Назначение
Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный PHI 5000 VersaProbe (далее -спектрометр) предназначен для измерений интенсивности вторичного излучения элементов в поверхностных слоях твердых образцов.
Описание
Принцип работы спектрометра основан на явлении фотоэффекта и регистрации фотоэлектронов, покидающих поверхность образца при облучении монохроматическим рентгеновским излучением.
Конструкционно спектрометр изготовлен в виде моноблока, в котором находятся: источники рентгеновского излучения (рентгеновская трубка); оптическая система, включающая монохроматор; блок детектирования (канальный или вторичный электронный умножитель); энергоанализатор.
Для детектирования элементов, проводится предварительное нанесение образца на непроводящую подложку (графитовый скотч). Кроме того, в приборе предусмотрено тонкое варьирование угла падения первичного рентгеновского излучения, что позволяет проводить детектирование элементов по различной глубине приповерхностного слоя исследуемого вещества.
Внешний вид спектрометра представлен на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Программное обеспечение
Спектрометр оснащен встроенным программным обеспечением, которое невозможно идентифицировать, позволяющим проводить контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты, а также внешним специализированным программным обеспечением «PHISUMMITXPSforVersaProbe». Идентификационные данные внешнего специализированного программного обеспечения представлены в таблице 1.
| Идентификационные данные | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | PHI SUMMIT XPS for Versa Probe |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 1.4.1.6 |
| Цифровой идентификатор ПО | 44BF05B94F311A4DC9735E006BB4A186 |
| Другие идентификационные данные | Md5 |
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики представлены в таблице 2 Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики_
| Наименование характеристик | Значения характеристик |
| Диапазон регистрируемых элементов | От Be до Bi |
| Предел допускаемого относительного среднего квадратического отклонения выходного сигнала, % | 10 |
| Диапазон измерений энергии связи, эВ | от 0 до 1400 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений энергии связи, эВ | ±1,0 |
| Разрешение энергии связи (полная ширина линии на половине высоты) на линии золота Au 4f7/2 при ширине энергетического окна 2,95 эВ, эВ, не более | 0,61 |
| Параметры источника питания: - напряжение, В; - частота, Гц | 380±10% 50 |
| Условия эксплуатации: - относительная влажность воздуха, %, не более о/~' - температура окружающего воздуха, С | 70 20±5 |
| Г абаритные размеры, мм, не более | 3500x3300 х1800 |
| Масса, кг, не более | 1000 |
Знак утверждения типа
наносится на боковую панель спектрометра методом наклейки и на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Комплектность средства измерений приведена в таблице 3.
| Наименование | Количество, шт. |
| Спектрометр | 1 |
| Руководство по эксплуатации | 1 |
| Программное обеспечение PHISUMMITXPSfor VersaProbe | 1 |
| Калибровочные образцы | 3 |
| Методика поверки МП 6-251-2015 | 1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 6-251-2015 «ГСИ. Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный PHI 5000 VersaProbe. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» «10» марта 2015 г.
Основные средства поверки: - металлические тонкие пленки:
| Марка металлической тонкой пленки | Параметры металлической тонкой пленки | Массовая доля основного компонента в металлической тонкой пленке, %, не менее |
| Серебро (Ср 99,9) ГОСТ 6836-2002 | Толщина, мм, 0,025 Размеры, мм, 20*20 | 99,9 |
| Золото (Зл 99,9) ГОСТ 6835-2002 | Толщина, мм, 0,025 Размеры, мм, 25*25 | 99,9 |
| Медь (М0к) ГОСТ 859-2001 | Толщина, мм, 0,025 Размеры, мм, 20*20 | 99,9 |
Сведения о методах измерений
Методика измерений представлена в руководстве по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к спектрометру
Техническая документация изготовителя фирмы «ULVACPHI, INC», Япония.
60760-15: Описание типа СИСкачать213.4 Кб
90362-23
