Назначение
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN (далее микроскопы) предназначены для измерений размеров, формы, ориентации и других параметров нано - и микроструктур поверхностей различных объектов.
Описание
Принцип работы микроскопов основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца. Максимальное увеличение и разрешающая способность микроскопа зависят от типа образцов и условий исследований.
Микроскопы состоят из электронной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов, форвакуумного насоса и стола оператора с персональным компьютером.
Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а также получение информации с детекторов различных видов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах. На микроскопах могут быть установлены: детектор вторичных электронов (внутрикамерный, встроенный в объективную линзу, для работы в режиме низкого вакуума), детектор обратно отражённых (внутрикамерный, встроенный в объективную линзу), детектор прошедших электронов, детектор катодолюминесцентного излучения, детектор вторичных ионов, а также других специализированных детекторов.
К блоку с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки вакуумной системы микроскопа. Стол оператора служит как для размещения органов управления микроскопом (трекбол, клавиатура, мышь, монитор), так и используется для подготовки образцов перед исследованием. Остальные элементы, обеспечивающие функционирование прибора интегрированы в блок электроники и пространство под камерой микроскопа.
Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью разнообразных держателей. Один из возможных стандартных держателей выполнен в виде диска диаметром 12.5 мм с ножкой для фиксации диаметром 3.0 мм.
Для повышения производительности и удобства работы к микроскопам может подключаться выносная панель с ручками, предназначенная для быстрого изменения и контроля основных параметров.
Дополнительно возможна установка на микроскоп следующих аналитических систем и дополнений: система энергодисперсионного микроанализа, система волнодисперсионного микроанализа, система определения фазового состава, структуры и текстуры методом анализа картин дифракции обратно отраженных электронов, а также других специализированных решений.
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN изготавливаются следующих модификаций VEGA, MIRA, TIMA, CLARA, AMBER, AMBER X, MAGNA, SOLARIS, SOLARIS X. В зависимости от типоразмера камеры образцов микроскопы перечисленных модификаций, имеют дополнительные обозначения - Compact, LM и GM. Дополнительно к обозначению типоразмера камеры образцов добавляются буквы английского алфавита (S, H, U), например, VEGA LMS, MIRA GMU, CLARA LMH, обозначающие возможные режимы работы вакуумной системы.
Указанные микроскопы сканирующие электронные перечисленных модификаций, имеют дополнительную цифробуквенную кодировку двух видов «SXXXX» и «SXXXXX», где X - любая цифра или буква английского алфавита. Заводские номера наносятся на заднюю часть корпуса микроскопов в виде этикетки (шильдика) и имеют буквенно-цифровое обозначение.
Конструкция микроскопов обеспечивает ограничение доступа к составным частям с целью предотвращения несанкционированных настроек (регулировок), которые могут привести к искажению результатов измерений, поэтому пломбирование корпуса микроскопов от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN приведен на рисунке 1.
з)
Рисунок 1 - внешний вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN а) VEGA; б) MIRA; в) TIMA; г) CLARA; е) AMBER, AMBER X; ж) MAGNA;
з) SOLARIS, SOLARIS X
Программное обеспечение
Микроскопы оснащены программным обеспечением (ПО) «Tescan Essence». Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
| Таблица 1 - Идентификационные данные ПО микроскопов |
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Tescan Essence |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | 1.0.0.0 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют, что исключает влияние ПО на метрологические характеристики микроскопов.
Защита программного обеспечения микроскопов соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопов
| Наименование характеристики | Значение |
| Модификация | VEGA, MIRA, TIMA | CLARA, AMBER, AMBER X | MAGNA, SOLARIS, SOLARIS X |
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мм | от 0,0003 до 10 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности, % | ±3 |
Таблица 3 - Технические характеристики микроскопов
| Наименование характеристики | Значение |
| Модификация | VEGA | MIRA | TIMA | CLARA |
| Compact LM | GM | LM | GM | LM | GM | LM | GM |
| Разрешение, нм, не более | 3 | 1,2 | 0,9 |
| Максимальная высота образца, мм: - со столиком вращения - без столика вращения | 54 81 | 106 147 | 54 81 | 106 147 | 54 81 | 106 147 | 49 76 | 95 136 |
| Диапазон наклона столика образцов, градусы | от -80 до +80 | от -60 до +90 | от -80 до +80 | от -60 до +90 | от -80 до +80 | от -60 до +90 | от -80 до +80 | от -60 до +90 |
| Перемещение столика образцов, мм, не менее: - по оси X - по оси Y - по оси Z | 80 60 50 | 130 130 100 | 80 60 50 | 130 130 100 | 78 60 31 | 130 130 100 | 80 60 49 | 130 130 95 |
| Диапазон вращения столика образцов, градусы | от 0 до 360 |
| Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Г ц | 230±23 50±2,5 |
| Габаритные размеры, мм, не более - длина - ширина - высота | 3000 1500 2000 | 3000 1500 2000 | 3000 1500 2000 | 3000 1500 2000 |
| Масса, кг, не более | 500 | 600 | 700 | 800 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % | от +17 до +28 до 65 | от +17 до +24 до 65 |
| Увеличение, крат | От 2 до 1 000 000 | от 2 до 2 000 000 |
| Давление в камере, Па, не более | 1х10'2 |
| родолжение таблицы 3 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Модификация | AMBER, | MAGNA | SOLARIS, |
| AMBER X | LM | GM | SOLARIS X |
| Разрешение, нм, не более | 0,9 | 0,6 | 0,6 |
| Максимальная высота образца, мм: | | | | |
| - со столиком вращения - без столика вращения | 90 132 | 45 72 | 90 131 | 90 132 |
| Диапазон наклона столика образцов, градусы | от -60 до +90 | от -80 до +80 | от -60 до +90 | от -60 до +90 |
| Перемещение столика образцов, мм, не | | | | |
| менее: | | | | |
| - по оси X | 130 | 80 | 130 | 130 |
| - по оси Y | 130 | 60 | 130 | 130 |
| - по оси Z | 90 | 45 | 90 | 90 |
| Диапазон вращения столика образцов, | | пт Г) пп ^(Sf) | |
| градусы | | | | |
| Параметры электрического питания: | | | | |
| - напряжение переменного тока, В | | 230±23 | |
| - частота переменного тока, Г ц | | 50±2,5 | |
| Габаритные размеры, мм, не более | | | | |
| - длина | 3000 | 3000 | 3000 |
| - ширина | 1500 | 1500 | 1500 |
| - высота | 2000 | 2000 | 2000 |
| Масса, кг, не более | 1100 | 800 | 1100 |
| Условия эксплуатации: | | | | |
| - температура окружающей | | от +17 до +24 | |
| среды, °С | | | | |
| - относительная влажность, % | | до 65 | |
| Увеличение, крат | от 2 до 2 000 000 | от 4 до 2 000 000 |
| Давление в камере, Па, не более | 1х10'2 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Микроскоп сканирующий электронный | TESCAN | 1 шт. |
| Компьютер с ПО | | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе «Измерения» руководств по эксплуатации.
Нормативные документы
Техническая документация TESCAN Brno s.r.o., Чехия
83645-21: Методика поверки МП 203-19-2021Скачать3.0 Мб
22608-02
