Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д

ФГУП "ВНИИОФИ", г.Москва
ГОСРЕЕСТР СИ РФ:48172-11

01.11.24
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д

Основные
Тип	МИА-Д
Год регистрации	2011
Дата протокола	Приказ 6295 от 08.11.11 п.07
Класс СИ	27.01
Номер сертификата	44402
Срок действия сертификата	. .
Страна-производитель	Россия
Технические условия на выпуск	тех.документация ФГУП
Тип сертификата (C - серия/E - партия)	Е

Назначение

Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д (далее - микроскопы) предназначены для измерений высоты профиля поверхности отражающего динамического объекта в микро- и нанодиапазоне.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой скоростной видеокамеры, оцифровываются и передаются в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, на основе которой получаются данные о высоте профиля поверхности. Микроскоп позволяет измерять параметры высоты профиля поверхности изменяющихся во времени (динамических) объектов с частотой 50Гц в диапазоне от 0,03 до 3мкм в латеральной плоскости и от от Х/350 до Х/4 по высоте. Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.

Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.

Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-Д

Программное обеспечение

ПО предназначено для управления захватом изображений с помощью видеокамеры, управления платой сдвига опорного зеркала и обработки записанных интерферограмм. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы WinPhast.exe, служебных

файлов fftw3.dll, tpmath.dll, vslib3.dll, template.doc, phast.ini, giveio.sys, обеспечивающих управление камерой, управление LPT-портом, настройки, расчеты. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.

Наименование программного обеспечения	Идентификационное наименование Программного обеспечения	Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения	Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода)	Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения
WinPhast	WinPhast.exe	1.0	F554EB8D	CRC32

Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм	180 х 135
Диапазон измерения высоты профиля поверхности: - для профиля с наклоном относительно горизонтали не более 10°, мкм - для ступенек, в долях длины волны X не более	от 0,03 до 3 от X/350 до X/4
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм	± 0,5
Предел частоты измерения, при которой допускаемая абсолютная погрешность измерения высоты профиля поверхности составляет не более X/350, Гц	50
Источник излучения	лазеры
Длина волны излучения, мкм	0,473 0,532 0,650
Частота сети питания, Гц	50 ± 1
Напряжение в сети питания, В	220 ± 22
Потребляемая мощность, Вт, не более	250
Г абаритные размеры (без предметного стола), мм	340 х 370 х 380
Масса, кг	30
Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, не более, % - атмосферное давление, кПа	20±0.5 60 (при 20° С) от 84 до 106,7

Знак утверждения типа

наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.

Комплектность

1.	Микроскоп МИА-Д	1 шт.
2.	Плата ввода изображения	1 шт.
3.	Блок освещения и управления	1 шт.
4.	Волоконно-оптический жгут	1 шт.
5.	ПЭВМ	1 шт.
6.	Программное обеспечение WinPhast	1 шт.

7. Кабели 5 шт.

8. Руководство по эксплуатации 1 шт.

Поверка

осуществляется по документу МП 48172-11 «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д. Методика поверки».

Основные средства поверки: ВЭТ 113-2-09 (ГОСТ 8.296-78); объект-микрометр ОМО (ГОСТ 7513-55), осциллограф цифровой Tektronix TDS 2012B (номер в госреестре 32618-06).