Назначение
Система измерений геометрических параметров оптоэлектронная ОЭСИ (далее -ОЭСИ) предназначена для измерений линейных размеров по 3-м координатам и параметров микрогеометрии поверхностей деталей (отклонения от плоскостности поверхности, шероховатости поверхности).
ОЭСИ применяется при производстве элементов микромеханики, робототехники, точного машиностроения и приборостроения в различных областях науки и техники.
Описание
Принцип действия ОЭСИ основан на интерферометрии лазерного излучения с использованием метода цифровой микроскопии, заключающегося в вводе в компьютер пространственного распределения амплитуд и фаз в интерфереционной картине микрообьекта, последующей цифровой обработке и построении изображения с помощью специального алгоритма обработки интерференционного сигнала.
Измерение линейных размеров и параметров микрогеометрии (отклонения от плоскостности поверхности, шероховатости поверхности) исследуемого объекта производится с использованием лазерных интерферометрических измерителей перемещений по координатам X, Y, Z.
Конструктивно ОЭСИ выполнена в виде настольного прибора с комплектом вспомогательных блоков, соединенного с ПЭВМ.
Для автоматизации процесса измерений в состав ОЭСИ входит автоматизированный двухкоординатный измерительный стол, обеспечивающий перемещение объекта по координатам X, Y. Измерительный стол оснащен приводом, обеспечивающий перемещение лазерного интерферометрического измерителя перемещений по координате Z, а также его фокусировку в режимах «грубый/точный/пошаговый» с разрешением 100 нм.
Управление ОЭСИ, обработка и отображение результатов измерений осуществляется с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения МКНД.1.Ю0.ПО.
Технические характеристики
Основные технические характеристики приведены в Таблице.
Таблица.
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазоны измерений линейных размеров, мм: по координатам X, Y по координате Z | от 2 до 200 от 2 до 50 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров, мкм | ± 1 |
| Диапазон измерений параметров шероховатости, мкм | от 5 до 20 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений параметров шероховатости, мкм | ± 1 |
| Диапазон измерений отклонения от плоскостности поверхности, мкм | от 0 до 500 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений отклонения от плоскостности поверхности, мкм | ±0,1 |
| Программное обеспечение (по МИ 2891-2004): - версия - степень соответствия (идентификация) - степень защиты | МКНД.1.Ю0.ПО высокая средняя |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 5) Гц, В | +1U% 220 -15% |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 500 |
| Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм -оптико-механического блока -системы индикации и измерения | 440x280x536 450x200x400 |
| Масса, кг - оптико-механический блок - система измерений и индикации | 100 5 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °C - относительная влажность воздуха, % - атмосферное давление, кПа - амплитуда вибрации на основании измерительного стола в диапазоне частот от 1 до 104 Гц, мкм | 20 ±5 65 ±15 100 ± 4 1 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на оптико-механический блок и титульный лист паспорта ОЭСИ.
Комплектность
В комплект поставки входят: система измерений геометрических параметров оптоэлектронная ОЭСИ, техническая документация изготовителя, методика поверки.
Поверка
Поверка ОЭСИ проводится в соответствии с документом «Система измерений геометрических параметров оптоэлектронная ОЭСИ. Методика поверки», утвержденным руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в августе 2010 г. и входящим в комплект поставки.
Основные средства поверки: мера длины штриховая 2 разряда, набор мер длины концевых плоскопараллельных, образцы шероховатость поверхности (сравнения), пластина плоская стеклянная 2 класса ПИ 100
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
МИ 2060-90 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от Г10'6 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм.
Техническая документация изготовителя.
Заключение
Тип системы измерений геометрических параметров оптоэлектронной ОЭСИ утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
