Назначение
Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700 (далее - прибор) предназначен для измерений зависимости интенсивности от длины волны в составе растровых электронных микроскопов и электроннозондовых микроанализаторов в соответствии с аттестованными методиками измерений.
Описание
Принцип действия прибора основан на явлении дифракции регистрируемого рентгеновского излучения на кристаллах-анализаторах. Конструкция прибора обеспечивает расположение на круге Роуланда области возбуждения рентгеновского излучения электронным зондом с энергией электронов, достаточной для генерации характеристического рентгеновского излучения микрообъема образца, кристалла-анализатора и детектора рентгеновского излучения. Кинематический механизм прибора позволяет синхронно перемещать по кругу Роуланда кристалл - анализатор на угол 0, а детектор - на угол 20, чем обеспечивается непрерывное изменение угла скольжения исследуемого излучения относительно кристалла-анализатора при условии равенства углов скольжения падающего и дифрагированного пучка. Такая схема позволяет проводить измерение интенсивности генерируемого электронным зондом излучения в зависимости от длины волны этого излучения (регистрировать спектр рентгеновского излучения).
Прибор состоит из механического блока спектрометра, механического порта-интерфейса для установки на конкретный растровый электронный микроскоп или электроннозондовый микроанализатор, стойки управления спектрометром, управляющего компьютера.
Пломбирование спектрометра рентгеновского с волновой дисперсией Inca Wave 700 не предусмотрено.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «INCA» является специализированным ПО рентгеновского спектрометра и предназначено для управления кинематическим механизмом спектрометра, накопления и обработки рентгеновского спектра, управления высоковольтными источниками детектора рентгеновского излучения.
ПО «INCA» не может быть использовано отдельно от спектрометра рентгеновского. Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО дифрактометра и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | INCA |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 5.04 |
| Цифровой идентификатор ПО* | 736е8е312782b2c93259е1143d27cb1b 1c008cd40е8е2537614ab9d1е529ffcb |
* использовался алгоритм вычисления идентификатора ПО согласно ГОСТ Р 34.11-2012.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики спектрометра рентгеновского с волновой дисперсией Inca Wave 700 приведены в таблице 2.
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (200), нм | ±0,00005 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии TiKa монокристалле пентаэритринола (РЕТ), нм | ±0,00043 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии AlKa на монокристалле оксифталата таллия (ТАР), нм | ±0,0013 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CKa на синтетическом многослойном материале LSM-080N, нм | ±0,003 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии ВКа на синтетическом многослойном материале LSM-200, нм | ±0,01 |
| Отношение пик/фон для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (200), не менее | 315 |
| Отношение пик/фон для линии TiKa монокристалле пентаэритринола РЕТ, не менее | 500 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Отношение пик/фон для линии ОКа на монокристалле оксифталата таллия ТАР, не менее | 350 |
| Отношение пик/фон для линии СКа на синтетическом многослойном материале LSM-080N, не менее | 40 |
| Отношение пик/фон для линии ВКа на синтетическом многослойном материале LSM-200, не менее | 30 |
| Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для отпаянного пропорционального счетчика (SPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), % | от 16 до 23 |
| Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для проточного пропорционального счетчика (FPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), % | от 16 до 23 |
| Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для проточного пропорционального счетчика (FPC), линия СКа, кристалл-анализатор LSM-080N, % | от 80 до 200 |
| Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора монокристалла фторида лития LiF (200), нм | от 0,11436 до 0,37202 |
| Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-монокристалла пентаэритринола РЕТ, нм | от 0,24827 до 0,80765 |
| Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-монокристалла оксифталата таллия ТАР, нм | от 0,7313 до 2,379 |
| Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-синтетического многослойного материала LSM- 080N, нм | от 2,2 до 7,2 |
| Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора- синтетического многослойного материала LSM-200, нм | от 5,8 до 19 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50 Гц, В | от 210 до 230 |
| Условия эксплуатации: о/~' - температура окружающего воздуха, С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа | от +17 до +23 70 от 99,6 до 102,4 |
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель блока питания и управления в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Комплектность представлена в таблице 3.
Таблица 3
| Наименование | Количество |
| Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700 | 1 шт. |
| Комплект ЗИП | 1 шт. |
| Наименование | Количество |
| Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
| Методика поверки | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 69543-17 «Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией Inca Wave 700. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 07.08.2017 г.
Основные средства поверки:
- Стандартный образец состава меди высокой чистоты ГСО 10800-2016.
- Титан марок ВТ1-00 или ВТ1-0 по ГОСТ 19807-91.
- Стандартный образец состава алюминия высокой чистоты ГСО 6265-91/6271-91.
- Графит марок ГСМ-1 или ГСМ-2 ГОСТ 17022-81.
- Борная кислота марок «для оптического стекловарения» или «А» по ГОСТ 18704-78.
- Стандартный образец состава железа высокой чистоты ГСО 9497-2009.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение
метрологических характеристик поверяемого спектрометра с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
69543-17: Методика поверкиСкачать813.1 Кб
13537-93
