Назначение
Приборы лазерные для измерений перемещений серии ZS (далее - приборы) предназначены для измерений линейных перемещений объектов и деталей машин.
Описание
Принцип действия приборов основан на восприятии светочувствительным КМОП-сенсором лазерного излучения, отраженного от объекта, перемещение которого измеряется. Приборы могут работать как при зеркальном отражении от объекта измерений, так и при диффузном, в зависимости от модификации. Приборы состоят из трёх модулей: датчика линейных перемещений модели ZS-LD или ZS-HLD, контроллера модели ZS-HLDC или ZS-LDC и блока памяти модели ZS-DSU. Датчик линейных перемещений имеет полупроводниковый лазер, излучающий направленный пучок, падающий на объект измерений, который после отражения от него попадает на КМОП-сенсор, выходной сигнал которого обрабатывается в контроллере с целью расчёта, индикации и передачи на внешнее устройство значения измеренного перемещения. Датчики линейных перемещений моделей ZS-LD, ZS-HLD выпускаются в 17-ти модификациях, отличающихся между собой диапазонами измерений и возможностью работы с различными видами отражения от объекта измерений (диффузное или зеркальное).
Контроллер имеет ЖК-экран, на который выводятся результаты измерений, а так же интерфейс RS-232C для подключения к компьютеру. Контроллер модели ZS-HLDC предназначен для работы с датчиками линейных перемещений модели ZS-HLD, контроллер модели ZS-LDC предназначен для работы с датчиками линейных перемещений модели ZS-LD. Каждая модель контроллера имеет по две модификации ZS-HLDd1, ZS-HLDС41 и ZS-LDC11, ZS-LDC41 отличающиеся между собой полярностью выходного сигнала.
При опломбировании пломбы наносить на места, указанные на рисунке (2).
Внешний вид приборов лазерных для измерений перемещений серии ZS представлен на рисунках 1-2.
| | р Место |
| | \ нанесения |
| | знака поверки |
| | | |
| | | |
| | |
Программное обеспечение
Приборы лазерные для измерений перемещений серии ZS имеют встроенное и внешнее программное обеспечение (далее ПО). Встроенное ПО представляет собой микропрограмму, предназначенную для обеспечения функционирования прибора и управления интерфейсом пользователя. Встроенное ПО реализовано аппаратно и неизменно является метрологически значимым.
Внешнее ПО, устанавливаемое на персональный компьютер, позволяет конфигурировать прибор, регистрировать и хранить результаты измерений. Внешнее ПО не является метрологически значимым.
Таблица 1 - Программное обеспечение
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Внешнее ПО | Встроенное ПО |
| Идентификационное наименование ПО | Smart Monitor | firmware |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | V1.XX и выше | V1.XX и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | - | - |
| Другие идентификационные данные (если есть) | - | - |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует по Р 50.2.077-2014 уровню «высокий».
При зеркальном отражении для датчиков При диффузном отражении для датчиков модификаций ZS-HLDS2T, ZS-HLDS2VT, модификаций ZS-HLDS2T, ZS-LD20T, ZS-LD20T, ZS-LD20ST, ZS-LD40T, ZS-LD20ST, ZS-LD40T
При зеркальном отражении для датчиков модификаций ZS-HLDS5T, ZS-HLDS10, ZS-LD50, ZS-LD50S, ZS-LD80, ZS-LD130, ZS-LD200, ZS-LD350S
При диффузном отражении для датчиков модификаций ZS-HLDS5T, ZS-HLDS10, ZS-HLDS60, ZS-HLDS150, ZS-LD50, ZS-LD50S, ZS-LD80, ZS-LD130, ZS-LD200, ZS-LD350S
ZS-LD10GT, ZS-LD15GT Рисунок 3 - Пояснение к таблицам 2-6 «Метрологические и технические характеристики»
| Наименование характеристики | Модификации |
| ZS-HLDS2T | ZS-HLDS2VT | ZS-HLDS5T |
| Расстояние до центра зоны измерений (L), * мм : ** - при диффузном отражении | 5,2 | - | 50 |
| *** - при зеркальном отражении | 20 | 25 | 44 |
| Диапазон измерений линейных перемещений относительно центра зоны измерений, мм: - при диффузном отражении | ±1 | - | ±5 |
| - при зеркальном отражении | ±1 | ±2 | ±4 |
| Пределы допускаемой основной приведенной погрешности измерений,%, при температуре (20±2)°С: - при диффузном отражении | ±0,05 | | ±0,1 |
| - при зеркальном отражении | ±0,05 | ±0,2 | ±0,1 |
| Тип источника излучения: | Лазер полупроводниковый |
| Длина волны источника излучения, нм | 650 |
| Мощность источника излучения, мВт, не более: | 1 |
| Класс опасности лазерного излучения по ГОСТ Р 50723-94: | 2 |
| Условия эксплуатации: -диапазон рабочих температур, °С -относительная влажность, % | от 0 до 50 от 35 до 85 |
| Пределы допускаемой дополнительной приведенной погрешности измерений линейных перемещений, %, на 1°С: | ±0,01 |
| Угол позиционирования датчика (а),° **** относительно горизонтального положения : - при диффузном отражении | 25 | - | 0 |
| - при зеркальном отражении | 0 | 0 | 15 |
| Питание контроллера: -напряжение питания постоянного тока, В - потребляемый ток, А, не более: | 24 0,5 |
| Г абаритные размеры (длина х высота х ширина), мм, не более: -датчик линейных перемещений | 65x65x26,4 | 65x65x35 | 80x100x22,7 |
| -контроллер и блок памяти | 60x90x52,5 |
| Наименование характеристики | Модификации |
| ZS-HLDS2T ZS-HLDS2VT | ZS-HLDS5T |
| Масса, кг, не более: -датчик линейных перемещений -контроллер и блок памяти | 0,6 | 0,8 |
| 0,28 |
Примечания: *- Расстояние до центра зоны измерений (L) - расстояние от опорной поверхности датчика до центра зоны измерений прибора как показано на рис. 3.
**- Для диффузного отражения, объект измерений должен иметь шероховатость поверхности в пределах от Rz 1,25 до Rz 0,32 мкм.
*** - Для зеркального отражения, объект измерений должен иметь шероховатость поверхности не хуже Ra 0,05 мкм
** **-уГОл позиционирования датчика (а) показан на рис. 3
Таблица 3- Метрологические и технические характеристики приборов модификаций ZS-HLDS10, ZS-HLDS60, ZS-HLDS150_
| Наименование характеристики | Модификации |
| ZS-HLDS10 | ZS-HLDS60 | ZS-HLDS150 |
| Расстояние до центра зоны измерений (L), * мм : ** - при диффузном отражении | 100 | 600 | 1500 |
| *** - при зеркальном отражении | 94 | - | - |
| Диапазон измерений линейных перемещений относительно центра зоны измерений, мм: - при диффузном отражении | ±20 | ±350 | ±500 |
| - при зеркальном отражении | ±16 | - | - |
| Пределы допускаемой основной приведенной погрешности измерений,%, при температуре (20±2)°С: - при диффузном отражении | ±0,1 | ±0,1 | ±0,2 |
| - при зеркальном отражении | ±0,1 | - | - |
| Тип источника излучения | Лазе | р полупроводниковый |
| Длина волны источника излучения, нм | 650 | 658 |
| Мощность источника излучения, мВт, не более: | 1 |
| Класс опасности лазерного излучения по ГОСТ Р 50723-94: | 2 |
| Условия эксплуатации: -диапазон рабочих температур, °С -относительная влажность, % | от 0 до 50 от 35 до 85 |
| Пределы допускаемой дополнительной приведенной погрешности измерений линейных перемещений, %, на 1°С: | ±0,01 |
| Угол позиционирования датчика (а),° **** относительно горизонтального положения : - при диффузном отражении | 0 | 0 | 0 |
| - при зеркальном отражении | 12,5 | - | - |
| Наименование характеристики | Модификации |
| ZS-HLDS10 | ZS-HLDS60 ZS-HLDS150 |
| Питание контроллера: -напряжение питания постоянного тока, В - потребляемый ток, А, не более: | 24 0,5 |
| Г абаритные размеры (длина х высота х ширина), мм, не более: -датчик линейных перемещений -контроллер и блок памяти | 80x100x22,7 | 75x120x22,7 |
| 60x90x52,5 |
| Масса, кг, не более: -датчик линейных перемещений -контроллер и блок памяти | 0,6 | 0,8 |
| 0,28 |
Примечания: * -Расстояние до центра зоны измерений (L) - расстояние от опорной поверхности датчика до центра зоны измерений прибора как показано на рис. 3.
**- Для диффузного отражения, объект измерений должен иметь шероховатость поверхности в пределах от Rz 1,25 до Rz 0,32 мкм.
*** - Для зеркального отражения, объект измерений должен иметь шероховатость поверхности не хуже Ra 0,05 мкм
** **-угол позиционирования датчика (а) показан на рис. 3
Таблица 4- Метрологические и технические характеристики приборов модификаций ZS-LD20T, ZS-LD20ST, ZS-LD40T_
| Наименование характеристики | Модификации |
| ZS-LD20T | ZS-LD20ST | ZS-LD40T |
| Расстояние до центра зоны измерений (L), мм : - при диффузном отражении | 6,3 | | 6,3 | | 30 |
| *** - при зеркальном отражении | 20 | | 20 | | 40 |
| Диапазон измерений линейных перемещений относительно центра зоны измерений, мм: - при диффузном отражении | ±1 | | ±1 | | ±2 |
| - при зеркальном отражении | ±1 | | ±1 | | ±2,5 |
| Пределы допускаемой основной приведенной погрешности измерений,%, при температуре (20±2)°С: - при диффузном отражении - при зеркальном отражении | ±± | ±± | ±0,1 ±0,1 |
| Тип источника излучения: | Лазер полупроводниковый |
| Длина волны источника излучения, нм: | 650 |
| Мощность источника излучения, мВт, не более: | 1 |
| Класс опасности лазерного излучения по ГОСТ Р 50723-94: | 2 |
| Условия эксплуатации: -диапазон рабочих температур, °С -относительная влажность, % | от 0 до 50 от 35 до 85 |
| Пределы допускаемой дополнительной приведенной погрешности измерений линейных перемещений, %, на 1°С: | ±0,04 | ±0,04 | ±0,02 |
| Наименование характеристики | Модификации |
| ZS-LD20T | ZS-LD20ST | ZS-LD40T |
| угол позиционирования датчика (а),° относительно **** горизонтального положения : - при диффузном отражении | 22,5 | | 22,5 | | 16 |
| - при зеркальном отражении | 0 | | 0 | | 0 |
| Питание контроллера: -напряжение питания постоянного тока, В - потребляемый ток, А, не более: | 24 0,5 |
| Г абаритные размеры (длина х высота х ширина), мм, не более: -датчик линейных перемещений -контроллер и блок памяти | 65x65x35 60x90x52,5 |
| Масса, кг, не более: -датчик линейных перемещений -контроллер и блок памяти | 0,35 0,28 |
Примечания: * -Расстояние до центра зоны измерений (L) - расстояние от опорной поверхности датчика до центра зоны измерений прибора как показано на рис. 3.
**- Для диффузного отражения, объект измерений должен иметь шероховатость поверхности в пределах от Rz 1,25 до Rz 0,32 мкм.
*** - Для зеркального отражения, объект измерений должен иметь шероховатость поверхности не хуже Ra 0,05 мкм
** **-угол позиционирования датчика (а) показан на рис. 3
Таблица 5- Метрологические и технические характеристики приборов модификаций ZS-LD10GT, ZS-LD15GT, ZS-LD50, ZS-LD50S_
| Наименование характеристики | Модификации |
| ZS-LD10GT | ZS-LD15GT | ZS-LD50 | ZS-LD50S |
| Расстояние до центра зоны измерений (L), мм*: - при диффузном отражении | - | - | 50 | 50 |
| *** - при зеркальном отражении | 20 | 20 | 47 | 47 |
| Диапазон измерений линейных перемещений относительно центра зоны измерений, мм: - при диффузном отражении | | | ±5 | ±5 |
| - при зеркальном отражении | ±0,5 | ±0,75 | ±4 | ±4 |
| Пределы допускаемой основной приведенной погрешности измерений,%, при температуре (20±2)°С: - при диффузном отражении | | | ±0,1 | ±0,1 |
| - при зеркальном отражении | ±0,1 | ±0,1 | ±0,1 | ±0,1 |
| Тип источника излучения | Лазер полупроводниковый |
| Длина волны источника излучения, нм: | 650 |
| Наименование характеристики | Модификации |
| ZS-LD10GT | ZS-LD15GT | ZS-LD50 | ZS-LD50S |
| Мощность источника излучения, мВт, не более: | 1 |
| Класс опасности лазерного излучения по ГОСТ Р 50723-94: | 2 |
| Условия эксплуатации: -диапазон рабочих температур, °С -относительная влажность, % | от 0 до 50 от 35 до 85 |
| Пределы допускаемой дополнительной приведенной погрешности измерений линейных перемещений, %, на 1°С: | ±0,04 | ±0,04 | ±0,02 | ±0,02 |
| Угол позиционирования датчика (а),° относительно горизонтального **** положения : - при диффузном отражении | | | 0 | 0 |
| - при зеркальном отражении | 0 | 0 | 12,5 | 12,5 |
| Питание контроллера: -напряжение питания постоянного тока, В - потребляемый ток, А, не более: | 20 |
| Габаритные размеры (длина x высота x ширина), мм, не более: -датчик линейных перемещений | 105x85x36 | 115x84x40 | 65x65x35 |
| -контроллер и блок памяти | 60x90x52,5 |
| Масса, кг, не более: -датчик линейных перемещений | 0,4 | 0,35 |
| -контроллер и блок памяти | 0,28 |
Примечания: *- Расстояние до центра зоны измерений (L) - расстояние от опорной поверхности датчика до центра зоны измерений прибора как показано на рис. 3.
**- Для диффузного отражения, объект измерений должен иметь шероховатость поверхности в пределах от Rz 1,25 до Rz 0,32 мкм.
*** - Для зеркального отражения, объект измерений должен иметь шероховатость поверхности не хуже Ra 0,05 мкм
** **-угол позиционирования датчика (а) показан на рис. 3
Таблица 6- Метрологические и технические характеристики приборов модификаций ZS-LD80, ZS-LD130, ZS-LD200, ZS-LD350S_
| Наименование характеристики | | Модификации | |
| ZS-LD80 | ZS-LD130 | ZS-LD200 | ZS-LD350S |
| Расстояние до центра зоны измерений (L), мм : -при диффузном отражении | 80 | 130 | 200 | 350 |
| *** -при зеркальном отражении | 78 | 130 | 200 | - |
| Наименование характеристики | Модификации |
| ZS-LD80 | ZS-LD130 | ZS-LD200 | ZS-LD350S |
| Диапазон измерений линейных перемещений относительно центра зоны измерений, мм: При диффузном отражении | ±15 | ±15 | ±50 | ±135 |
| При зеркальном отражении | ±14 | ±12 | ±48 | - |
| Пределы допускаемой основной приведенной погрешности измерений,%, при температуре (20±2)°С: При диффузном отражении | ±0,1 | ±0,1 | ±0,1 | ±0,04 |
| При зеркальном отражении | ±0,1 | ±0,25 | ±0,25 | - |
| Тип источника излучения: | Лазер полупроводниковый |
| Длина волны источника излучения, нм: | 650 |
| Мощность источника излучения, мВт, не более: | 1 |
| Класс опасности лазерного излучения по ГОСТ Р 50723-94: | 2 |
| Условия эксплуатации: -диапазон рабочих температур, °С -относительная влажность, % | от 0 до 50 от 35 до 85 |
| Пределы допускаемой дополнительной приведенной погрешности измерения линейных размеров, %, на 1°С: | ±0,01 | ±0,02 | ±0,02 | ±0,04 |
| Угол позиционирования датчика (а),° относительно горизонтального ** положения : - при диффузном отражении | 0 | 0 | 0 | 0 |
| - при зеркальном отражении | 7,5 | 6 | 4 | 2,5 |
| Питание контроллера: -напряжение питания постоянного тока, В - потребляемый ток, А, не более: | 24 0,5 |
| Г абаритные размеры (длина х высота х ширина), мм, не более: -датчик линейных перемещений -контроллер и блок памяти | 65x65x35 60x90x52,5 |
| Масса, кг, не более: -датчик линейных перемещений -контроллер и блок памяти | 0,35 0,28 |
Примечания: * -Расстояние до центра зоны измерений (L) - расстояние от опорной поверхности датчика до центра зоны измерений прибора как показано на рис. 3.
**- Для диффузного отражения, объект измерений должен иметь шероховатость поверхности в пределах от Rz 1,25 до Rz 0,32 мкм.
*** - Для зеркального отражения, объект измерений должен иметь шероховатость поверхности не хуже Ra 0,05 мкм
** **-угол позиционирования датчика (а) показан на рис. 3
Знак утверждения типа
наносится на корпус контроллера прибора лазерного для измерений перемещений серии ZS методом наклейки и на руководство по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 7 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Кол-во |
| Прибор лазерный для измерений перемещений серии ZS | 1 шт. |
| блок памяти серии ZS-DSU (по доп. заказу) | 1 шт. |
| Программное обеспечение Smart Monitor | 1 шт. |
| Руководство эксплуатации | 1 экз. |
| Методика поверки | 1 экз. |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 63836-16 «Приборы лазерные для измерений перемещений серии ZS. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» «27» августа 2015 г.
Знак поверки в виде оттиска клейма поверителя наносится на свидетельство о поверке. Знак поверки в виде голографической наклейки наносится на корпус датчика линейных перемещений сбоку.
Основные средства поверки:
Система лазерная измерительная XL-80 (ГР № 35362-13).
Прибор универсальный для измерений длины DMS1000 с пределом допускаемой абсолютной погрешностью измерений (0,2+L/1000), мкм, где L- измеряемая величина, мм. (ГР № 36001-07).
Сведения о методах измерений
Методика (методы) измерений приведены в руководстве по эксплуатации «Приборы лазерные для измерений перемещений серии ZS. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к приборам лазерным для измерений перемещений серии ZS
Техническая документация OMRON CORPORATION, Япония.
63836-16: Методика поверкиСкачать2.8 Мб