Назначение
Профилометры сканирующие конфокальные СКОПА-200 (далее - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров рельефа поверхности объектов вдоль осей X, Y и Z и трехмерной визуализации поверхности объектов.
Описание
Профилометры относятся к классу бесконтактных оптических приборов, использующих конфокальные хроматические датчики расстояния.
Принцип действия конфокального хроматического датчика расстояния заключается в использовании специальной оптической фокусирующей системы, которая фокусирует излучение источника белого света в вертикальный световой отрезок, состоящий из непрерывной последовательности сфокусированных точек с различной длиной волны. Длина такого светового отрезка определяет диапазон измерения датчика вдоль оси Z. При отражении света от поверхности, находящейся в пределах указанного отрезка, отраженный свет имеет максимум интенсивности при некоторой длине волны, соответствующей положению данной поверхности относительно указанного светового отрезка. Раскладывая в спектр свет, отраженный от измеряемой поверхности, можно определить длину волны света, для которой интенсивность максимальна, и измерить расстояние до поверхности вдоль оси Z относительно положения фокусирующей системы прибора в плоскости XY.
Конструктивно профилометры представляют собой напольную автоматизированную измерительную систему, включающую основание с регулируемыми по высоте опорами, на котором через виброизолирующие подушки установлен оптико-механический модуль, состоящий из гранитной плиты, моторизованного предметного стола для перемещения образцов в плоскости XY и неподвижного портала, на котором жестко закреплен привод перемещения оптической головки профилометра по оси Z. Профилометр может поставляться с одним или двумя конфокальными хроматическими датчиками (С1 и С2).
Серийный номер, содержащий цифровое обозначение, наносится методом цифровой лазерной печати на шильдик, который наклеивается на корпус профилометров посредством самоклеящейся пленки. Пломбировка и нанесение знака поверки на профилометры не предусмотрены.
Общий вид, место нанесения серийного номера и знака утверждения типа профилометров представлены на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид, схема нанесения серийного номера и знака утверждения типа профилометра сканирующего конфокального СКОПА-200
Программное обеспечение
Управление профилометрами осуществляется с помощью специального программного обеспечения «Профилометр» (далее - ПО), установленного на персональный компьютер. ПО запускает процесс инициализации профилометра, управляет настройками профилометра, анализирует данные и обеспечивает графическое представление результатов измерений. Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.
Метрологически значимая часть ПО не выделена, все ПО является метрологически значимым.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «низкий» согласно Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения профилометров
| Идентификационные данные | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | «Профилометр» |
| Номер версии ПО, не ниже | 2.1 |
| Цифровой идентификатор ПО | _ |
| Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО | _ |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики профилометров
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров по осям X и Y, мм: - для профилометра с датчиком С1 - для профилометра с датчиком С2 | от 0,005 до 170,000 от 0,005 до 1,000 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y для профилометров с датчиками С1 и С2, мм | ±0,005 |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм: - для профилометра с датчиком С1 - для профилометра с датчиком С2 | от 1,0 до 1000,0 от 1,0 до 140,0 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z для профилометров с датчиками С1 и С2, мкм | ±0,3 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики профилометров
| Наименование характеристики | Значение |
| Параметры электрического питания от сети переменного тока: - напряжение переменного тока, В | 220 ± 22 |
| - частота переменного тока, Гц | 50 ± 1 |
| Габаритные размеры, мм, не более - длина | 760 |
| - ширина | 660 |
| - высота | 1400 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С | от +15 до +25 |
| - относительная влажность воздуха, %, не более | 80 |
| - атмосферное давление, кПа | от 96 до 104 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации профилометров методом компьютерной графики и на заднюю панель профилометров методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество, шт./экз. |
| Профилометр сканирующий конфокальный 1 | СКОПА-200 | 1 |
| Персональный компьютер с предустановленным программным обеспечением «Профилометр» | ПО «Профилометр» | 1 |
| Руководство по эксплуатации | ЕМВР.401141.007.001РЭ | 1 |
| Паспорт | ЕМВР.401141.007.001ПС | 1 |
| Примечание: 1 - Профилометр может комплектоваться одним или двумя конфокальными хроматическими датчиками, тип и количество датчиков определяется требованиями заказчика |
Сведения о методах измерений
приведены в документе ЕМВР.401141.007.001РЭ «Профилометры сканирующие конфокальные СКОПА-200. Руководство по эксплуатации», п. 2 «Использование по назначению».
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии № 2840 от 29.12.2018 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1-10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
ЕМВР.401141.007.001ТУ Профилометры сканирующие конфокальные СКОПА-200. Технические условия
6447-78
