Назначение
Профилометры оптические S Neox (далее - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и анализа поверхностей объектов.
Описание
Профилометры оптические S Neox относятся к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на интерференции и смещении конфокальной плоскости освещения.
Метод когерентной корреляционной интерферометрии основан на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали. Метод позволяет измерять поверхности с неровностями высотой до 200 мкм. Положение реперного зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, регистрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный максимум, она находится в фокусе.
Метод конфокальной микроскопии основан на размещении в плоскости измерения апертуры, дающей возможность получения максимального контраста изображения при нахождении измеряемого участка поверхности в фокусе.
Профилометры оптические состоят из блока осветителя с источником света, конструктивно выполненного в виде моноблока, входящего в состав измерительной головки, расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна установлена на гранитном или металлическом основании, оснащенном антивибрационными пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной головке располагается оптическая система (набор диафрагм, фильтров, делитель светового пучка, объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), пьезопривод, цифровая камера и микродисплей, выполняющий функцию источника проецируемого изображения для осуществления измерений в конфокальном режиме. На основании установлен автоматический предметный столик с механической регулировкой угла наклона в двух плоскостях. В состав профилометров входит компьютер и контроллер с интерфейсными платами для обработки видеосигнала, управления пьезоприводом, приемом-передачей прочих управляющих сигналов. Профилометры имеют 4 LED источника света: красный (630 нм), зеленый (530 нм), синий (460 нм) и белый (575 нм).
Измерения проводятся в трехмерной системе координат. При вертикальном сканировании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивности света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается форма поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали.
Опломбирование систем от несанкционированного доступа не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «SensoSCAN» является специализированным ПО профилометров и предназначено для управления механическими частями, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, построения трехмерных изображений рельефа поверхности, выделения отдельных профилей поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости .
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО систем и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | SensoSCAN |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | 7.1 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики профилометров
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм | от 0,001 до 50 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, мкм* | ±(0,01+0,05-h), где h -измеряемый параметр в мкм |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм | от 0 до 200 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров (ось Z), мкм* | ±(0,05+0,05-h), где h -измеряемый параметр в мкм |
| Повторяемость (среднеквадратическая погрешность) измерений высоты ступени, % *,** | 0,5 |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси X, мкм, для объектива: 2,5х 5х 10х 20х 50х 100х 150х | от 5,16 до 7000 от 2,58 до 3500 от 1,29 до 1750 от 0,65 до 870 от 0,26 до 350 от 0,13 до 170 от 0.09 до 110 |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Y, мкм, для объектива: 2,5х 5х 10х 20х 50х 100х 150х | от 5,16 до 5280 от 2,58 до 2640 от 1,29 до 1320 от 0,65 до 660 от 0,26 до 260 от 0,13 до 130 от 0.09 до 88 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % | ±8 |
| * - при температуре окружающего воздуха от плюс 18 до плюс 22 °С и относительной влажности воздуха не более 80% ** - номинальное значение высоты 10 мкм. |
| Максимальное разрешение по оси Z, нм | 0,1 |
| Максимальное разрешение в плоскости XY, нм | 90 |
| Максимальный диапазон перемещений предметного стола (оси Х, Y) и сенсорной головки (ось Z), мм: по оси Х, Y по оси Z | 600х600 350 |
| Максимальный размер измеряемого образца (ширинахдлинахвысота), мм, не более | 600x600x350 |
| Габаритные размеры (ширинахвысотахглубина), мм, не более | 600x610x740 |
| Масса без упаковки, кг, не более | 92 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В | 220 ± 22 |
| Потребляемая мощность, ВА, не более | 210 |
Таблица 4 - Условия эксплуатации
| Наименование характеристики | Значение |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, %, не более | от +10 до +35 80 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Кол-во |
| Профилометры оптические S Neox | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 203-62-2020 | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в главах № 3, № 4 руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 06.11.2019 г. № 2657 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм»
Техническая документация изготовителя
81550-21: Методика поверки МП 203-62-2020Скачать3.3 Мб
18904-99
