Назначение
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA предназначены для измерений размеров, формы, ориентации и других параметров наноструктур поверхностей различных объектов.
Описание
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA (далее - микроскопы) состоят из электронной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов, форвакуумного насоса и стола оператора с персональным компьютером.
Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а так же получение информации с детекторов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах.
Управление и настройка микроскопов осуществляются с помощью трекбола, мышки и клавиатуры компьютера, подключаемого к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор или сохранены в компьютере.
К блоку с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки вакуумной системы микроскопа, стол оператора, блок электроники, управляющий компьютер. Провода от блока электроники и компьютера уложены в специальный короб в столе оператора. Стол оператора служит для размещения органов управления микроскопом (трекбол, клавиатура, мышь, монитор, так и используется для подготовки образцов перед исследованием). Остальные элементы, обеспечивающие функционирование прибора интегрированы в блок электроники и пространство под камерой микроскопа
Принцип работы микроскопов основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов.
Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца. Максимальное увеличение и разрешающая способность микроскопа зависят от типа образцов и условий исследований. В качестве источника электронов в микроскопах серии VEGA, VELA, INDUSEM и TIMA используется электронная пушка с вольфрамовым термоэмиссионным катодом.
В качестве источника электронов в микроскопах MIRA, LYRA и FERA используется электронная пушка с катодом Шоттки с полевой эмиссией, что позволяет получать изображения с более высоким разрешением, чем при использовании вольфрамового термоэмиссионного катода при больших токах пучка.
Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью держателей. Стандартный держатель выполнен в виде диска диаметром 12.5 мм с ножкой для фиксации диаметром 3.0 мм.
Для повышения производительности и удобства работы к микроскопам может подключается выносная панель с ручками и ЖК-дисплеем, предназначенная для быстрого изменения и контроля основных параметров.
Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA приведен на рисунках 1 - 7.
Рисунок 1 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN VEGA
Рисунок 2 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN INDUSEM
Рисунок 3 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN TIMA
Рисунок 4 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN MIRA
Рисунок 5 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN LYRA
Рисунок 6 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN VELA
Рисунок 7 -Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN FERA
Программное обеспечение
Микроскопы имеют в своем составе программное обеспечение TESCAN Software Package, разработанное для конкретных измерительных задач и осуществляет также
| функции уп | эавления процессом измерений. |
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии (идентификационный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| Tescan Software Package | Tescan main application | 4.X | - | - |
Программное обеспечение и его окружение являются неизменными, средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защитой ПО являются лицензионные файлы, жестко привязанные к уникальному идентификатору процессорного блока компьютера или флеш-ключу, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита программного обеспечения приборов соответствует уровню «С» по МИ 32862010.
Технические характеристики
| Характеристики приборов | VEGA | TIMA | INDUSEM | MIRA | LYRA | FERA | VELA |
| Диапазон измерений | От 300 нм | От 300 нм | От 300 нм | От 300 нм | От 300 нм | От 300 нм | От 300 нм |
| линейных размеров | до 10 мм | до 10 мм | до 10 мм | до 10 мм | до 10 мм | до 10 мм | до 10 мм |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % | ± 3 | ± 3 | ± 3 | ± 3 | ± 3 | ± 3 | ± 3 |
| Разрешение, нм | 3,0 | 1,2; 3,0 | 3,0 | 1,2 | 1,2 | 1,2 | 3,0 |
| Давление в камере, Па, не более | 1x10-2 | 1 x 10 2 | 1 x 10 2 | 1 x 10-2 | 1 x 10-2 | 1 x10-2 | 1 x 10-2 |
| Увеличение, крат | От 2 до 1000 000 вкл | От 2 до 1000 000 вкл | От 1 до 1000 000 вкл | От 2 до 1000 000 вкл | От 1 до 1000000 вкл | От 1 до 1000 000 вкл | От 1 до 1000 000 вкл |
| Диапазон рабочих температур,оС | От 17 до 23 | От 17 до 23 | От 17 до 23 | От 17 до 23 | От 17 до 23 | От 17 до 23 | От 17 до 23 |
| Относительная влажность, %, не более, без конденсата | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 |
| Габаритные размеры, не более, мм: | | | | | | | |
| -длина, | 2360 | 2360 | 2360 | 2360 | 3000 | 3000 | 3000 |
| -ширина, | 1030 | 1030 | 1030 | 1175 | 1330 | 1330 | 1330 |
| -высота | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| Питающее напряжение, В | 230±10 % | 230± 10 % | 230 ±10 % | 230± 10% | 230 ± 10% | 230±10% | 230±10 % |
| Частота, Гц | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Потребляемая мощность, В-А, не более | 1300 | 1500; 2400 | 1300 | 2200 | 2300 | 2300 | 2300 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносят на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом и на боковую грань рабочей камеры микроскопов методом наклейки .
Комплектность
В комплект поставки микроскопов сканирующих электронных TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA входит:
| Микроскоп сканирующий электронный TESCAN | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
| Методика поверки | 1 экз. |
Поверка
Осуществляется по документу МП 53938-13 «Микроскопы сканирующие электронные TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA. Методика поверки», разработанному ООО «ТЕСКАН», Санкт-Петербург и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС», г. Москва в мае 2013 года.
Основные средства поверки: меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2.
Сведения о методах измерений
Методы измерений изложены в Руководстве по эксплуатации на приборе в п.7.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 1*10-9 ...50 м и длин волн в диапазоне 0,2 ... 50 мкм».
Техническая документация фирмы TESCAN a.s., Чехия.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
13537-93
