Назначение
Система лазерная измерительная ЛИС-01М (далее по тексту - система) предназначена для измерения линейных перемещений при поверке и калибровке высокоточных средств измерений линейных перемещений и систем прецизионного позиционирования и сканирования, емкостных и индуктивных измерительных преобразователей, тензодатчиков, лазерных измерителей наноперемещений, первичных преобразователей акустикоэмиссионных систем неразрушающего контроля.
Область применения: органы метрологической службы, испытательные и научно-производственные лаборатории.
Описание
Принцип действия системы основан на сравнении измеряемого изменения длины оптического пути с высокостабильной мерой - длиной волны излучения стабилизированного гелий-неонового лазера. Сравнение осуществляется при помощи двулучевого лазерного гетеродинного интерферометра. В интерферометре производится преобразование, модуляция оптического излучения, формирование опорного и измерительного каналов и последующее совмещение излучения, проходящего через каналы, на смесительном элементе. Преобразование частоты излучения стабилизированного одночастотного гелийнеонового лазера осуществляется с использованием акустооптических модуляторов. Последующее выделение информационного сигнала осуществляется на разностной радиочастоте 0,1 МГц в фотоприемном устройстве (ФПУ). Обработка полученной информации производится в специализированной электронно-фазометрической системе (ЭФС). ЭФС подключена к электронно-вычислительному устройству на базе персонального компьютера. Встроенное программное обеспечение позволяет осуществлять сбор данных, их обработку и представление в виде, удобном для пользования.
Конструктивно система состоит из оптико-механического блока, установленного в виброгасящей механической системе на пружинных подвесах, электроннофазометрической системы и электронно-вычислительного устройства со специализированным программным обеспечением.
Технические характеристики
| Наименование параметра | Значение параметра |
| 1. Диапазон измерений линейных перемещений, м | 1О'9...1О'3 |
| 2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных перемещений, м - в диапазоне (10'9-10'6) м - в диапазоне (10'6-10’3) м | ±0,5-10'9 ±3-10‘9 |
| 3. Диапазон измерений коэффициента электроакустического преобразования в диапазоне рабочих частот (10-1000) кГц, В/м | 1О6-1О10 |
| 4. Пределы допускаемой относительной погрешности измерений коэффициента электроакустического преобразования, не более, % | ±5,0 |
| 5. Диапазон измерений виброперемещений, м | 1О'9...1О’4 |
| 6. Пределы допускаемой относительной погрешности измерений виброперемещений, не более, % | ±2,0 |
| 7. Дискретность отсчета, м | 11O10 |
| 8. Диапазон рабочих частот, Гц | 0,3 ...ЗЮ5 |
| 9. Быстродействие, с, не более | 10-10 6 |
| 10. Габаритные размеры, мм, не более оптико-механического блока электронно-фазометрической системы | 320x180x70 450x270x180 |
| 11. Масса, кг, не более оптико-механического блока электронно-фазометрической системы | 7,5 3,0 |
| 12. Рабочий диапазон температур, °C | 20±1 |
| 13. Изменение температуры окружающей среды в процессе работы, °C, не более | ±0,1 |
| 14. Относительная влажность, % | 65±15 |
| 15. Атмосферное давление, мм.рт.ст. | 760±30 |
| 16. Напряжение питания, В | 220±11 |
| 17. Потребляемая мощность, Вт, не более | 500 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта системы и корпус системы.
Комплектность
В комплект системы входят:
| Наименование | Количество |
| 1. Стабилизированный гелий-неоновый лазер ЛГН - 304 | 1 шт. |
| 2. Высокочастотный задатчик линейных перемещений АСНД 261.02СБ | 1 шт. |
| 3. Оптико-механический блок АСНД 1.180.01 СБ | 1 шт. |
| 4. Фотоприемное устройство АСНД 3.996.01 СБ | 1 шт. |
| 5. Акустооптические модуляторы МЛ-201 | 2 шт. |
| 6. Электронно-фазометрическая система АСНД 2.721.01 СБ | 1 шт. |
| 7. Блок высокочастотных генераторов АСНД 3.261.01 СБ | 1 шт. |
| 8. Комплект кабелей | 1 шт. |
| 9. Электронно-вычислительное устройство (с встроенным программным обеспечением) | 1 шт. |
| 10. Виброгасящая механическая система на пружинных подвесах | 1 шт. |
| 11. Руководство по эксплуатации АСНД 002.001 РЭ.09, включающее методику поверки АСНД 002.001.МП.09 | 1 экз. |
Поверка
Поверка системы осуществляется в соответствии с методикой поверки АСНД 002.001.МП.09, утвержденной ГЦИ СИ ФГУ «РОСТЕСТ-МОСКВА» в сентябре 2009 г. и входящей в состав Руководства по эксплуатации.
Основные средства поверки:
Калибратор фазы Ф1-4 (№ Госреестра 7922-80);
Преобразователь виброизмерительный ВИП-1001 (№ Госреестра 13500-92);
Генератор сигналов ГЗ-118 (№ Госреестра 8484-81);
Частотомер электронно-счетный 43-63/3 (№ Госреестра 32499-06);
- Вольтметр типа В7-34 (№ Госреестра 7982-80);
- Осциллограф С1 -83 (№ Госреестра 6979-86).
Межповерочный интервал - 3 года.
Нормативные документы
МИ 2060-90 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от Г10‘6 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50,0 мкм».
Техническая документация фирмы-производителя.
Система лазерная измерительная ЛИС-01М № 01 утверждена с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метро-
