Назначение
Радиометр многоканальный «Аргус-альфа» предназначен для измерений энергетической освещенности и спектральной плотности энергетической освещенности источников УФ излучения, используемых в технологических процессах в микронаноэлектронике, космической технике, фотохимии, медицине и при диагностике плазмы и для проведения точных измерений энергетической освещенности и спектральной плотности энергетической освещенности экстремального, вакуумного ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 1-200 нм.
Описание
Принцип действия радиометра многоканального «Аргус-альфа» основан на преобразовании потока УФ излучения в диапазоне длин волн 1-200 нм в электрический сигнал, пропорциональный энергетической освещенности и спектральной плотности энергетической освещенности.
Радиометр многоканальный «Аргус-альфа»^ включает радиометр > многоканальный МКР-ЭУФ «Аргус-альфа-21», радиометр многоканальный МКР-ВУФ «Аргус-альфа-22», спектрорадиометр «Аргус-альфа-23», радиометр интегральный «Аргус-альфа-24», радиометр интегральный «Аргус-альфа-25», радиометр интегральный «Аргус-альфа-26» и радиометр интегральный «Аргус-альфа-27».
Технические характеристики
Основные технические и метрологические характеристики многоканального радиометра «Аргус-альфа» указаны в табл. 1.
Таблица 1
| Наименование | Наименование параметра | Значение параметра |
| 1 | 2 | 3 |
| Радиометр многоканальный «Аргус-альфа» | Габаритные размеры: - измерительного блока, не более, мм - индикаторного блока, не более, мм длина соединительного провода, ре менее, мм Масса одного блока, не более, кг Время установления рабочего режима, не более, с Время единичного измерения, не более, с Мощность, потребляемая радиометром, не более, В А Время непрерывной работы без замены элемента питания, не менее, ч Спектральный диапазон, нм Диапазон измерений энергетической освещенности, Вт/м2 спектральная плотность энергетической освещенности, Вт/м3 Предел допускаемой погрешности, %, не более Номинальное напряжение питания, не более, В | 95 x 70 x 35 275x210x35 500 0,5 30 30 1,0 5 1-200 0,01 - 20 3-104 -1-109 ±6,0 -10,0 9 |
| Радиометр многоканальный МКР-ЭУФ «Аргус-альфа-21» | Габаритные размеры: - измерительного блока, не более, мм - индикаторного блока, не более, мм - длина соединительного провода, не менее, мм Масса одного блока, не более, кг Время установления рабочего режима, не более, с Время единичного измерения, не более, с Мощность, потребляемая радиометром, не более, В А Время непрерывной работы без замены элемента питания, не менее, ч. Спектральный диапазон, нм | 065x85 190 x 90 x 35 500 0,5 30 10 1,0 5 от 1 до 30 |
| Наименование | Наименование параметра | Значение параметра |
| 1 | 2 | 3 |
| Диапазон измерений энергетической освещенности, Вт/м2 Предел допускаемой погрешности, %, не более Номинальное напряжение питания, В | от 0,01 до 20 ±6,0-10,0 9 |
| Радиометр многоканальный МКР-ВУФ «Аргус-альфа-22» | Габаритные размеры: - измерительного блока, не более, мм - индикаторного блока, не более, мм - длина соединительного провода, не менее, мм Масса одного блока, не более, кг Время установления рабочего режима, не более, с Время единичного измерения, не более, с Мощность, потребляемая радиометром, не более, ВА Время непрерывной работы без замены элемента питания, не менее, ч. Спектральный диапазон, нм Диапазон измерений энергетической освещенности, Вт/м2 Предел допускаемой погрешности, %, не более Номинальное напряжение питания, В | 065x85 190 x90 x35 500 0,5 30 10 1,0 5 от 30 до 200 от 0,01 до 20 ±6,0-10,0 9 |
| Спектрорадиометр «Аргус-альфа-23» | Габаритные размеры: - измерительного блока, не более, мм - индикаторного блока, не более, мм - длина соединительного провода, не менее, мм Масса одного измерительного блока, не более, кг Время установления рабочего режима, не более, с Время единичного измерения, не более, с Мощность, потребляемая радиометром, не более, ВА Время непрерывной работы без замены элемента питания, не менее, ч. Спектральный диапазон, нм Диапазон измерений спектральной плотности энергетической освещенности, Вт/м3 | 95 x 70 x 35 275x210x30 500 0,5 30 10 1,0 5 от 120 до 200 3-104 до 1-109 |
| Наименование | Наименование параметра | Значение параметра |
| 1 | 2 | 3 |
| Предел допускаемой погрешности, %, не более Номинальное напряжение питания, В | ±6,0-10,0 5 |
| Радиометр интегральный «Аргус-альфа-24» | Габаритные размеры: - измерительного блока, не более, мм - индикаторного блока, не более, мм - длина соединительного провода, не менее, мм Масса одного блока, не более, кг Время установления рабочего режима, не более, с Время единичного измерения, не более, с Мощность, потребляемая радиометром, не более, В А Время непрерывной работы без замены элемента питания, не менее, ч Спектральный диапазон, нм Диапазон измерений энергетической освещенности, Вт/м2 Предел допускаемой погрешности, %, не более Номинальное напряжение питания, В | 045x30 125 x 70 x 30 500 0,5 30 10 1,0 5 от 1 до 10 от 0,01 до 20 ±6,0-10,0 9 |
| Радиометр интегральный «Аргус-альфа-25 » | Габаритные размеры: - измерительного блока, не более, мм - индикаторного блока, не более, мм - длина соединительного провода, не менее, мм Масса одного блока, не более, кг Время установления рабочего режима, не более, с Время единичного измерения, не более, с Мощность, потребляемая радиометром, не более, ВА Время непрерывной работы без замены элемента питания, не менее, ч Спектральный диапазон, нм Диапазон измерений энергетической освещенности, Вт/м2 Предел допускаемой погрешности, %, не более Номинальное напряжение питания, В | 045x30 125x70x30 500 0,5 30 10 1,0 5 от 10 до 30 от 0,01 до 20 ±6,0-10,0 9 |
| Наименование | Наименование параметра | Значение параметра |
| 1 | 2 | 3 |
| Радиометр интегральный «Аргус-альфа-26» | Габаритные размеры: - измерительного блока, не более, мм - индикаторного блока, не более, мм - длина соединительного провода, не менее, мм Масса одного измерительного блока, не более, кг Время установления рабочего режима, не более, с Время единичного измерения, не более, с Мощность, потребляемая радиометром, не более, В А Время непрерывной работы без замены элемента питания, не менее, ч, Спектральный диапазон, нм Диапазон измерений энергетической освещенности, Вт/м2 Предел допускаемой погрешности, %, не более Номинальное напряжение питания, В | 045x30 125 x 70 x 30 500 0,5 30 10 1,0 5 от 30 до 120 от 0,01 до 20 ±6,0-10,0 9 |
| Радиометр интегральный « Аргус-альфа-27 » | Габаритные размеры: - измерительного блока, не более, мм - индикаторного блока, не более, мм - длина соединительного провода, не менее, мм Масса одного блока, не более, кг Время установления рабочего режима, не более, с Время единичного измерения, не более, с Мощность, потребляемая радиометром, не более, В А Время непрерывной работы без замены элемента питания, не менее, ч' Спектральный диапазон, нм Диапазон измерений энергетической освещенности, Вт/м2 Предел допускаемой погрешности, %, не более Номинальное напряжение питания, В | 045x30 125x70x30 500 0,5 30 10 1,0 5 от 120 до 200 от 0,01 до 20 ±6,0-10,0 9 |
Радиометр многоканальный «Аргус-альфа» соответствует исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15150-69. При этом во время эксплуатации предельные рабочие значения температуры составляют от +10°С до +35 °C для измерительных блоков, аттестованных в качестве рабочих средств измерений; от +15°С до +25°С для измерительных блоков, аттестованных в качестве рабочих эталонов.
Радиометр многоканальный «Аргус-альфа» является восстанавливаемым изделием.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации РЭ 4381-051-05842749-2010.
Комплектность
Радиометр многоканальный «Аргус-альфа» имеет следующую комплектность:
| Наименование | Количество поставки, шт. | Номер документа |
| Радиометр многоканальный «Аргус-альфа» | 1 | КВФШ.201221.000 |
| Радиометр многоканальный МКР-ЭУФ «Аргус-альфа-21» | 1 | КВФШ.201221.010 |
| Радиометр многоканальный МКР-ВУФ «Аргус-альфа-22» | 1 | КВФШ.201221.020 |
| Спектрорадиометр «Аргус-альфа-23» | 1 | КВФШ.201221.030 |
| Радиометр интегральный «Аргус-альфа-24» | 1 | КВФШ.201221.040 |
| Радиометр интегральный «Аргус-альфа-25» | 1 | КВФШ.201221.050 |
| Радиометр интегральный «Аргус-альфа-26» | 1 | КВФШ.201221.060 |
| Радиометр интегральный «Аргус-альфа-27» | 1 | КВФШ.201221.070 |
| Руководство по эксплуатации | 1 | РЭ 4481-05105842749-2010 |
| Чехол | 1 | |
Поверка
Радиометры многоканальные «Аргус-альфа» подлежат первичной и периодической поверке в соответствии с методикой поверки, входящей в состав Руководства по эксплуатации РЭ 4381-051-05842749-2010 (раздел 12), утвержденной ФГУП «ВНИИОФИ».
Межповерочный интервал - 1 год.
Средства поверки:
- ВЭТ 162-3 Вторичный эталон потока излучения и энергетической освещенности;
- ВЭТ 84-10 Вторичный эталон спектральной плотности энергетической яркости.
Нормативные документы
ГОСТ 8.197-2005. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости оптического излучения в диапазоне длин волн 0,04-0,25 мкм;
ГОСТ 8.552-2001. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 0,03-0,4 мкм;
ГОСТ 8.207-76. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Общие положения;
Технические условия ТУ 4381-050-05842749-2010.
Заключение
Тип радиометров многоканальных «Аргус-альфа» утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации согласно государственным поверочным схемам ГОСТ 8.552-2001, ГОСТ 8.197-2005.
19164-00
