Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (мод. JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA). Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (мод. JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA)

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 7
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 2

Назначение

Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA) (далее - микроскопы) предназначены для количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.

Описание

Принцип получения изображения в микроскопах заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором при синхронном с монитором сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопов.

Микроскопы представляют собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.

В состав микроскопов входят электронно-оптическая система (колонна), камера объектов с механизмом перемещения объектов, детекторы вторичных и отраженных электронов, вакуумная система, видеоконтрольное устройство, блок питания.

Микроскопы обеспечивают работу в режимах регистрации вторичных и обратно рассеянных электронов.

Отличие модификаций:

-    JSM-6510Plus - работает только в режиме высокого вакуума;

-    JSM-6510Plus/A - работает только в режиме высокого вакуума и комплектуется встроенным энергодисперсионным спектрометром (ЭДС);

-    JSM-6010LV, JSM-6010Plus/LV, JSM-6510Plus/LV - работают в режимах высокого и низкого вакуума;

-    JSM-6010LA, JSM-6010 Plus LA, JSM-6510Plus/LA - работают в режимах высокого так и низкого вакуума и комплектуются встроенным ЭДС;

Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.

При работе микроскопов обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопов не превышает 1 мкЗв/ч.

Внешний вид микроскопов приведен на рисунке 1.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопов JSM-6x10x.

Программное обеспечение

Управление микроскопами осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии (идентификационный номер) ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления иден-тификато-ра ПО

InTouchScope

GUI

InTouch-

ScopeADJ.ex

e

ver. 2.0

4A54C4738C10121B5CC0643

328579F5Е3DA3DЕЕD886481

Е39CBBЕD2DC27362F2

По ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Модификация микроскопа

JSM-6010LV

JSM-6010LA

JSM-6010Plus/LV

JSM-6010Plus/LA

JSM-6510Plus JSM-6510Plus/A J SM-6510Plus/LV J SM-6510Plus/LA

Пространственное разрешение в режиме регистрации вторичных электронов (высокий вакуум) при ускоряющем напряжении 20 кВ, не более, нм

4

3

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 0,03 до 1000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %

± 10

Габаритные размеры (ширина хвысота х глубина), мм, не более:

-    консоль с колонной и вакуумной системой

-    видеоконтрольный блок

750x1200x1200

900x1200x900

Масса (без ЗИП и упаковки), кг, не более

330

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50/60 ± 1) Гц, В

220 ± 22

Потребляемая мощность, В • А, не более

1500

Рабочие условия эксплуатации:

-    температура окружающей среды, °С

-    относительная влажность воздуха при температуре, %, не более

-    атмосферное давление, кПа

от 15 до 27 60

от 84 до 107

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

В комплект поставки входят: микроскоп электронный растровый JSM-6x10x, комплект ЗИП, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по документу МП 60728-15 «Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010PLUS/LV, JSM-6010PLUS/LA, JSM-6510PLUS, JSM-6510PLUS/A, JSM-6510PLUS/LV, JSM-6510PLUS/LA) фирмы JEOL Ltd., Япония. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в апреле 2015 г.

Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (Госреестр № 33598-06), островковая пленка золота на углероде GOLD ON CARBON TEST SPEC SM 1501.

Сведения о методах измерений

Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, J SM-6010PLUS/LV, JSM-6010PLUS/LA, JSM-6510PLUS, JSM-6510PLUS/A, JSM-6510PLUS/LV, JSM-6510PLUS/LA). Руководство по эксплуатации.

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам электронным растровым JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010PLUS/LV, J SM-6010PLU S/LA, JSM-6510PLUS, JSM-6510PLUS/A, JSM-6510PLUS/LV, J SM-6510PLU S/LA)

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Развернуть полное описание