Назначение
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М (далее - микроскопы) предназначены для измерения высоты профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой видеокамеры, оцифровываются и передаются в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.
Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1М
Программное обеспечение
ПО предназначено для управления захватом изображений с помощью видеокамеры, управления платой сдвига опорного зеркала и обработки записанных интерферограмм. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы WinPhast.exe, служебных
файлов fftw3.dll, tpmath.dll, vslib3.dll, template.doc, phast.ini, giveio.sys, обеспечивающих управление камерой, управление LPT-портом, настройки, расчеты. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование Программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения |
| WinPhast | WinPhast.exe | 1.0 | F554EB8D | CRC32 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики микроскопов представлены в таблице 1.
Таблица
| Наименование характеристики прибора | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | 175 х 130 |
| Диапазон измерения высоты профиля поверхности: - для профиля с наклоном относительно горизонтали не более 10°, мкм - для ступенек, в долях длины волны X не более | от 0,03 до 3 от X/350 до X/4 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм | ± X/350 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | ± 0,4 |
| Числовая апертура микрообъектива | 0,65 |
| Источник излучения | твердотельный лазер |
| - длина волны, мкм | 0,473 |
| - мощность, мВт | 20 |
| Частота сети питания, Гц | 50 ± 1 |
| Напряжение в сети питания, В | 220 ± 22 |
| Потребляемая мощность, не более Вт | 250 |
| Г абаритные размеры, мм, не более | 340 х 370 х 380 |
| Масса, кг, не более | 30 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность |
| 1. | Микроскоп МИА-1М | 1 шт. |
| 2. | Осветительный блок | 1 шт. |
| 3. | Волоконно-оптический жгут | 1 шт. |
| 4. | Компьютер | 1 шт. |
| 5. | Программное обеспечение WinPhast | 1 шт. |
| 6. | Соединительные кабели | 2 шт. |
| 7. | Руководство по эксплуатации | 1 шт. |
Поверка
осуществляется по документу МП 48171-11 «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в мае 2011 г.
Основные средства поверки: ВЭТ 113-2-09 (ГОСТ 8.296-78); объект-микрометр ОМО (ГОСТ 7513-55).
Межповерочный интервал - 1год.
Сведения о методах измерений
Методики измерений изложены в документе «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-78. «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм»
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
91286-24
