Назначение
Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA) (далее - микроскопы) предназначены для количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Описание
Принцип получения изображения в микроскопах заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором при синхронном с монитором сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопов.
Микроскопы представляют собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.
В состав микроскопов входят электронно-оптическая система (колонна), камера объектов с механизмом перемещения объектов, детекторы вторичных и отраженных электронов, вакуумная система, видеоконтрольное устройство, блок питания.
Микроскопы обеспечивают работу в режимах регистрации вторичных и обратно рассеянных электронов.
Отличие модификаций:
- JSM-6510Plus - работает только в режиме высокого вакуума;
- JSM-6510Plus/A - работает только в режиме высокого вакуума и комплектуется встроенным энергодисперсионным спектрометром (ЭДС);
- JSM-6010LV, JSM-6010Plus/LV, JSM-6510Plus/LV - работают в режимах высокого и низкого вакуума;
- JSM-6010LA, JSM-6010 Plus LA, JSM-6510Plus/LA - работают в режимах высокого так и низкого вакуума и комплектуются встроенным ЭДС;
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
При работе микроскопов обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопов не превышает 1 мкЗв/ч.
Внешний вид микроскопов приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов JSM-6x10x.
Программное обеспечение
Управление микроскопами осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии (идентификационный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления иден-тификато-ра ПО |
| InTouchScope GUI | InTouch- ScopeADJ.ex e | ver. 2.0 | 4A54C4738C10121B5CC0643 328579F5Е3DA3DЕЕD886481 Е39CBBЕD2DC27362F2 | По ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблице 2.
Таблица 2.
| Наименование характеристики | Модификация микроскопа |
| JSM-6010LV JSM-6010LA JSM-6010Plus/LV JSM-6010Plus/LA | JSM-6510Plus JSM-6510Plus/A J SM-6510Plus/LV J SM-6510Plus/LA |
| Пространственное разрешение в режиме регистрации вторичных электронов (высокий вакуум) при ускоряющем напряжении 20 кВ, не более, нм | 4 | 3 |
| Диапазон измерений линейных размеров, мкм | от 0,03 до 1000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % | ± 10 |
| Габаритные размеры (ширина хвысота х глубина), мм, не более: - консоль с колонной и вакуумной системой - видеоконтрольный блок | 750x1200x1200 900x1200x900 |
| Масса (без ЗИП и упаковки), кг, не более | 330 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50/60 ± 1) Гц, В | 220 ± 22 |
| Потребляемая мощность, В • А, не более | 1500 |
| Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха при температуре, %, не более - атмосферное давление, кПа | от 15 до 27 60 от 84 до 107 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: микроскоп электронный растровый JSM-6x10x, комплект ЗИП, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 60728-15 «Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010PLUS/LV, JSM-6010PLUS/LA, JSM-6510PLUS, JSM-6510PLUS/A, JSM-6510PLUS/LV, JSM-6510PLUS/LA) фирмы JEOL Ltd., Япония. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в апреле 2015 г.
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (Госреестр № 33598-06), островковая пленка золота на углероде GOLD ON CARBON TEST SPEC SM 1501.
Сведения о методах измерений
Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, J SM-6010PLUS/LV, JSM-6010PLUS/LA, JSM-6510PLUS, JSM-6510PLUS/A, JSM-6510PLUS/LV, JSM-6510PLUS/LA). Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам электронным растровым JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010PLUS/LV, J SM-6010PLU S/LA, JSM-6510PLUS, JSM-6510PLUS/A, JSM-6510PLUS/LV, J SM-6510PLU S/LA)
Техническая документация фирмы-изготовителя.
60728-15: Описание типа СИСкачать90.3 Кб
54182-13
