Назначение
Приборы для измерений шероховатости и контура поверхности MarSurf LD 120/MarSurf UD 120, MarSurf LD 130, MarSurf LD 260 (далее - приборы) предназначены для измерений параметров шероховатости и профилей различных деталей, а также определения в измеренных профилях геометрических параметров: радиусов дуг, координат точек, расстояний, углов и т.д. в цехах и лабораториях всех отраслей машиностроительного комплекса.
Описание
Приборы MarSurf LD 120/MarSurf UD 120, MarSurf LD 130, MarSurf LD 260 представляют собой контактные приборы, измеряющие параметры шероховатости и контура за один проход без замены компонентов приборов, построенные на модульном принципе. Приборы выпускаются трех модификаций, отличающиеся длиной перемещения по оси Х и техническими характеристиками датчиков, и двух исполнений: MarSurf LD 120/MarSurf UD 120, MarSurf LD 130, MarSurf LD 260 - для измерений плоских и цилиндрических поверхностей, MarSurf LD 120/MarSurf UD 120/Aspheric 3D, MarSurf LD 130/Aspheric 3D, MarSurf LD 260/ Aspheric 3D - для измерений асферических поверхностей.
На гранитной плите смонтирована массивная колонна с высокоточными направляющими, на которой крепится устройство подачи с установленным в нем датчиком (при заказе может быть смонтирована измерительная шкала). Деталь крепится на специальном столике, установленном на плите (рис.1), при измерении асферических поверхностей деталь крепится в поворотном столе (Рис. 2). Компьютер подключен к датчику, приводам и элементам управления. Управление всеми перемещениями осуществляется при помощи меню на экране монитора с "подсказками" мышки или джойстика.
Перемещения в плоскостях X и Z производятся двигателями. Приборы в исполнении для измерений асферических поверхностей снабжены устройством для перемещения колонны в направлении Х.
Действие приборов основано на принципе ощупывания неровностей исследуемой поверхности алмазной иглой (щупом) и преобразования возникающих при этом механических колебаний щупа в изменения напряжения, пропорциональные этим колебаниям, которые усиливаются и преобразуются в микропроцессоре. Результаты измерений выводятся на монитор компьютера (в виде профилей, числовых значений параметров шероховатости и геометрических параметров профилей).
Измерительный преобразователь приборов представляет собой
интерферометрический датчик, состоящий из узла рычага датчика и щупа. Узел рычага датчика помещен в магнитный держатель, который выполняет дополнительную функцию защиты от перегрузок. Приборы комплектуются несколькими узлами рычага датчика различной геометрии для разных применений, например, для измерений шероховатости и контуров, характеризующихся разными углами наклона, горизонтальных, выпуклых и вогнутых поверхностей, для измерений в отверстиях и т.д. Для каждого узла рычага датчика в приборе сохраняются калибровочные данные, что избавляет от необходимости калибровки прибора при каждой смене датчика.
Рисунок 1 -Общий вид приборов для измерений параметров шероховатости и контура
поверхности MarSurf LD 120/MarSurf UD 120, MarSurf LD 130, MarSurf LD 260
Рисунок 2 - Общий вид прибора MarSurf LD 120 Aspheric 3D с приспособлением для крепления асферических деталей и устройством перемещения колонны по оси Х.
Программное обеспечение
Приборы имеют в своем составе программное обеспечение MarWin, разработанное для конкретных измерительных задач и осуществляет также функции управления процессом измерений.
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии (идентификационный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| MarWin | MarSurf XCR 20/ XC20/XP20 | 5.0 X-XX. X 4.50 X-XX. X | a8e2f1388c0607b60 2a19251150e6d40 4b585ae8a3348228 be3b56e5070ac61d | MD5 |
| MarWin | MarSurf Aspheric _Lib | V 3.0.Х | a8e2f1388c0607b60 2a19251150e6d40 4b585ae8a3348228 be3b56e5070ac61d | MD5 |
Программное обеспечение и его окружение являются неизменными, средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защитой ПО являются лицензионные файлы, жестко привязанные к МАС адресу сетевой карты процессорного блока компьютера или флеш-ключу, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита программного обеспечения приборов соответствует уровню «С» по МИ 32862010.
Технические характеристики
| Характеристики приборов | MarSurf LD 120/MarSurf UD 120 | MarSurf LD 130 | MarSurf LD 260 |
| LD 120 | UD 120 |
| Измеряемые параметры: -шероховатости -контура | Параметры R и W по ИСО 4287 Радиусы, углы, расстояния, координаты |
| Длина измерения, мм | От 0,1 до 120 | От 0,1 до 130 | От 0,1 до 260 |
| Диапазон измерений по оси Z, мм | От 10 до 20 (при двойной длине рычага датчика) | От 0 до 13 при длине рычага датчика 100 мм От 0 до 26 при длине рычага датчика 200 мм |
| Разрешение профиля по оси Z, нм | 2 | 0,8 |
| Разрешение по оси Х, мкм | От 0,05 до 1 | От 0,25 до 1 | 0,8 нм |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений длины, мкм | ±(1+L/100), где L в мм | ±(1+2L/150), где L в мм | ±(0,2+L/1000), где L в мм |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений радиуса, мкм | Для R<10 мм ±1,5 Для 10<R<300 мм ±(R/10) Для R>300 мм ±(30+ R/5) | Для R<10 мм ±1,5 Для 10 <R<100 мм ±(3R/20) мкм Для R>100 мм ±(-7,5+ 9R/40) | Для R<10 мм ±1 мкм Для 10 <R<300 мм ±(0,17+R/12) мкм Для R>300 мм ±(-18+ R/7) |
| Пределы основной относительной допускаемой погрешности приборов при измерении параметров шероховатости Ra, Rz, Rmax | 2% ±2 нм |
| Измерительное усилие, мН | От 1 до 30 регулируется программно | От 0,5 до 30 регулируется программно |
| Скорость, мм/с: - при измерении контура; - при измерении шероховатости; - обратного хода | От 0,1 до 2,0 с дискретностью 0, 1 мм/с < 0,5 4 | От 0,02 до 10 От 0,1 до 0,5 |
| Параметры щупа: -радиус, мкм -угол, ...° | Алмазный 2 90 Рубиновая сфера 0 500 мкм | 2 60 | 2 60 Рубиновая сфера 0 500 мкм |
| Разрешение по параметру Rz, нм | 35 | 60 | При скорости: 0,1 мм/с Rz < 20 нм 0,5 мм/с Rz < 25 нм 1,0 мм/с Rz < 40 нм |
| Диапазон рабочих температур, ОС -при поверке | От 15 до 35 20±2 |
| Относительная влажность воздуха, % | От 30 до 80 |
| Габаритные размеры, не более, мм: | |
| -длина, | 1000 |
| -ширина, | 550 |
| -высота | 1500 |
| Масса, не более, кг | 400 |
| Питающее напряжение, В | 220 ±10 % |
| Частота, Гц | 50 |
| Мощность, В^А | 160 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносят на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом и на торец гранитной плиты методом наклейки .
Комплектность
В комплект поставки приборов MarSurf LD 120/MarSurf UD 120, MarSurf LD 130,
MarSurf LD 260 входит:
1. Основание 1 шт.
2. Колонна MarSurf ST 1 шт.
3. Блок управления колонной и мотоприводом 1 шт.
4. Персональный компьютер 1 шт.
5. Принтер 1 шт.
6. Комплект щупов 1 компл.
7. Пульт ручного управления (джойстик) 1 шт.
8. Мера KN 100 1 шт..
9. Стол MarSurf 1 шт.
10. Руководство по эксплуатации 1шт.
11. Методика поверки 1 шт.
В комплект поставки приборов MarSurf LD 120/MarSurf UD 120/Aspheric 3D, MarSurf LD 130/Aspheric 3D, MarSurf LD 260/Aspheric 3D дополнительно входят:
1. Стол со шкафом и защитным комплектом 1 компл.
2. Поворотный стол 1 шт.
3. Стандартные зажимы (12 мм и 25 мм) 2 шт.
4. Калибровочный комплект (3 калибровочных цилиндра, сфера на оправке, оптическая плоская поверхность 0150 мм с отклонением от плоскостности 0,2 мкм) 1 компл.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 52273-12 «Приборы для измерений шероховатости и контура поверхности MarSurf LD 120/MarSurf UD 120, MarSurf LD 130, MarSurf LD 260. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2012 г. и включенным в комплект поставки приборов.
Основные средства поверки: эталонные меры шероховатости 2-го разряда по ГОСТ 8.296; мера для поверки приборов для измерений контура поверхности KN-100.
Сведения о методах измерений
Метод измерений приведен в разделе 4 «Подготовка и выполнение измерений» Руководства по эксплуатации «Приборы для измерений шероховатости и контура поверхности MarSurf LD 120/MarSurf UD 120, MarSurf LD 130, MarSurf LD 260».
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-78 «ГСИ. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 0,025.1600 мкм».
МИ 2060-90 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне Г10-6.. .50 м и длин волн в диапазоне 0,2 ... 50 мкм».
Техническая документация фирмы Mahr GmbH, Германия.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
