Назначение
Микроскопы сканирующие электронные EVO 18 (далее по тексту - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание
Принцип действия микроскопов основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопами. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопов, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскопы формируют то или иное конкретное изображение.
Микроскопы состоят из камеры для образца, электронно-оптической колонны EVO, статического демпфера, насоса предварительного вакуумирования и персонального компьютера, с помощью которого осуществляется управление микроскопом.
Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т. е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскопы укомплектованы тремя детекторами, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектором отраженных электронов.
Микроскопы оснащены двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.
Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1.
Обозначение места размещения маркировки, места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Программное обеспечение
щ ©
Микроскопы имеют автономное программное обеспечение, которое используется для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть программного обеспечения средства измерений и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
Программное обеспечение записано в энергонезависимой памяти персонального компьютера. Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия - изготовителя.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | SmartSEM |
| Номер версии (идентификационный номер ) ПО | 5.09 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров, мкм | от 0,463 до 100,000 |
| Диапазон показаний линейных размеров, мкм | от 0,020 до 2000,000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % | ±5 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон регулирования увеличения, крат | от 5 до 106 |
| Масса, кг, не более - Платформа и колонна - Статический демпфер - Насос предварительного вакуумирования | 860 36 25 |
| Г абаритные размеры, (ДхШхВ), мм, не более - Платформа и колонна - Статический демпфер - Насос предварительного вакуумирования | 822х980х1783 180х180х160 427х250х290 |
| Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц | 220±22 50,0±0,5 |
| Потребляемая мощность, кВт | от 2 до 3 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха при 25 °С, %, не более - избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па | от +22 до +24 65 100±4 |
| Температура хранения, °С | от -10 до +70 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания этикетки.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Количество |
| Платформа микроскопа сканирующего электронного EVO 18 | 1 шт. |
| Колонна микроскопа сканирующего электронного EVO 18 | 1 шт. |
| Компьютер с сетевым источником питания | 1 шт. |
| Наименование | Количество |
| Компьютерный стол | 1 шт. |
| Статический демпфер | 1 шт. |
| Насос предварительного вакуумирования | 1 шт. |
| Программное обеспечение SmartSEM v. 5.09 | 1 диск |
| Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
| Методика поверки МП 047.М44-16 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 047.М44-16 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие электронные EVO 18. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 02 декабря 2016 г.
Основные средства поверки:
1 Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 33598-06).
Номинальное значение шага шаговой структуры: 2 мкм.
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры: не более ±0,05 мкм.
2 Объект-микрометр ОМО (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 590-63).
Расстояние между серединами соседних делений 0,01 мм, расстояние между серединами десяти делений 0,1 мм.
Наибольшее отклонение длины отдельных интервалов шкалы от номинальных значений:
- между серединами соседних делений: ±0,001 мм;
- между серединами десяти делений: ±0,002 мм.
3 Мера периода рельефная S106 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 44966-10).
Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений: 0,463 мкм.
Пределы допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры: ±0,020 мкм. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на заднюю панель прибора, как показано на рисунке 2.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим электронным EVO 18
ГОСТ Р 8.763-2011 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм
67005-17: Методика поверки МП 047.М44-16Скачать9.4 Мб
19922-00
