Назначение
Микроскопы измерительные оптические STM7 предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z поверхности твердотельных объектов.
Описание
Микроскопы измерительные оптические STM7 (далее - микроскопы) выпускаются в модификациях STM7-SF, STM7-SFA, STM7-MF, STM7-MFA, STM7-LF, STM7-LFA. Принцип действия микроскопов основан на измерении перемещения предметного столика по осям Х и Y и блока фокусировки по оси Z (для линейных размеров в плоскости XY и по оси Z соответственно) измерительной системой микроскопа. При этом контроль перемещения по осям X, Y осуществляется визирным методом по изображению, полученному от исследуемого объекта. Перемещение по оси Z контролируется с помощью системы фокусировки, основанной на конфокальном методе.
Перемещения предметного столика и блока фокусировки осуществляется либо в ручном режиме (модификации STM7-SF, STM7-MF, STM7-LF), либо с помощью моторизованного привода (модификации STM7-SFA, STM7-MFA, STM7-LFA).
Микроскоп оснащен измерительными и металлографическими объективами и может работать в следующих режимах:
- в отраженном свете в режиме светлого поля;
- в отраженном свете в режиме темного поля;
- в отраженном свете в режиме дифференциально-интерференционного контраста (ДИК);
- в отраженном поляризованном свете.
Для работы в режиме отраженного света используется светодиод белого свечения, а в режиме проходящего света - светодиод зеленого свечения с длиной волны от 520 до 550 нм. В зависимости от решаемых задач, микроскоп может комплектоваться объективами с кратностью увеличения от 1х до 100х.
Микроскоп выполнен в настольном варианте и включает основной блок, состоящий из рамы, на которой расположены предметный столик, револьверная головка с моторизованным приводом с объективами, осветитель отраженного света, блок навигации системы фокусировки (либо блок автоматической фокусировки), окулярный тубус с окуляром, блок цифрового индикатора, цифровая камера. Отдельно расположенными являются блок питания, блок управления рамой, контроллер блока автоматической фокусировки, персональный компьютер с управляющей программой, которые соединены между собой и с основным блоком электрическими кабелями.
В зависимости от диапазона перемещения предметного столика, микроскопы поставляются в модификациях STM7-SF, STM7-SFA (рама малого размера), STM7-MF, STM7-MFA (рама среднего размера), STM7-LF, STM7-LFA (рама большого размера).
Модификации микроскопа с моторизованным приводом (имеющие букву «А» в обозначении) оснащены блоком автоматической фокусировки и контроллером блока автоматической фокусировки вместо блока навигации системы фокусировки и панели управления механизмом рамы с ручным приводом для модификаций STM7-SF, STM7-MF, STM7-LF.
Общий вид микроскопов модификаций STM7-SF (STM7-MF, STM7-LF) и модификаций STM7-SFA (STM7-MFA, STM7-LFA) представлен на рисунках 1 и 2 соответственно. Пломбирование микроскопов не предусмотрено.
"Ч. t "
»
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработка результатов измерений осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «STM7-BSW». ПО «STM7-BSW» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z. ПО «STM7-BSW» не может быть использовано отдельно от микроскопа. Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
| Идентификационное наименование ПО | STM7-BSW |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 1.3.2 или выше |
| Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | - |
| Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО | - |
| Уровень защиты ПО соот Метрологические и техническ Таблица 2 - Метрологические ха | ветствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014. е характеристики рактеристики |
| Наименование характеристики | Модификация микроскопа |
| STM7-SF, STM7-SFA, | STM7-MF, STM7-MFA | STM7-LF, STM7-LFA |
| Диапазон измерений линейных размеров, мм ось Х, Y ось Z: - измерительный объектив - металлографический объектив | от 0,0005 до 50 (предметный столик STM7-CS50) от 0,0005 до 100 (предметный столик STM7-CS100) от 0,0005 до 120 от 0,0005 до 175 | от 0,0005 до 200 от 0,0005 до 120 от 0,0005 до 175 | от 0,0005 до 250 от 0,0005 до 90 от 0,0005 до 145 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров, мкм (L - измеряемая длина, мм) ось X, Y ось Z | ±(1,5+L/50) ±(3+L/10) | ±(1,5+L/50) ±(3+L/10) | ±(1,5+L/50) ±(3+L/10) |
| Наименование характеристики | Модификация микроскопа |
| STM7-SF, STM7-SFA, | STM7-MF, STM7-MFA | STM7-LF, STM7-LFA |
| Дискретность отсчета, мкм | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| Допустимая масса образца, кг, не более | 5 | 10 | 15 |
| Габаритные размеры основного блока (ДxШхВ), мм, не более | 466х583х811 | 606х762х811 | 804х1024х844 |
| Масса, кг, не более | 92 | 159 | 284 |
| Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В | 220-240 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 80 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, % | от +18 до +22 от 55 до 75 |
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель рамы микроскопа в виде наклейки, и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Микроскоп измерительный оптический* | Модификация STM7-SF, STM7-SFA, STM7-MF, STM7-MFA, STM7-LF или STM7-LFA | 1 шт. |
| Объективы | Измерительные ММ6-OB, металлографические MPLFLN, MPLFLN-BD, LMPLFLN или LMPLFLN-BD серии | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | - | 1 экз. |
- конфигурация по согласованию с заказчиком.
Поверка
осуществляется по документу МП 78538-20 «Микроскопы измерительные оптические STM7. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 08 июня 2019 г.
Основные средства поверки:
- меры длины концевые плоскопараллельные 3-го разряда согласно Государственной поверочной схеме (Приказ Росстандарта от 29.12.2018 №2840), набор №1 (рег. №35954-07);
- мера длины штриховая типа ПБ по ГОСТ 12069-90 (диапазон измерений 0-200 мм, класс точности 1 по ГОСТ 12069-90);
-мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (рег. №33598-06).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на лицевую панель основного блока микроскопа в виде наклейки, как показано на рисунках 1 и 2 и на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационной документации.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
78538-20: Методика поверкиСкачать3.9 Мб
9589-86