исследуемых образцов (длина х ширина х высота), мм, не более

25х25х5

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В

220+22-22

Потребляемая мощность, кВА

1,5

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, оС

- атмосферное давление, мм рт. ст.

- относительная влажность воздуха, %

20 ± 5 от 730 до 800 65±15

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на основание микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.

Комплектность

В комплект поставки входят: микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400, комплект ЗИП, расходные материалы, программное обеспечение, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по ГОСТ Р 8.630-2007 «ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки».

Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.

Сведения о методах измерений

Методы измерений изложены в Техническом паспорте «Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400 фирмы JEOL Ltd., Япония».

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Рекомендации к применению

Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Развернуть полное описание