Назначение
Профилометр Alpha-Step 200 (далее профилометр) предназначен для измерения профиля поверхности в микро- и нанодиапазоне.
Описание
Принцип работы профилометра заключается в последовательном ощупывании точек поверхности иглой, перпендикулярной к контролируемой поверхности, преобразовании колебаний иглы в сигнал, количественно характеризующий поверхностные неровности. Зависимость сигнала от координаты записывается в память прибора и может выводиться на экран, принтер и внешний компьютер.
Рисунок 1 - Внешний вид профилометра Alpha-Step 200
Программное обеспечение
Профилометр Alpha-Step 200 имеет в своем составе программное обеспечение TENCOR INSTRUMENTS ALPHA-STEP V3.6-2, встроенное в аппаратное устройство средства измерений, разработанное для конкретной измерительной задачи, осуществляющей измерительные функции, функции расчета параметров и функции индикации.
ПО СИ имеет следующие идентификационные данные:
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
| TENCOR INSTRUMENTS | ALPHA-STEP | V3.6-2 | - | - |
Операционная система, имеющая оболочку доступную пользователю, отсутствует. Программное обеспечение и его окружение являются неизменными, средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Уровень защиты программного обеспечения оценивается как «А» согласно МИ 32862010.
Программное обеспечение приборов может быть установлено или переустановлено только на заводе-изготовителе с использованием специальных программно-технических устройств.
Технические характеристики
| Наименование | Значение |
| Измеряемый параметр шероховатости | Rz |
| Диапазон измеряемых значений в вертикальном направлении | В режиме «кА» | от - 160 кА до 160 кА |
| В режиме «мкм» | от - 160 мкм до 160 мкм |
| Диапазон измеряемых значений в горизонтальном направлении | от 0 до 10 мм |
| Вертикальное разрешение | В режиме «кА» | 5 А |
| В режиме «мкм» | 5 нм |
| Г оризонтальное разрешение | 400 А |
| Радиус закругления иглы | от 1,5 до 25 мкм |
| Измерительное усилие | от 10 до 250 мкН |
| Диапазон перемещения рабочего столика | Ось X | от 0 до 150 мм |
| Ось Y | от 0 до 81 мм |
| Ось Z | от 0 до 21 мм |
| Предел допускаемой основной погрешности по параметру Rz, % | 5 |
| Г абаритные размеры | Ширина | 330 мм |
| Высота | 427 мм |
| Глубина | 684 мм |
| Масса | 26,5 кг |
| Условия эксплуатации | Напряжение питания | 180-260 В |
| Частота, Гц | 50/60 Гц |
| Диапазон рабочих температур, | 20 ± 3 °С |
| Относительная влажность | 65 ± 15 % |
Знак утверждения типа
наносится на титульном листе паспорта профилометра и на корпус профилометра - методом наклейки.
Комплектность
Профилометр Tencor Alpha-Step 200 1 шт.
Защитный кожух 1 шт.
Набор инструментов для технического обслуживания 1 шт.
Набор игл различного радиуса 1 шт.
Руководство по эксплуатации 1 шт.
Методика поверки 1 шт.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48173-11 «Профилометр AlphaStep 200. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011.
Основные средства поверки: Эталонные меры шероховатости 2-го разряда по ГОСТ 8.296-78
Сведения о методах измерений
Метод измерений изложен в документе «Профилометр Alpha-Step 200 Руководство по эксплуатации»
Нормативные документы
- ГОСТ 8.296 - 78 «ГСИ. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 0,025-1600 мкм»
- ГОСТ 19300-86 «Средства измерений шероховатости поверхности профильным методом. Профилографы - профилометры. Типы и основные параметры»
- Техническая документация фирмы KLA-Tencor Corporation, США
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений
9382-83
