Назначение
Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700 (далее - прибор) предназначен для измерений длины волны и относительной интенсивности рентгеновского излучения в составе растровых электронных микроскопов и электроннозондовых микроанализаторов.
Описание
Принцип действия прибора основан на явлении дифракции рентгеновского излучения на кристаллах-анализаторах. Конструкция прибора обеспечивает расположение на круге Роуланда области возбуждения рентгеновского излучения электронным зондом с энергией электронов, достаточной для генерации характеристического рентгеновского излучения микрообъема образца, кристалла-анализатора и детектора рентгеновского излучения. Кинематический механизм прибора позволяет синхронно перемещать по кругу Роуланда кристалл - анализатор на угол 0, а детектор - на угол 20, чем обеспечивается непрерывное изменение угла скольжения исследуемого излучения относительно кристалла-анализатора при условии равенства углов скольжения падающего и дифрагированного пучка. Данная схема регистрировать спектр рентгеновского излучения.
Прибор состоит из механического блока спектрометра, механического порта-интерфейса для установки на растровый электронный микроскоп или электроннозондовый микроанализатор, стойки управления спектрометром и управляющей ПЭВМ.
Рисунок1. Общий вид спектрометра рентгеновского с волновой дисперсией INCA WAVE 700
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляется с помощью внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений, версия | INCA_WAVE | 1.2 | C677C99F65772EOOE B2C7BF90D28D7967 64A8B7CD3F87FD2E 773DO1AE9EE9E98 | ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора монокристалла фторида лития LiF (220), нм | от 0,08087 до 0,26306 |
| Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора монокристалла фторида лития LiF (200), нм | от 0,11436 до 0,37202 |
| Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-монокристалла петаэритринола PET, нм | от 0,24827 до 0,80765 |
| Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-монокристалла оксифталата таллия TAP, нм | от 0,7313 до 2,379 |
| Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-синтетического многослойного материала LSM-060, нм | от 1,7 до 5,6 |
| Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора- синтетического многослойного материала LSM-200, нм | от 5,8 до 19 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (220), нм | ± 0,00014 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (200), нм | ± 0,00005 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии TiKa монокристалле пентаэритринола (PET), нм | ± 0,00043 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии AlKa на монокристалле оксифталата таллия (TAP), нм | ± 0,0013 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CKa на синтетическом многослойном материале LSM-060, нм | ± 0,003 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии BKa на синтетическом многослойном материале LSM-200, нм | ± 0,01 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Отношение пик/фон для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (220), не менее | 400 |
| Отношение пик/фон для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (200), не менее | 315 |
| Отношение пик/фон для линии TiKa монокристалле пентаэритринола PET, не менее | 500 |
| Отношение пик/фон для линии OKa на монокристалле оксифталата таллия TAP, не менее | 350 |
| Отношение пик/фон для линии CKa на синтетическом многослойном материале LSM-060, не менее | 70 |
| Отношение пик/фон для линии BKa на синтетическом многослойном материале LSM-200, не менее | 30 |
| Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для отпаянного пропорционального счетчика (SPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), % | от 16 до 23 |
| Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для проточного пропорционального счетчика (FPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), % | от 16 до 23 |
| Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для проточного пропорционального счетчика (FPC), линия CKa, кристалл-анализатор LSM-060, % | от 85 до 110 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, оС - атмосферное давление, кПа - относительная влажность воздуха % - напряжение сети питания, В - частота сети питания, Гц | 20 ± 3 101 ± 1,4 70 220 ± 10 50 ± 1 |
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект прибора входят: спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 48390-11 «Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700 фирмы «Oxford Instruments Analytical Limited», Великобритания. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в октябре 2011г.
Средства поверки:
- комплект стандартных образцов для микроанализа SPI Standards for Microanalysis 44 Metals 02751-AB фирмы «SPI Supplies/Structure Probe, Inc.», США;
- комплект стандартных образцов для микроанализа 15 Rare Earth Phosphate Standard Mount
02759-AB фирмы «SPI Supplies / Structure Probe, Inc.», США.
Сведения о методах измерений
Техническое описание «INCA WAVE. Руководство оператора», раздел 4.
Нормативные документы
Техническое описание «INCA WAVE. Руководство оператора».
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
13537-93
