Назначение
Микроскопы сканирующие электронные KYKY (далее микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров, определения формы, ориентации и других параметров, нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.
Описание
Принцип действия микроскопов основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца. Максимальное увеличение и разрешающая способность микроскопа зависят от типа образцов и условий исследований.
Микроскопы представляют собой стационарные настольные лабораторные приборы и изготавливаются в пяти модификациях: EM-6900, EM-8000, EM-8100, EM-8200, EM-8300. В зависимости от типоразмера камеры образцов микроскопы перечисленных модификаций, имеют дополнительные обозначения - Standard, Ultra и Pro. Конструктивно микроскопы состоят из электронной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов и форвакуумного насоса. Управление микроскопом осуществляется с помощью персонального компьютера. Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а также получение информации с детекторов различных видов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах. На микроскопах могут быть установлены: детектор вторичных электронов, детектор обратно отражённых, детектор прошедших электронов, детектор катодолюминесцентного излучения, а также других специализированных детекторов. К блоку с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки вакуумной системы микроскопа. Стол оператора служит как для размещения органов управления микроскопом (джойстик, клавиатура, мышь, монитор), так и используется для подготовки образцов перед исследованием. Остальные элементы, обеспечивающие функционирование прибора интегрированы в блок электроники и пространство под камерой микроскопа, а также под столом оператора.
Управление приборами, сбор данных, их обработка и хранение осуществляются с помощью внешнего персонального компьютера, на котором установлено программное обеспечение, работающее в среде операционной системы Windows.
Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью разнообразных держателей. Один из возможных стандартных держателей выполнен в виде диска диаметром 12.5 мм с ножкой для фиксации диаметром 3.0 мм.
Для повышения производительности и удобства работы к микроскопам может подключаться выносная панель с ручками, предназначенная для быстрого изменения и контроля основных параметров.
Дополнительно возможна установка на микроскоп следующих аналитических систем и дополнений: система энергодисперсионного микроанализа, система волнодисперсионного микроанализа, система определения фазового состава, структуры и текстуры методом анализа картин дифракции обратно отраженных электронов, а также других специализированных решений.
Заводские номера микроскопов имеют цифробуквенное обозначение и наносятся на корпус микроскопов в виде идентификационной таблички с нанесенным способом лазерной гравировки заводским номером. Пломбирование микроскопов от несанкционированного доступа не предусмотрено. Нанесение знака поверки на корпус микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопов приведен на рисунке 1.
Место нанесения заводского номера
Место нанесения заводского номера
^''КУ-ЕМБЗОО
KYKY-EM8000
a)
б)
Место нанесения
в)
Рисунок 1 - Внешний вид микроскопов сканирующих электронных KYKY
а) EM-6900; б) EM-8000; в) EM-8100, EM-8200, EM-8300
заводского номера
Программное обеспечение
Микроскопы имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), предустановленное на персональный компьютер оператора, разработанное для выполнения определённых измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение является специализированным ПО микроскопов и предназначено для его управления, составления измерительных программ, обработки и хранения результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от микроскопов.
Конструкция микроскопов исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию средства измерений. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
аблица 1 - Идентификационные данные ПО микроскопов
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | KYM SEM |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | не ниже v 1.0 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | от 0,1 до 500 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % | ±3 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Модификация | EM-6900 | EM-8000 | EM-8100 | EM-8200 | EM-8300 |
| Standard | Ultra | Pro | Standard | Ultra | Standard | Standard | Ultra | Standard |
| Разрешение, нм, не более | 3,0 | | 1,5 | 1,0 | 1, | 0 | 0,9 |
| Диапазон наклона столика образцов, ° | от -5 до +90 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 | от -5 до +70 |
| Перемещение столика образцов, мм, не менее: - по оси X - по оси Y - по оси Z | 70 50 45 | 150 150 60 | 80 50 30 | 80 50 30 | 150 150 60 | 150 150 60 | 80 50 30 | 150 150 60 | 150 150 60 |
| Диапазон вращения столика образцов, ° | от 0 до 360 |
| Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц | 230±23 50±2,5 |
| Габаритные размеры, мм, не более - длина - ширина - высота | 3000 1500 2000 | 3000 1500 2000 | 3000 1500 2000 | 3000 1500 2000 | 3000 1500 2000 | 3000 1500 2000 | 3000 1500 2000 |
| Масса, кг, не более | 500 | 600 | 650 | 700 | 700 | 750 | 750 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % | от +15 до +25 до 65 |
| Увеличение, крат | от 8 до 300000 | от 8 до 800000 | от 6 до 1000000 | от 6 до 1000000 | от 8 до 1000000 | от 8 до 2500000 |
| Давление в камере, Па, не более | | Lxio-2 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Микроскоп сканирующий электронный | KYKY | 1 шт. |
| Компьютер с ПО | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
Приведены в разделе «Измерения» Руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм, утвержденная приказом Росстандарта 06 ноября 2019 г. №2657;
Микроскопы сканирующие электронные KYKY. Стандарт предприятия.
13537-93
