Спектрометр рентгеновский с энергетической дисперсией INCA x-sight. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Спектрометр рентгеновский с энергетической дисперсией INCA x-sight

Основные
Тип INCA x-sight
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 650 п. 07 от 24.08.2012
Номер сертификата 47773
Срок действия сертификата ..
Страна-производитель  Великобритания 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E

Назначение

Спектрометр рентгеновский с энергетической дисперсией INCA х-sight (далее - прибор) предназначен для измерений зависимости интенсивности рентгеновского излучения от длины волны (энергии кванта) в составе растровых электронных микроскопов и электроннозондовых микроанализаторов.

Рис. 1. Общий вид рентгеновского спектрометра с энергетической дисперсией дисперсией INCA х-sight

Описание

Принцип действия прибора основан на явлении генерации электронно-дырочных пар носителей тока в полупроводниках под воздействием фотонов рентгеновского диапазона спектра. Детектором рентгеновского излучения является планарный диод из монокристаллического кремния, включенный в режиме обратного смещения на p-n переходе. В результате генерации пар носителей тока в области p-n перехода происходит их разделение и формирования импульса заряда, амплитуда которого пропорциональна энергии рентгеновского фотона. Далее импульс заряда преобразуется в импульс напряжения, амплитуда которого также пропорциональна энергии попавшего в детектор фотона. В результате поток рентгеновских фотонов различной энергии преобразуется в последовательность импульсов напряжения с амплитудами, пропорциональными энергии попавших в детектор фотонов. Данная последовательность поступает на многоканальный анализатор напряжения, в результате чего формируется цифровая гистограмма амплитудного распределения импульсов. Пропорциональность амплитуды импульса энергии фотонов позволяет однозначно связать номер канала с энергетическим диапазоном фо-

Лист 2

Всего листов 3 тонов, а число попавших фотонов в данный канал отражает спектральную интенсивность поступающего на детектор рентгеновского излучения. Таким образом формируют цифровой спектр рентгеновского излучения.

Прибор состоит из блока спектрометра с сосудом Дьюара для охлаждения кристалла-детектора, механического порта-интерфейса для установки на конкретный растровый электронный микроскоп или электроннозондовый микроанализатор, блока импульсного процессора, управляющего компьютера и интерфейса, связывающего импульсный процессор и систему управления растровым электронным микроскопом или микроанализатором.

Программное обеспечение

Управление прибором осуществляется с помощью внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентиф икаци-онное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений, версия

INCA_ENERGY

1.0

BD9FB7E3AB5133C5 6E720FE41C881BD91 140C074822AB80220 А19438А906В565

ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений энергии рентгеновских фотонов, кэВ

от 0,1 до 20

Пределы допускаемой погрешности измерений энергии фотона на линии Mn Ka1,2 (5,895 кэВ) , эВ, не более

±2

Диапазон измерений интенсивности рентгеновского излучения, имп/с

от 1000 до 10000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений интенсивности рентгеновского излучения, %

±3

Энергетическое разрешение прибора при скорости счета 4000 имп/с на линии C Ka1 (0,277 кэВ), эВ, не более

66

Энергетическое разрешение при скорости счета 4000 имп/с, на линии Mn Ka1,2 (5,895 кэВ), эВ, не более

133

Масса, кг

12

Геометрические размеры (длина х ширина х высота), мм

600х400х800

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В

220±10

Потребляемая мощность, Вт

300

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

- относительная влажность воздуха, %, не более

- атмосферное давление, кПа

20 ± 3 70

101 ± 1,4

Знак утверждения типа

наносится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.

Комплектность

В комплект прибора входят: спектрометр рентгеновский с энергетической дисперсией INCA X-sight, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по документу МП 50910-12 «Спектрометр рентгеновский с энергетической дисперсией INCA х-sight фирмы Oxford Instruments Analytical Limited (Великобритания). Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в июне 2012 г.

Средства поверки: комплект стандартных образцов для микроанализа SPI Standards for Microanalysis 44 Metals 02751-AB фирмы SPI Supplies / Structure Probe, Inc. (США).

Сведения о методах измерений

Руководство оператора «INCA X-sight. Руководство оператора», раздел 4.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Рекомендации к применению

- применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Развернуть полное описание