Назначение
Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000 предназначены для измерений геометрических параметров топографии поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах.
Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000 могут использоваться при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований.
Описание
Действие сканирующих зондовых микроскопов СмартСПМ - 1000 основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических величин ф1(х,у) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.
Сканирующие зондовые микроскопы СмартСПМ - 1000 состоят из персонального компьютера, электронного блока управления, измерительной головки, набора держателей кантилевера и набора держателей образца. В сканирующих зондовых микроскопах СмартСПМ - 1000 реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии: полуконтактная АСМ; бесконтактная АСМ; контактная АСМ; метод латеральных сил; МСМ и методика зонда Кельвина; сканирующая емкостная микроскопия; электросиловая микроскопия.
Технические характеристики
| Диапазон измерений по осям X и Y, мкм | 0^90 |
| Диапазон измерений по оси Z, мкм | 0^12 |
| Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, % | ± 0,5 |
| Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, % | ± 0,5 |
| Тип сканирования | неподвижный зонд |
| Размеры образца, мм | 0=40; h=l 5 |
| Нелинейность по осям X и Y, % | 0,03 |
| Нелинейность по оси Z, % | 0,03 |
| Резонансная частота по XY (без нагрузки), кГц | 7 |
| Резонансная частота по Z (без нагрузки), кГц | 15 |
| Масса, кг | 25 |
| Напряжение питания, В | 220 |
| Частота напряжения питания, Гц | 50 |
Знак утверждения типа
наносится на Руководство по эксплуатации прибора типографским методом, на нижнюю панель процессорного блока методом наклейки.
Комплектность
______Поставляются в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:
| НЕ001 | Головка СЗМ | 1 |
| S001 | XYZ пьезосканер с емкостными датчиками обратной связи | 1 |
| АР001 | Автоматизированная система подвода к образцу | 1 |
Лист № 2
Всего листов 2
| Al110 | Модульный, расширяемый цифровой контроллер | 1 |
| РС001 | Персональный компьютер в сборе | 1 |
| SW001 | Программное обеспечение, совместимое с Windows ХР | 1 |
| PS001 | Набор кантилеверов | 1 |
| Калибровочная мера малой длины - дифракционная решетка производства "Holograte", 1000 - 3600 штрихов на мм, или аналогичная мера | 1 |
| Калибровочная мера малой высоты ступени - решетка "TGZ03" производства "MikroMash", номинальная высота 500 нм, или аналогичная мера | 1 |
Сведения о методах измерений
приведены в руководстве по эксплуатации на микроскопы сканирующие зондовые
СмартСПМ-1000.
Поверка
осуществляется по документу МП 39221-08 «Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в октябре 2008 г.
Основные средства поверки: эталонные меры шероховатости по ГОСТ 8.296-78.
Нормативные документы
Технические условия ТУ 1706-001-98300415-08
Рекомендации к применению
- для применения вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
776-52
