Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700

Основные
Тип INCA WAVE 700
Год регистрации 2011
Дата протокола Приказ 6354 от 06.12.11 п.10
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 44657
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Великобритания 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700 (далее - прибор) предназначен для измерений длины волны и относительной интенсивности рентгеновского излучения в составе растровых электронных микроскопов и электроннозондовых микроанализаторов.

Описание

Принцип действия прибора основан на явлении дифракции рентгеновского излучения на кристаллах-анализаторах. Конструкция прибора обеспечивает расположение на круге Роуланда области возбуждения рентгеновского излучения электронным зондом с энергией электронов, достаточной для генерации характеристического рентгеновского излучения микрообъема образца, кристалла-анализатора и детектора рентгеновского излучения. Кинематический механизм прибора позволяет синхронно перемещать по кругу Роуланда кристалл - анализатор на угол 0, а детектор - на угол 20, чем обеспечивается непрерывное изменение угла скольжения исследуемого излучения относительно кристалла-анализатора при условии равенства углов скольжения падающего и дифрагированного пучка. Данная схема регистрировать спектр рентгеновского излучения.

Прибор состоит из механического блока спектрометра, механического порта-интерфейса для установки на растровый электронный микроскоп или электроннозондовый микроанализатор, стойки управления спектрометром и управляющей ПЭВМ.

Рисунок1. Общий вид спектрометра рентгеновского с волновой дисперсией INCA WAVE 700

Программное обеспечение

Управление прибором осуществляется с помощью внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений, версия

INCA_WAVE

1.2

C677C99F65772EOOE B2C7BF90D28D7967 64A8B7CD3F87FD2E 773DO1AE9EE9E98

ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора монокристалла фторида лития LiF (220), нм

от 0,08087 до 0,26306

Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора монокристалла фторида лития LiF (200), нм

от 0,11436 до 0,37202

Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-монокристалла петаэритринола PET, нм

от 0,24827 до 0,80765

Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-монокристалла оксифталата таллия TAP, нм

от 0,7313 до 2,379

Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-синтетического многослойного материала LSM-060, нм

от 1,7 до 5,6

Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора- синтетического многослойного материала LSM-200, нм

от 5,8 до 19

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (220), нм

± 0,00014

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (200), нм

± 0,00005

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии TiKa монокристалле пентаэритринола (PET), нм

± 0,00043

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии AlKa на монокристалле оксифталата таллия (TAP), нм

± 0,0013

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CKa на синтетическом многослойном материале LSM-060, нм

± 0,003

Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии BKa на синтетическом многослойном материале LSM-200, нм

± 0,01

Наименование характеристики

Значение

Отношение пик/фон для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (220), не менее

400

Отношение пик/фон для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (200), не менее

315

Отношение пик/фон для линии TiKa монокристалле пентаэритринола PET, не менее

500

Отношение пик/фон для линии OKa на монокристалле оксифталата таллия TAP, не менее

350

Отношение пик/фон для линии CKa на синтетическом многослойном материале LSM-060, не менее

70

Отношение пик/фон для линии BKa на синтетическом многослойном материале LSM-200, не менее

30

Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для отпаянного пропорционального счетчика (SPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), %

от 16 до 23

Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для проточного пропорционального счетчика (FPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), %

от 16 до 23

Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для проточного пропорционального счетчика (FPC), линия CKa, кристалл-анализатор LSM-060, %

от 85 до 110

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, оС

- атмосферное давление, кПа

- относительная влажность воздуха %

- напряжение сети питания, В

- частота сети питания, Гц

20 ± 3

101 ± 1,4

70

220 ± 10

50 ± 1

Знак утверждения типа

наносится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.

Комплектность

В комплект прибора входят: спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по документу МП 48390-11 «Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700 фирмы «Oxford Instruments Analytical Limited», Великобритания. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в октябре 2011г.

Средства поверки:

- комплект стандартных образцов для микроанализа SPI Standards for Microanalysis 44 Metals 02751-AB фирмы «SPI Supplies/Structure Probe, Inc.», США;

- комплект стандартных образцов для микроанализа 15 Rare Earth Phosphate Standard Mount

02759-AB фирмы «SPI Supplies / Structure Probe, Inc.», США.

Сведения о методах измерений

Техническое описание «INCA WAVE. Руководство оператора», раздел 4.

Нормативные документы

Техническое описание «INCA WAVE. Руководство оператора».

Рекомендации к применению

Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Развернуть полное описание