Микроскопы конфокальные ?Surf. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскопы конфокальные ?Surf

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 3
Найдено поверителей 1

Назначение

Микроскопы конфокальные pSurf (далее по тексту - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности изделий в области оптического производственного контроля.

Описание

Принцип действия микроскопов основан на запатентованной CMP-технологии (Confocal Multi Pinhole). При этом исследуемая поверхность освещается через объектив внешним источником света. До детектора (ПЗС-матрица) доходят только сфокусированные на него световые пучки, отраженные исследуемой поверхностью. Все расфокусированные пучки задерживаются точечной диафрагмой. Данный принцип точечного измерения, за счет использования вращающегося непрозрачного диска с большим количеством точечных отверстий, позволяет осуществлять полное сканирование поверхности объекта.

Конструктивно микроскопы pSurf состоят из конфокальной измерительной головки со встроенным регулятором освещенности, состоящей из конфокального микроскопа с источником света, в нижней части находится объектив и пьезо-привод, в верхней части -ПЗС-камера, контроллера pSurf, прецизионного измерительного стола, массивной гранитной плиты в виброизолированном исполнении, светодиода, объективов, джойстика, компьютера с операционной системой не ниже Windows 7, соединительных кабелей.

Микроскопы выпускаются в четырёх модификациях: explorer, expert, custom, mobile, различающихся диапазоном перемещения по измеряемой поверхности, а также максимальным числом точек в одном измерении. Для модификаций explorer и expert характерно наличие гранитной стойки в виброизолированном исполнении, имеющей форму L-образного штатива. Модификация custom может быть выполнена в двух вариантах, имеющих П-образный или L-образный гранитный штатив. Модификация mobile имеет мобильный тип стойки.

Результаты сканирования поверхности передаются на внешний компьютер. Управление прибором осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением (p,soft metrology, p,soft analysis), позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты.

Общий вид микроскопов конфокальных p,Surf в модификациях explorer, expert, custom, mobile с обозначением мест нанесения маркировки представлен на рисунке 1.

Схема нанесения пломбировки от несанкционированного доступа и обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.

Программное обеспечение

Управление процессом измерения в конфокальных микроскопах осуществляется с помощью специального программного обеспечения pSoft (metrology, analysis версии Standard, Extended, Premium). Программа psoft analysis выпускается в трех вариациях: Standard, Extended и Premium, различающихся дополнительным набором функций для последующей обработки бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности изделий. Программное обеспечение (ПО) служит для настройки конфокальных микроскопов, проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных, анализ и обработку полученных данных.

ПО на системном компьютере имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры, мыши и джойстика.

ПО устанавливается в определенную директорию жесткого диска системного компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, наличием пароля и аппаратного ключа разблокировки ПО (заглушки, вставляемой в порт USB компьютера перед запуском ПО). Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.

Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» согласно Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

pSoft metrology

pSoft analysis

Номер версии (идентификационный номер) ПО

v.7.X и выше

v.7.X и выше

Цифровой идентификатор ПО

-

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение характеристики при увеличении объектива

5x

10x

20x

50x

100x

Диапазон показаний линейных размеров по осям X и Y, мкм

от 0 до 3200

от 0 до 1600

от 0 до 800

от 0 до 320

от 0 до 160

Диапазон измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм

от 10 до 1001

от 3 до 700

от 3 до 300

от 3 до 100

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров по осям X, Y, мкм

-    в диапазоне от 3 до 9 мкм включительно

-    в диапазоне свыше 9

до 100 мкм включительно

-    в диапазоне свыше 100 мкм

±0,01

±2,80

±3,70

Диапазон показаний линейных размеров по оси Z, мкм

от 0 до 350

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

от 0,02 до 330

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров по оси Z, мкм

-    в диапазоне от 0,02 до 0,5 мкм включительно

-    в диапазоне свыше 0,5 мкм до 100 мкм включительно

-    в диапазоне свыше 100 до 330 мкм

±0,004

±1,410

±4,000

Диапазон показаний параметров шероховатости поверхности (R^ RmaxX мкм

-

-

от 0,00036 до 1,80000

Диапазон измерений параметров шероховатости поверхности (Ra, Rmax), мкм

-

-

от 0,01 до 1,80

Предел допускаемой абсолютной погрешности измерении параметров шероховатости (Ra, Rmax), мкм

-

-

0,012

Наименование

характеристики

Значение

explorer

expert

custom

mobile

Тип стойки

L

L

L

П

Мобильная

Диапазон перемещения: по осям X,Y, мм по оси Z, мм

от 0 до 50 от 0 до 75

от 0 до 100 от 0 до 50

от 0 до 100 от 0 до 100

Опционально

от 0 до 50 от 0 до 35

Размер поля зрения вдоль осей (X* Y), мкм

3200*3200

1600*1600

800*800

320*320

160*160

Увеличение

объективов,

крат

5x, 10х, 20х, 50х, 100x

Максимальное число точек в одном измерении X, Y

512*512

984*984

1200*1200

2048*2048

984*984

1200*1200

2048*2048

512*512

Диапазон

измерений

вдоль

вертикальной оси Z

(прецизионное

перемещение),

мкм

от 0 до 350

от 0 до 350

от 0 до 350 или 550

от 0 до 350

Г абаритные размеры, мм, не более

-    высота

-    ширина

-    длина

328

268

707

526

378

799

450

400

862

900

750

1614

417

136

234

Масса, кг, не более

28

48

80

300

5,5

Электропитание осуществляется от сети переменного тока

напряжением, В частотой, Гц

от 100 до 240 50/60

Потребляемая мощность, Вт, не более

45

90

550

50

Время

измерения, сек

от 2 до 10

Источник света

Светодиодный источник света высокой мощности (X = 505/475 нм), средняя наработка на отказ 50000 часов

Значение

mobile

expert

custom

explorer

Условия эксплуатации: температура окружающей среды, °С относительная влажность,%, не более

от 15 до 35

80

Знак утверждения типа

наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерения

Наименование

Обозначение

Количество

Микроскопы конфокальные pSurf модификации explorer/ expert/ custom/mobile в составе: конфокальная измерительная головка с моторизованной осью Z; объективы (5х, 10х, 20х, 50х, 100х)* с пьезо-приводом;

прецизионный измерительный стол*; контроллер pSurf; джойстик (ручной 3D-навигатор); виброизоляционный гранитный штатив (стойка)*

-

1 шт.

Компьютер

-

1 шт.

CD-диск с программным обеспечением

-

1 шт.

Аппаратный ключ для разблокировки ПО

-

1 шт.

Комплект соединительных кабелей

-

1 шт.

Методика поверки

МП 029.М44-17

1 экз.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

*определяется опционально по согласованию с заказчиком

Поверка

осуществляется по документу МП 029.М44-17 «Государственная система обеспечения единства измерений «Микроскопы конфокальные pSurf. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «20» марта 2017 г.

Основные средства поверки:

1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (Регистрационный номер 41678-09)

Таблица 5 - Основные метрологические характеристики

TGZ1

TGZ2

TGZ3

Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах меры, нм

20

110

520

Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм

3,00

2    Объект-микрометр ОМО (Регистрационный номер 590-63)

Основные метрологические характеристики:

длина шкалы 1001,4±3 мкм, длина между 10 делениями 100±2 мкм, среднее значение шаговой структуры 10±0,1 мкм

3    Меры длины концевые плоскопараллельные из состава рабочего эталона единицы длины 3-го разряда в диапазоне от 0,5 до 100 мм по ГОСТ Р 8.763-2011

Основные метрологические характеристики:

длина меры №1 (1±0,0002 мм), №1,33 (1,33±0,0002 мм), № 1,1 (1,1±0,0002 мм)

4    Меры шероховатости поверхности в ранге рабочего эталона 3-го разряда по ГОСТ 8.296-2015

Основные метрологические характеристики:

диапазон шероховатостей от 0,01 до 1,80 мкм, пределы допускаемой погрешности 1% Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых микроскопов с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на поверхность корпуса микроскопов (место нанесения указано на рисунке 2)

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя «NanoFocus AG», Германия;

ГОСТ 8.296-2015 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм».

ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»

Развернуть полное описание