Назначение
Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400 (далее - микроскоп) предназначен для измерений параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на измерении силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение микрорельефа поверхности.
Микроскоп состоит из ПЗС-камеры, системы увеличения изображения на штативе, колпака для стабилизации атмосферы, объектного столика, основания микроскопа, стола на воздушной подушке, источника лазерного излучения, системы визуализации изображения, блока управления, ПЭВМ, системы визуализации технических характеристик и блока управления осветителем.
Рисунок 1. Общий вид микроскопа зондового сканирующего атомно-силового JSPM.
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений | WinSPMII | V2.06. 070203.0 | 328858B259237FD96 B23B39DE33E0D18E 8EB1B6E51300BC5B 665FF1A3FF876EA | по ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | от 0 до 20 |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм | от 0 до 3 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % | ±5 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, % | ±5 |
| Разрешение в плоскости XY, нм, не менее | 10 |
| Разрешение по оси Z, нм, не менее | от 1 до 2 |
| Перемещение держателя образца по горизонтали, мм | ±3 |
| Перемещение держателя образца по вертикали, мм | ±5 |
| Геометрические размеры исследуемых образцов (длина х ширина х высота), мм, не более | 25х25х5 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В | 220+22-22 |
| Потребляемая мощность, кВА | 1,5 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, оС - атмосферное давление, мм рт. ст. - относительная влажность воздуха, % | 20 ± 5 от 730 до 800 65±15 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на основание микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.
Комплектность
В комплект поставки входят: микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400, комплект ЗИП, расходные материалы, программное обеспечение, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по ГОСТ Р 8.630-2007 «ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки».
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Сведения о методах измерений
Методы измерений изложены в Техническом паспорте «Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400 фирмы JEOL Ltd., Япония».
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
33310-06
