Назначение
Микроскопы сканирующие электронные EmCrafts СиЬе II (далее по тексту — микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров, определения формы, ориентации и других параметров, нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.
Описание
Принцип действия микроскопов основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца. Максимальное увеличение и разрешающая способность микроскопа зависят от типа образцов и условий исследований.
Конструктивно микроскопы состоят из электронной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов и форвакуумного насоса. Управление микроскопами осуществляется с помощью персонального компьютера. Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей микроскопов, а также получение информации с детекторов различных видов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах. На микроскопах могут быть установлены: детектор вторичных электронов, детектор обратно отражённых электронов, детектор прошедших электронов, а также другие специализированные детекторы. К блоку с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки воздуха при помощи вакуумной системы микроскопа. Стол оператора служит как для размещения микроскопа, органов управления микроскопом (джойстик, клавиатура, мышь, монитор), так и используется для подготовки образцов перед исследованием.
Общий вид микроскопов приведен на рисунке 1.
Пломбирование микроскопов от несанкционированного доступа не предусмотрено. Нанесение знака поверки на корпус микроскопов не предусмотрено.
Серийный номер в виде цифробуквенного обозначения нанесен методом печати или гравировки на идентификационную табличку, которая расположена на задней части микроскопа.
Место нанесения идентификационной таблички
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов
Рисунок 2 - Внешний вид идентификационной таблички
Программное обеспечение
Микроскопы имеют в своем составе программное обеспечение (далее - ПО), предустановленное на персональный компьютер оператора, разработанное для выполнения определённых измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
ПО предназначено для управления микроскопами, составления измерительных программ, обработки и хранения результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от микроскопов.
Конструкция микроскопов исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию средства измерений. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Virtuoso |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | v.1.253 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | - |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики микроскопов представлены в таблицах 2-4.
Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопов
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | от 0,2 до 500 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % | ±5 |
Таблица 3 - Технические характеристики микроскопов
| Наименование характеристики | Значение |
| Разрешение, нм, не более | 5 |
| Диапазон наклона столика образцов | от -90° до +90° |
| Перемещение столика образцов, мм, не менее: - по оси X | 40 |
| - по оси Y | 40 |
| - по оси Z | 38 |
| Диапазон вращения столика образцов | от 0° до 360° |
| Габаритные размеры, мм, не более - длина | 440 |
| - ширина | 410 |
| - высота | 520 |
| Масса, кг, не более | 65 |
| Увеличение, крат | от 10 до 200000 |
| Давление в камере, Па, не более | 1-10-2 |
Таблица 4 - Эксплуатационные характеристики микроскопов
| Наименование характеристики | Значение |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % | от +17 до +28 от 15 до 65 |
| Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц | от 220 до 240 50 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Комплектность средства измерений представлена в таблице 5.
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Микроскоп сканирующий электронный | EmCrafts СиЬе II | 1 шт. |
| Компьютер с ПО | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе 2-7-7 «Проведение измерений линейных размеров объекта» Руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм, утвержденная приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. № 2657
Стандарт предприятия «Микроскопы сканирующие электронные EmCrafts СиЬе II»
