Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5000. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5000

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 8
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 1

Назначение

Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5000 (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и параметров шероховатости поверхности твердотельных объектов.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на использованием диафрагмы, размещённой в плоскости промежуточного изображения и ограничивающей поток фонового рассеянного света, излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Данная диафрагма играет роль пространственного фильтра: чем меньше диаметр диафрагмы, тем меньше размеры области, из которой выходит излучение, способное пройти через указанную диафрагму и сделать вклад в информативный сигнал.

В конфокальном микроскопе в каждый момент времени происходит регистрация изображения из одной точки объекта. Полное изображение объекта в конфокальном микроскопе формируется путем последовательной регистрации света, исходящего из этих элементарных объемов с применением сканирующей системы. Это позволяет получить серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости внутри образца (т. н. оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное изображение образца из этих серий.

В Микроскопе использован сканер новой конструкции, который обладает пониженной дисторсией и минимальными оптическими абберациями. Для отклонения по оси Х используется МЭМС - сканер с электромагнитным приводом, а по оси Y - гальваносканер. Для удобства работы в Микроскопе реализована двухканальная система конфокальной оптики с двумя различными конфокальными диафрагмами. Выбор диафрагмы осуществляется автоматически в зависимости от типа объектива и режима получения изображения.

Микроскоп включает две оптические системы:

-    лазерную конфокальную оптическую систему, использующую лазерный диод с длиной волны 405 нм и высокочувствительный фотоумножитель,

-    оптическую систему цветного изображения с белым светодиодом и CMOS матрицей.

Конструктивно Микроскоп состоит из основного блока, выполненного в настольном исполнении, блока электроники и персонального компьютера с предустановленным программным обеспечением для управления работой микроскопа. Основной блок включает столик образцов, перемещаемый по осям X, Y ручным приводом или автоматически в зависимости от модели микроскопа, и измерительную оптическую головку с набором объективов, перемещение которой по оси Z контролируется измерительной системой микроскопа.

Микроскоп имеет несколько модификаций: OLS5000-SAF, OLS5000-SMF, OLS5000-LAF, OLS5000-EAF, OLS5000-EMF, которые отличаются приводом столика образцов и диапазоном его перемещения, а также максимальной высотой исследуемого объекта.

Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа конфокального лазерного LEXT OLS 5000

Место нанесения знака поверки

Программное обеспечение

Управление микроскопом и обработки результатов измерений осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «OLYMPUS OLS5000». ПО «OLYMPUS OLS5000» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z, в том числе определять в автоматическом режиме значение шага шаговых структур, измерять параметры шероховатости поверхности, толщину пленок, производить сшивку изображений, полученных в различных положениях столика объектов в условиях частичного перекрытия изображений. ПО «OLYMPUS OLS5000» не может быть использовано отдельно от микроскопа.

Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.

Таблица 1_

Идентификационное наименование ПО

OLYMPUS OLS5000

Номер версии (идентификационный номер) ПО

1.2.1.116 или выше

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

-

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

-

Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

от 0,5 до 800,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм (где L - измеряемая длина, мкм)

±(0,15+L/100)

СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм, не более

-    объектив 20х

-    объектив 50х

-    объектив 100х

0,030

0,012

0,012

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L - измеряемая длина, мкм)

-    объектив 10х

-    объектив 20х или выше

±(5,0+L/100)

±(1,0+L/100)

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм

-    объектив 10х

-    объектив 20х

-    объектив 50х

-    объектив 100х

от 30 до 1200 от 15 до 600 от 5 до 250 от 2 до 120

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, %

±1,5

СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм, не более

-    объектив 20х

-    объектив 50х

-    объектив 100х

0,05

0,04

0,02

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L - измеряемая длина, мм)

-    объектив 10х

-    объектив 20х

-    объектив 50х

-    объектив 100х

±(24+L/2)

±(15+L/2)

±(9+L/2)

±(7+L/2)

Диапазон измерений шероховатости, мкм, по параметру

-    Ra

-    Rz

от 0,025 до 100 от 0,05 до 200

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости, мкм, по параметру

-    Ra

-    Rz

(где Ra, Rz - параметры шероховатости, мкм)

±(0,003+0,04-Ra)

±(0,006+0,04-Rz)

Наименование

характеристики

Модификация прибора

OLS5000-

SAF

OLS5000-

SMF

OLS5000-

LAF

OLS5000-

EAF

OLS5000-

EMF

Разрешение в плоскости XY, нм, не более

1

Разрешение по оси Z, нм, не более

0,5

Диапазон перемещения столика образцов, мм

100х100

100х100

300х300

100х100

100х100

Привод столика образцов

мотори

зованный

ручной

мотори

зованный

мотори

зованный

ручной

Максимальная высота образцов, мм

100

40

37

210

150

Масса, кг, не более - основной блок; -блок электроники

31

32

50

43

44

12

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм, не более:

-    основной блок

-    блок электроники

360х275х510

180х360х380

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

-относительная влажность воздуха, %, не более

от +18 до +22 80

Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В

от 210 до 230

Потребляемая мощность, Вт, не более

280

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель основного блока в виде наклейки и на титульвнный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Микроскоп конфокальный лазерный измерительный

LEXT OLS5000-X, где Х: SAF (либо SMF, LAF, EAF, EMF)

1 шт.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

Методика поверки

-

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 76632-19 «Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5000. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 08 июня 2019 г.

Основные средства поверки:

-    мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (рег. № 33598-06);

-    меры длины концевые плоскопараллельные номинальным значением 0,5 мм и 1 мм 3-го разряда согласно Государственной поверочной схеме (Приказ Росстандарта от 29.12.2018 г. №2840);

-    объект-микрометр ОМО (рег. № 590-63);

-    мера длины штриховая типа ПБ по ГОСТ 12069-90 (диапазон измерений 0-200 мм);

-    меры шероховатости эталонные ПР0-10 (рег. № 66933-17) с номинальными значениями по параметру шероховатости Ra 0,025 мкм и 77 мкм.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на лицевую панель основного блока микроскопа в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационной документации.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя

Развернуть полное описание