Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М

Основные
Тип МИА-1М
Год регистрации 2011
Дата протокола Приказ 6295 от 08.11.11 п.06
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 44401
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск ГОСТ 8.296-78
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М (далее - микроскопы) предназначены для измерения высоты профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой видеокамеры, оцифровываются и передаются в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.

Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.

Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.

Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1М

Программное обеспечение

ПО предназначено для управления захватом изображений с помощью видеокамеры, управления платой сдвига опорного зеркала и обработки записанных интерферограмм. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы WinPhast.exe, служебных

файлов fftw3.dll, tpmath.dll, vslib3.dll, template.doc, phast.ini, giveio.sys, обеспечивающих управление камерой, управление LPT-портом, настройки, расчеты. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.

Наименование программного обеспечения

Идентификационное наименование Программного обеспечения

Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения

Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения

WinPhast

WinPhast.exe

1.0

F554EB8D

CRC32

Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики микроскопов представлены в таблице 1.

Таблица

Наименование характеристики прибора

Значение

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

175 х 130

Диапазон измерения высоты профиля поверхности:

- для профиля с наклоном относительно горизонтали не более 10°, мкм

- для ступенек, в долях длины волны X не более

от 0,03 до 3 от X/350 до X/4

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм

± X/350

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

± 0,4

Числовая апертура микрообъектива

0,65

Источник излучения

твердотельный лазер

- длина волны, мкм

0,473

- мощность, мВт

20

Частота сети питания, Гц

50 ± 1

Напряжение в сети питания, В

220 ± 22

Потребляемая мощность, не более Вт

250

Г абаритные размеры, мм, не более

340 х 370 х 380

Масса, кг, не более

30

Знак утверждения типа

наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.

Комплектность

1.

Микроскоп МИА-1М

1 шт.

2.

Осветительный блок

1 шт.

3.

Волоконно-оптический жгут

1 шт.

4.

Компьютер

1 шт.

5.

Программное обеспечение WinPhast

1 шт.

6.

Соединительные кабели

2 шт.

7.

Руководство по эксплуатации

1 шт.

Поверка

осуществляется по документу МП 48171-11 «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в мае 2011 г.

Основные средства поверки: ВЭТ 113-2-09 (ГОСТ 8.296-78); объект-микрометр ОМО (ГОСТ 7513-55).

Межповерочный интервал - 1год.

Сведения о методах измерений

Методики измерений изложены в документе «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

ГОСТ 8.296-78. «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм»

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям

Развернуть полное описание