Назначение
Микроскопы интерференционные «НаноСкан-01» (далее - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений параметров шероховатости Rmax, Ra по ГОСТ 25142-82 для производственного оптического контроля.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых полей, отраженных от опорного зеркала и измеряемой поверхности. Микроскоп реализован по схеме академика В.П. Линника. Восстановление фазы из интерферограмм и получение информации
о высоте профиля поверхности проводится методом фазового сдвига. Для этого меняется оптическая длина пути света в опорном канале при помощи сдвига управляемого от компьютера зеркала, закрепленного на пьезоэлементе. Интерферограммы при различных положениях опорного зеркала регистрируются с помощью встроенной видеокамеры и передаются в персональный компьютер, где производится их автоматическая обработка. Результаты измерений в виде двумерного распределения высоты и графиков сечений отображаются на экране компьютера. По полученной информации о высоте профиля поверхности прибором рассчитываются параметры шероховатости Rmax, Ra. Базовая длина для параметров Ra, Rmax определяется по ГОСТ 2789-73 (приложение 1, таблицы 5, 6). Для управления вводом изображений, сдвигом пьезоэлемента, расшифровки интерферограмм и вычисления параметров шероховатости используется специальное программное обеспечение «MicroScan», работающее в операционной среде Microsoft Windows.
Микроскоп состоит из оптической схемы интерферометра Линника, высокоразрешающей видеокамеры, светодиодного осветителя, блока управления пьезоэлементом и ноутбука. Оптическая схема микроскопа позволяет работать в квазимонохроматическом пространственно-когерентном свете.
Конструктивно микроскопы выполнены в виде интерферометра Линника, собранного на вертикальной металлической плите для уменьшения влияния вибраций, закрытого пластиковым кожухом для защиты от внешней засветки и пыли.
Заводские номера содержат цифровое обозначение, наносятся на шильдик методом цифровой лазерной печати на самоклеящуюся пластиковую пленку и наклеиваются на корпус микроскопов, что обеспечивает возможность прочтения номера в процессе эксплуатации.
Пломбирование приборов не предусмотрено. Знак утверждения типа наносится на корпус микроскопов методом наклеивания и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Программное обеспечение
Для управления микроскопом используется оригинальное программное обеспечение MicroScan, разработанное для операционной системы Microsoft Windows.
Программное обеспечение является защищенным: системный блок персонального компьютера оборудован закрывающейся на замок панелью, при входе в программное обеспечение необходимо ввести логин и пароль. Никакие изменения кода программы невозможны. Обновления программного обеспечения производятся производителем путем выпуска обновлений на дисках и рассылкой пользователям. Программное обеспечение является открытой системой. Программное обеспечение содержит алгоритм расчета параметров шероховатости по данным, измеренным микроскопом, изменить алгоритм может только производитель. Функция ПО - восстановление формы поверхности по волновому фронту и вычисление параметров шероховатости.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
аблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | MicroScan |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | v 1.0.0.1 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Идентификация ПО осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении микроскопа.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к метрологически значимой части ПО ограничен наличием пароля.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопа
| Наименование параметра | Значение |
| Диапазон измерений параметров шероховатости Ra, мкм | от 0,02 до 0,07 |
| Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений параметра шероховатости Ra, мкм, не более | 0,0008 |
| Диапазон измерений параметров шероховатости Rmax, мкм | от 0,02 до 0,2 |
| Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений параметра шероховатости Rmax, мкм, не более | 0,003 |
Таблица 3 - Технические характеристики микроскопа
| Наименование параметра | Значение |
| Поле зрения, мм, не более | 1x1 |
| Длина волны излучения, нм | 532 |
| Диапазон показаний параметров шероховатости Rmax, Rz, Ra, Rq по ГОСТ 25142-82, мкм | от 0,0001 до 0,2 |
| Диапазон показаний параметров шероховатости Sz, Sa, Sq по ГОСТ Р ИСО 25178-2-2014, мкм | от 0,0001 до 0,2 |
| Алгоритм расшифровки интерферограмм | метод фазовых шагов |
| Размерность изображения, пиксель, не менее | 1920x1200 |
| Число вводимых градаций яркости, бит, не менее | 12 |
| Время измерения и обработки, сек, не более | 30 |
| Число шагов для реконструкции интерферограмм методом фазовых шагов, не менее | 5 |
| Электропитание от сети переменного тока: - напряжением, В - частотой, Г ц | от 200 до 250 от 50 до 60 |
| Габаритные размеры (длинахширинахглубина), мм, не более | 500x250x200 |
| Масса, кг, не более | 5 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, % | от +15 до + 25 от 50 до 80 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус микроскопов методом наклеивания и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование изделия | Обозначение | Количество |
| Микроскоп интерференционный: | «НаноСкан-01» | 1 шт. |
| - встроенная видеокамера | - | |
| - осветитель | - | |
| - фазосдвигающие устройство | - | |
| Блок питания осветителя | - | 1 шт. |
| Персональный компьютер (ноутбук) | - | 1 шт. |
| Программное обеспечение для расшифровки интерферограмм | MicroScan | 1 шт. |
| Эталонное зеркало | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | АЦБЕ180.00.00.000РЭ | 1 шт. |
Сведения о методах измерений
приведены в Руководстве по эксплуатации АЦБЕ180.00.000РЭ глава 2 «Использование по назначению».
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. № 2657 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм»;
Технические условия. АЦБЕ180.00.00.000ТУ. Микроскоп интерференционный «НаноСкан-01».
Правообладатель
Общество с ограниченной ответственностью «Электростекло» (ООО «Электростекло»)
ИНН 7743073940
Адрес: 119571, г. Москва, ул. 26-ти Бакинских Комиссаров, д. 5, пом. IV, комн. 1
Телефон: +7 (495) 234-59-51, +7 (495) 234-59-52
Факс: +7 (910) 485-67-82
E-mail: zapros@elektrosteclo.ru
Web-сайт: http://www.elektrosteklo.ru
87394-22: Методика поверкиСкачать11.4 Мб
