Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА)

ООО "НТ-МДТ", г.Москва
Скачать

76902-19: Методика поверки МП №203-46-2019

Скачать
2.8 Мб

76902-19: Описание типа СИ

Скачать
85.3 Кб

22.11.24
Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА)

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок	3
Межповерочный интервал / Периодичность поверки	1 год
Найдено поверителей	3

Назначение

Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА) (далее C3M) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдых тел.

Описание

СЗМ работают в режиме атомно-силового микроскопа (ACM). Принцип действия в СЗМ реализуется посредством детектирования силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности. Поддерживая с помощью системы обратной связи в процессе сканирования постоянную силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности по которому можно определить линейные размеры измеряемых элементов.

В качестве микрозонда в режиме ACM используется чувствительный элемент, представляющий собой кремниевое микромеханическое изделие, на котором сформирован кантилевер с острием в виде микроиглы.

СЗМ состоят из следующих основных элементов: СЗМ-контроллер, базовый блок, персональный компьютер. Базовый блок представляет собой отдельно стоящую установку, которая обеспечивает защиту от воздействий окружающей среды: защиту от виброакустических воздействий, от изменений температуры и влажности. В базовом блоке расположен держатель образца, который обеспечивает его перемещение в заданном диапазоне и устройство, которое производит сканирование исследуемого объекта. СЗМ-контроллер предназначен для управления базовым блоком и обработки сигналов, полученных в результате проводимых измерений исследуемого образца. Персональный компьютер требуется для обеспечения управления пользователем данным программно-аппаратным комплексом и анализом результатов измерений.

Конструктивно СЗМ выполнены в виде отдельно стоящего базового блока с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказу СЗМ могут оснащаться рядом дополнительных устройств и принадлежностей. Внешний вид микроскопов сканирующих зондовых VEGA (ВЕГА) представлен на рисунке 1.

Пломбирование микроскопов сканирующих зондовых VEGA (ВЕГА) от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Программное обеспечение

Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА) имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.

Программное обеспечение «Nova Рх» является специализированным ПО СЗМ и предназначено для их управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Nova Рх» не может быть использовано отдельно от СЗМ.

Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО СЗМ и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.

Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

Идентификационные данные (признаки)	Значение
Идентификационное наименование ПО	Nova Рх
Номер версии (идентификационный номер) ПО	не ниже 3.5.0.x
Цифровой идентификатор ПО	039acc50cc451aa329d2c7feafd52dc0 (SXYCalibration.dll); 065a740c438d7e39d816edf37fe03a8e -(SZCalibration.dll); eafcb01229f0ea7928492fad37dbb738 -(SNonlinearity.dll); 1ad4447861d157a0f6e42098d20b302d -SInterferometerAngle.dll.

Технические характеристики

Т аблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики	Значение
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм	от 0,01 до 90
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, нм*	± (3+0,01 xL), где L - измеряемое значение длины в нм
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм	от 0,0005 до 9
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси сканирования Z, нм*	± (4+0,05 xL), где L - измеряемое значение длины в нм

Примечание: * - при температуре воздуха от плюс 18 °С до плюс 22 °С.

Таблица 3 - Технические характеристики

Наименование характеристики	Значение
Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи не более, нм	0,3
Разрешение по оси Z не более, нм	0,1
Максимальное число точек сканирования по X и Y, не менее	4000 x 4000
Размеры исследуемых образцов (длина x ширина x толщина), не более, мм	200 x 200 x 40
Диапазон позиционирования образца в плоскости XY, не менее, мм	200 x 200
Потребляемая мощность, не более, ВА	400
Габаритные размеры СЗМ контроллера, не более, мм	600 x 550 x 600
Габаритные размеры базового блока, не более, мм	810 x 610 x 1450
Масса СЗМ контроллера, не более, кг	45
Масса базового блока, не более, кг	350

Таблица 4 - Условия эксплуатации

Температура окружающей среды, °C	от +15 до +25
Относительная влажность воздуха, %	от 50 до 80
Напряжение переменного тока, В	от 95 до 121/ от 187 до 242
Частота, Гц	50/60

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом Комплектность средства измерений

Таблица 5 - Комплектность средства измерений

Наименование	Обозначение	Количество
СЗМ контроллер	-	1 шт.
Базовый блок	VEGA	1 шт.
Персональный компьютер	-	1 шт.
Руководство по эксплуатации	Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА)	1 экз.
Программное обеспечение на цифровом носителе	Nova Pх	1 шт.
Методика поверки	МП № 203-46-2019	1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП № 203-46-2019 «Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА). Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 19 августа 2019 г.

Основные средства поверки:

- мера периода и высоты линейная TGZ1, рег № 41678-09;

- мера периода и высоты линейная TGZ3, рег. № 41678-09.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.