Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 5
Найдено поверителей 2

Назначение

Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700 (далее - прибор) предназначен для измерений зависимости интенсивности от длины волны в составе растровых электронных микроскопов и электроннозондовых микроанализаторов в соответствии с аттестованными методиками измерений.

Описание

Принцип действия прибора основан на явлении дифракции регистрируемого рентгеновского излучения на кристаллах-анализаторах. Конструкция прибора обеспечивает расположение на круге Роуланда области возбуждения рентгеновского излучения электронным зондом с энергией электронов, достаточной для генерации характеристического рентгеновского излучения микрообъема образца, кристалла-анализатора и детектора рентгеновского излучения. Кинематический механизм прибора позволяет синхронно перемещать по кругу Роуланда кристалл - анализатор на угол 0, а детектор - на угол 20, чем обеспечивается непрерывное изменение угла скольжения исследуемого излучения относительно кристалла-анализатора при условии равенства углов скольжения падающего и дифрагированного пучка. Такая схема позволяет проводить измерение интенсивности генерируемого электронным зондом излучения в зависимости от длины волны этого излучения (регистрировать спектр рентгеновского излучения).

Прибор состоит из механического блока спектрометра, механического порта-интерфейса для установки на конкретный растровый электронный микроскоп или электроннозондовый микроанализатор, стойки управления спектрометром, управляющего компьютера.

Пломбирование спектрометра рентгеновского с волновой дисперсией Inca Wave 700 не предусмотрено.

Программное обеспечение

Программное обеспечение (ПО) «INCA» является специализированным ПО рентгеновского спектрометра и предназначено для управления кинематическим механизмом спектрометра, накопления и обработки рентгеновского спектра, управления высоковольтными источниками детектора рентгеновского излучения.

ПО «INCA» не может быть использовано отдельно от спектрометра рентгеновского. Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО дифрактометра и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

INCA

Номер версии (идентификационный номер) ПО

5.04

Цифровой идентификатор ПО*

736е8е312782b2c93259е1143d27cb1b

1c008cd40е8е2537614ab9d1е529ffcb

* использовался алгоритм вычисления идентификатора ПО согласно ГОСТ Р 34.11-2012.

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики спектрометра рентгеновского с волновой дисперсией Inca Wave 700 приведены в таблице 2.

Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (200), нм

±0,00005

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии TiKa монокристалле пентаэритринола (РЕТ), нм

±0,00043

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии AlKa на монокристалле оксифталата таллия (ТАР), нм

±0,0013

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CKa на синтетическом многослойном материале LSM-080N, нм

±0,003

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии ВКа на синтетическом многослойном материале LSM-200, нм

±0,01

Отношение пик/фон для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (200), не менее

315

Отношение пик/фон для линии TiKa монокристалле пентаэритринола РЕТ, не менее

500

Наименование характеристики

Значение

Отношение пик/фон для линии ОКа на монокристалле оксифталата таллия ТАР, не менее

350

Отношение пик/фон для линии СКа

на синтетическом многослойном материале LSM-080N, не менее

40

Отношение пик/фон для линии ВКа на синтетическом многослойном материале LSM-200, не менее

30

Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для отпаянного пропорционального счетчика (SPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), %

от 16 до 23

Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для проточного пропорционального счетчика (FPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), %

от 16 до 23

Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для проточного пропорционального счетчика (FPC), линия СКа, кристалл-анализатор LSM-080N, %

от 80 до 200

Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора монокристалла фторида лития LiF (200), нм

от 0,11436 до 0,37202

Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-монокристалла пентаэритринола РЕТ, нм

от 0,24827 до 0,80765

Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-монокристалла оксифталата таллия ТАР, нм

от 0,7313 до 2,379

Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-синтетического многослойного материала LSM- 080N, нм

от 2,2 до 7,2

Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора- синтетического многослойного материала LSM-200, нм

от 5,8 до 19

Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50 Гц, В

от 210 до 230

Условия эксплуатации:

о/~'

-    температура окружающего воздуха, С

-    относительная влажность воздуха, %, не более

-    атмосферное давление, кПа

от +17 до +23 70

от 99,6 до 102,4

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель блока питания и управления в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Комплектность представлена в таблице 3.

Таблица 3

Наименование

Количество

Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700

1 шт.

Комплект ЗИП

1 шт.

Наименование

Количество

Руководство по эксплуатации

1 экз.

Методика поверки

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 69543-17 «Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 07.08.2017 г.

Основные средства поверки:

-    Стандартный образец состава меди высокой чистоты ГСО 10800-2016.

-    Титан марок ВТ1-00 или ВТ1-0 по ГОСТ 19807-91.

-    Стандартный образец состава алюминия высокой чистоты ГСО 6265-91/6271-91.

-    Графит марок ГСМ-1 или ГСМ-2 ГОСТ 17022-81.

-    Борная кислота марок «для оптического стекловарения» или «А» по ГОСТ 18704-78.

-    Стандартный образец состава железа высокой чистоты ГСО 9497-2009.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение

метрологических характеристик поверяемого спектрометра с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Развернуть полное описание