Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M

Основные
Тип
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год

Назначение

Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

Описание

Принцип действия микроскопов сканирующих электронных SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M (далее по тексту - микроскопы) основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопов, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскопы формируют то или иное конкретное изображение.

Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т. е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.

Микроскопы укомплектованы двумя детекторами, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения: стандартный детектор вторичных электронов SE (secondary electrons), который позволяет получать изображения с топографическим контрастом, и детектор отраженных электронов BSE (backscattered electrons), предназначенный для получения изображения с информацией о вариациях состава на основе контраста по среднему атомному номеру.

В маркировке модификаций микроскопов применяются следующие обозначения:

-    M - наличие детекторов BSE и SE;

-    MB - наличие детектора SE;

Микроскоп SNE-4500M имеет мультиапертуру (30/50/100/200 мкм) и возможность контроля низкого вакуума;

Микроскопы имеют различное разрешение и увеличение, количество осей перемещения у стола, которые приведены в таблице 3.

Рисунок 2 - Места нанесения маркировки на микроскоп

Программное обеспечение

Микроскопы имеют автономное программное обеспечение (ПО), которое используется для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.

Таблица 1

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

MiniSEM

Номер версии (идентификационный номер) ПО

2.0.4.26855

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

39e500dccdc611943001330a5bb0054b

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

MD5

Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует среднему уровню в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение

характеристики

Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пикс

от 2,65 до 19531

Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа, нм

40

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 210-2 до 2103

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм

±(4+0,05L*)

Диапазон регулирования увеличения, крат:

-    для SNE-3000MB

-    для SNE-3200M

-    для SNE-4500M

от 20 до 30000 от 20 до 60000 от 100 до 100000

Номинальное напряжение сети питания, В

220 ± 5 %

Масса, кг, не более:

- для SNE-3000MB

90

- для SNE-3200M

90

- для SNE-4500M

98

- роторный насос

10

контроллер к SNE-4500M

18

Габаритные размеры, мм, не более:

- для SNE-3000MB

390x640x560

- для SNE-3200M

390x640x560

- для SNE-4500M

390x330x560

- роторный насос

150x200x215

контроллер к SNE-4500M

390x310x560

Условия эксплуатации:

- Температура окружающего воздуха, °С

от 15 до 30

- Относительная влажность воздуха при 25°С, %, не более

70%

- L - линейный размер объекта, нм

Таблица 3

Модификация

микроскопа

Размер

столика,

мм

ускоряющее

напряжение,

кВ

рабочее расстояние, мм

разрешение,

нм

SNE-3000MB

Х = 20 У = 20 Z = 80

30

8

20

SNE-3200MB

Х = 20 У = 20 Z = 80

30

8

15(SE)

20(BSE)

SNE-4500MB

Х = 40 У = 40 Z = 80

30

3

5

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.

Комплектность

Таблица 4

Наименование

Количество, шт

Микроскоп электронный сканирующий SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M

1

Роторный насос

1

Компьютер

1

Набор кабелей

1

Руководство по эксплуатации

1

Катод

5

Масло для насоса

1

Набор стандартных изделий

1

Канцелярский набор

1

Набор инструментов

1

Методика поверки МП 010.М1-15

1

Поверка

осуществляется по документу МП 010.М1-15 «Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 22.01.2015 г.

Основные средства поверки:

Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.

Основные метрологические характеристики:

Наименование метрологических характеристик

Номинальное значение, мкм

Погрешность,

мкм

Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм

2001

±2

Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм

597

±2

Сведения о методах измерений

«Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M. Руководство по эксплуатации» раздел п. 5.1.

Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим электронным SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M

ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».

Развернуть полное описание