Назначение
Микрозонды-микроскопы рентгеновские аналитические РАМ-30р предназначены для измерения содержания элементов в точках фокусирования рентгеновских лучей на поверхности исследуемого образца.
Описание
Принцип действия микрозондов-микроскопов рентгеновских аналитических основан на регистрации интенсивности вторичного рентгеновского излучения образца, возбуждаемого излучением рентгеновской трубки.
На изучаемый образец направляется рентгеновское излучение, сфокусированное в пятно (зонд) диаметром от 50 мкм до 1 мм. Спектр рентгеновской флуоресценции регистрируется энергодисперсионным детектором. Отдельный канал измеряет интенсивность рентгеновского излучения проходящего через образец. Сканирование поверхности исследуемого образца производится путем перемещения в горизонтальной плоскости объекта, укрепленного на предметном столе, измерительная система, при этом, остается неподвижной. Горизонтальное перемещение предметного стола возможно по двум осям в пределах ±75 мм, измерительная система может перемещаться вертикально в пределах 50 мм.
Прибор оборудован цифровыми видеокамерой и двумя микроскопами. Цифровая камера и микроскопы используются только для выделения зоны измерения в изучаемом образце в процессе его установки. Камера позволяет вывести на экран компьютера изображение с площади 30*30 мм.
Для более точного выбора интересующей области, в процессе предварительных исследований, используется цифровой микроскоп, еще один микроскоп позволяет определить положение зонда в процессе юстировки. В качестве источника рентгеновского излучения используется микрофокусная рентгеновская трубка, материал анода - молибден.
Внешний вид микрозондов-микроскопов рентгеновских аналитических РАМ-30р приведен на рисунке 1.
Рис.1. Микрозонд-микроскоп рентгеновский аналитический РАМ-30р
Программное обеспечение
Микрозонды-микроскопы рентгеновские аналитические оснащены автономным ПО «X-RAY MICRO», которое управляет работой приборов и отражает, обрабатывает и хранит по-
лученные данные.
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма метрологической значимой части ПО для версии 1.0.0.0) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
| X-RAY MICRO | micro_proc_dt. dll | 1.0.0.0 или выше | 40277423685bb0edb3230a 0d834992cf | MD5 |
К метрологически значимой части ПО относится компонент micro_proc_dt.dll, который выполняет следующие функции: управление прибором, считывание, хранение, обработка результатов измерений, редактирование и хранение базы методов измерения и стандартных образцов, определение и хранение калибровочных коэффициентов энергетической шкалы.
Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует категории С по МИ 3286-2010. Влияние ПО на метрологические характеристики учтено при нормировании последних.
Технические характеристики
| Диапазон определяемых элементов | От Na (K-серия) до U (L-серия) |
| Энергетическое разрешение энергодисперсионного детектора на линии Cu Ka, не более | 175 |
| Контрастность аналитического канала*, не менее: • на линии Si Ka (при вакуумированной измерительной камере); измеряется, если в комплект входит вакуумная станция • на линии Cu Ka • на линии Zn Ka | 0,5 3,0 3,0 |
| Контрастность рентгенографического канала** | 2,0 |
| Относительное СКО выходного сигнала аналитического канала***, %, не более: | 1,0 |
| Число уровней дискретизации, каналов | 4095 |
| Тип рентгеновской трубки (РТ) | микрофокусная |
| Максимальная мощность рентгеновской трубки, ВхА: | 500 |
| Напряжение питания переменного тока частотой (50±1 Гц), В | 220+22-33 |
| Потребляемая мощность, включая вакуумный пост (без компьютера и принтера), кВхА, не более | 1,5 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Наработка на отказ, ч, не менее | 2000 |
| Габаритные размеры основного блока (ДхШхВ), мм, не более | 700х620х660 |
| Масса основного блока, кг, не более | 70 |
| Размеры вакуумного поста (ДхШхВ), мм, не более: | 500х250х250 |
| Масса вакуумного поста, кг, не более | 30 |
| Условия эксплуатации: - диапазон температуры окружающего воздуха, оС | от +10 до +35 |
| - диапазон относительной влажности окружающего воздуха, % при t=25 оС | не более 80 |
| - диапазон атмосферного давления, кПа | от 84 до 106 |
* Отношение интенсивности в максимуме линии и нормированному на концентрацию элемента, к фону измеренному на участке спектра рядом с аналитической линией. В качестве контрольного образца используется ГСО 7247-96 индекс 2152. Возможно использование стандартного образца (ГСО) с близкими содержаниями компонентов SI, Cu, Zn.
* * Контрастность определяется как отношение интенсивностей, измеренных на щупах щелемера толщиной (0,05/0,1) мм.
* ** По линии Cu Ка при использовании в качестве контрольного образца ГСО 7247-96 индекс 2152.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации методом компьютерной графики и на левую стенку корпуса спектрометра в виде наклейки.
Комплектность
| №№ | Наименование | Обозначение | Кол-во (шт.) | Примечание |
| 1 | Базовый блок (микрозонд-микроскоп) | РМ.01.40.000.СБ | 1 | |
| 2 | Вакуумный пост | РФК.01.85.000.СБ | 1 | Опция, заимствовано от РФК. 01.00.000. |
| 3 | Рабочее место оператора, включающее компьютерный стол и кресло | | 1 | Опция |
| 4 | Пакет программ | | 1 | Компакт-диск |
| 5 | Персональный компьютер | | 1 | Комплект |
| 6 | Принтер | | 1 | |
| 7 | Калибровочный образец | | 1 | Калибровочный СЦ-1 |
| 8 | Комплект ЗИП | | 1 | |
| 9 | Комплект монтажных частей | | 1 | По согласованию с Заказчиком |
| 10 | Методика поверки | МП-242-1411 2012 | 1 | |
| 11 | Руководство по эксплуатации | | 1 | |
| 12 | Паспорт | | 1 | |
Поверка
осуществляется по документу «МП-242-1411-2012. Микрозонды-микроскопы рентгеновские аналитические РАМ-30р. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева» 25.07.2012 г.
Основные средства поверки: стандартный образец состава сплавов медно-цинковых ГСО 7247-96, индекс СО 2152 или аналогичный по составу и содержанию Cu, Zn и Si; комплект щупов №1, класс 2.
Сведения о методах измерений
Методика измерений изложена в документе «Микрозонды-микроскопы рентгеновские аналитические РАМ-30р. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
Технические условия ТУ 4276-010-01360812-2011.
Рекомендации к применению
При осуществлении деятельности в области охраны окружающей среды и оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
9589-86