Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов

Назначение

Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов (далее - меры) предназначен для измерений критических линейных размеров элементов фотошаблонов на установках типа MueTec 2010UV, Leica LWM100UV, LMS IPRO2 и др. в режиме CD-измерений (CD - critical dimension).

Описание

Мера (рис. 1) представляет собой пластину квадратной формы из синтетического кварца. Рабочая сторона пластины покрыта пленкой хрома с антиотражающим покрытием общей толщиной 105 нм. В пленке хрома с помощью метода электронно-лучевой литографии выгравирован рисунок. Рисунок на пластине включает пять одинаковых групп элементов, расположенных в центре и по углам пластины. Г руппы элементов промаркированы буквами A, B, C, D, и E. Мера имеет также буквенно-цифровую маркировку, расположенную у нижнего края пластины: (зав. № СD4) - NIIIS CD STANDARD # 4 (рис. 2), (зав. № СD2) - NIIIS CD STANDARD #2. Меры отличаются размерами: (зав. № СD4) -127x127x2,3 мм; (зав. № CD2) - 152,4x152,4x6,35 мм.

В каждую группу входят четыре одинаковых набора элементов с различной шириной линий (Рис. 3). Наборы 1(Х) и 2(Y) ориентированы по разным осям координат и представляют собой светлые (прозрачные) элементы на фоне сплошной хромовой пленки. Наборы 3(Х) и 4(Y) также ориентированы по разным осям координат, но представляют собой островки хрома на фоне большого светлого (прозрачного) окна. Каждый набор включает в себя ряд элементов (Рис. 4), размер которых возрастает слева направо или снизу вверх. Номинальный размер 8 элементов указан снизу или справа от данного элемента - 0,4; 0,5;

0,6; 0,7; 0,8; 1,1; 3,2; 8,0 мкм (Рис.4 и в Табл.1).

Меры хранятся в закрытых упаковках (футлярах) и используются по назначению в чистых помещениях. Внешний вид меры в упаковке и нанесенный массив элементов на поверхности меры приведены на рисунках 1 - 4.

\

Описание

Мар-

киров-

ка

Вид элемента

См. Рис. 3

Тон

Номинальный размер, мкм

1(Х), 2(Y

A

Светл.

0,4

0,5

0,6

0,7

3,2

3(Х), 4(Y

Темн.

0,4

0,5

0,6

0,7

3,2

1(Х), 2(Y

Светл.

B

0,4

0,5

0,6

0,7

3,2

3(Х), 4(Y

Темн.

0,4

0,5

0,6

0,7

3,2

1(Х), 2(Y

C

Светл.

0,4

0,5

0,6

0,7

3,2

3(Х), 4(Y

Темн.

0,4

0,5

0,6

0,7

3,2

1(Х), 2(Y

Светл.

D

0,4

0,5

0,6

0,7

3,2

3(Х), 4(Y

Темн.

0,4

0,5

0,6

0,7

3,2

1(Х), 2(Y

Светл.

E

0,4

0,5

0,6

0,7

3,2

3(Х), 4(Y

Темн.

0,4

0,5

0,6

0,7

3,2

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики мер приведены в таблице 2.

Таблица 2

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель упаковки меры в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Комплект поставки включает:

-    мера в упаковке - 1 комплект;

-    комплект эксплуатационной документации «Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов. Паспорт»; «Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов. Руководство по эксплуатации»

- 1 комплект;

-    методика поверки - 1 шт.

Поверка

осуществляется по документу МП 60717-15 «Инструкция. Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 30.12.2014 г.

Основные средства поверки:

-    микроскопы электронные растровые - рабочие эталоны 2-го разряда в соответствии с ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСОЕИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм» (Часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона).

Сведения о методах измерений

«Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов. Руководство по эксплуатации».

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к набору мер

-    документация изготовителя набора мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов - фирмы. Photronics MZD GmbH (г. Дрезден, Германия).