Назначение
Стенды измерительные для контроля параметров микроэлектронных компонентов FT-17HF-768, FT-17DT-256 (далее - стенды) предназначены для измерения вольт-амперных характеристик цифровых и цифро-аналоговых микросхем.
Описание
Стенды представляют собой автоматизированную многоканальную аппаратуру для функционального и параметрического контроля, который осуществляется путем подачи сигналов напряжения и тока на выводы тестируемой микросхемы и измерения выходных сигналов напряжения и тока, или сравнении выходных сигналов с заданными (ожидаемыми) сигналами. Основной аппаратной частью стендов являются универсальные каналы, каждый из которых включает в себя генератор тестовой последовательности, драйвер (источник напряжения), компаратор напряжения, активную нагрузку, источник-измеритель статических параметров. Кроме универсальных каналов, имеются дополнительные каналы источников-измерителей статических параметров с расширенными диапазонами напряжения и силы тока, и каналы измерительных источников питания.
Каналы размещаются на платах канальной электроники, каждая плата содержит 64 универсальных канала, 8 дополнительных каналов источников-измерителей статических параметров и 8 каналов измерительных источников питания.
В модификации FT-17HF-768 может быть установлено до 12-ти плат канальной электроники, в модификации FT-17DT-256 - до 4-х, количество плат определяется по заказу.
Входы и выходы плат канальной электроники выведены на подпружиненные контакты измерительных блоков. Для подключения объектов контроля используются специальные переходные платы.
Стенды FT-17HF-768 выполнены в напольном исполнении, их общий вид показан на рисунке 1. На передвижной платформе установлена стойка управления манипулятора, с помощью которого осуществляется перемещение измерительного блока. В стойке управления находится компьютер, блок питания и вспомогательное оборудование. Монитор, клавиатура и манипулятор «мышь» размещены на держателе, прикрепленном к стойке.
Стенды FT-17DT-256 представляют собой измерительный блок, работающий под управлением внешнего компьютера, и имеют два конструктивных варианта - исполнение А (рисунок 2) и исполнение Б (рисунок 3).
Программное обеспечение
Предустановленное на компьютере программное обеспечение служит для разработки, отладки и исполнения программ тестирования, выполняет функции управления режимами, обработки и представления измерительной информации. Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений «низкий» по Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование | XperTest | StaticTuning | HFDT Diagnostic |
| Номер версии (идентификационный номер) | 3.8.7.1 и выше | 4.3 и выше | 5 и выше |
место нанесения знака утверждения типа и знака поверки
Технические характеристики
представлены в таблицах 2 и 3.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| 1 | 2 |
| ГЕНЕРАТОР ТЕСТОВОЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТИ |
| Диапазон задания частоты функционального контроля, МГц | от 0,006105 до 100 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности частоты | ±0,1 % |
| ДРАЙВЕР (ИСТОЧНИК НАПРЯЖЕНИЯ) |
| Диапазоны воспроизводимых уровней постоянного напряжения, В |
| высокий уровень | от -1,4 до ±6,0 |
| низкий уровень | от -1,5 до ±5,9 |
| средний уровень | от -1,5 до +6,0 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ | ±15 1) |
| Диапазон установки длительности импульсов T, мкс | от 0,01 до 163,8 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности импульсов, нс | ±(0,001 •Т + 0,5) 2) |
| Время опережения и запаздывания фронта и среза импульсов, пс, не более | 800 3) |
| 1) Типовое значение ± 10 2) T - числовое значение длительности импульса в наносекундах 3) Типовое значение 500 |
Длительность фронта и среза импульсов, нс, не более
3,0
120
50
Максимальная сила тока нагрузки, мА
Выходное сопротивление, Ом
ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ ДРАЙВЕР (ИСТОЧНИК НАПРЯЖЕНИЯ)
Диапазон воспроизводимых уровней постоянного напряжения, В_
от +6 до +13
±(0,001 •и + 200) 1,2)
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ
Ж
Длительность фронта импульсов, нс, не более
300
40
Длительность среза импульсов, нс, не более
Диапазоны ограничения выходного тока в нагрузке, мА
от ±60 до ±120
10
от -12 до +12
выходное сопротивление, Ом
АКТИВНАЯ НАГРУЗКА
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мкА
5)
±(0,002-1 + 60)
КОМПАРАТОР
Диапазон уровней постоянного напряжения на входах, В
от -1,4 до +6,0
±15
2,0
от -5,5 до +14,0
±(0,001-И + 10) 1
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения, мВ_
Время опережения и запаздывания строба компаратора, нс, не более
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения, В
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ
Диапазоны измерения Di и пределы допускаемой абсолютной погрешности АТ
измерения силы постоянного тока
Di, мкА
АТ, мкА
Di, мА ±2,5 ±25
АТ, мА
■57"
"67"
±(0,001-1 + 0,02)
±(0,001-1 + 0,0025)
±5
■57"
"67"
±(0,001-1 + 0,05)
±(0,001-1 + 0,025)
±25
■5)"
ё;97
7)
±(0,001-1 + 0,25)
±(0,001-1+1,5)
±250
±400
±1200
6,10)
8)
±(0,001-I + 4)
1) И - числовое значение напряжения в милливольтах
2) Типовое значение ±(0,001-И + 100)
3) Типовое значение 200
4) Типовое значение 26
5) Т - числовое значение силы тока в микроамперах
6) Т - числовое значение силы тока в миллиамперах
7) Диапазон напряжения ограничен значениями от -2 до +7 В
8) Диапазон напряжения ограничен значениями от -2 до +3 В
9) Типовое значение ±(0,001-1 + 1)
10) Типовое значение ±(0,001 -I + 3)
ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ, универсальный канал
Диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения, В_
от -1,5 до +6,0
110
Разрешение по постоянному напряжению, мкВ
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения, мВ
т)
±(0,001-U + 5)
воспроизведение
ТУ
±(0,001 •U + 6)
измерение
Диапазоны Di / разрешение Ri и пределы допускаемой абсолютной погрешности АТ воспроизведения и измерения силы постоянного тока
| воспроизведение | измерение |
| Di/Ri | Д1 | Di/Ri ±2 мкА / 30 пА ±20 мкА /300 пА ±200 мкА / 3 нА ±2 мА / 30 нА ±32 мА / 480 нА | AI |
| ±2 мкА / 30 пА ±20 мкА / 300 пА ±200 мкА / 3 нА | : (0.001-1 • 0.01 Г’ ±(0,001 -1 ± 0,05)2 ±(6,001-1 + 0,5) 2) | : (0.001-1 • 0.02) ±(0,001-1 ±0,06) 2) ±(0,001-1 ±0,6) 2) |
| ±2 мА / 30 нА | ±(0,001-1 ± 0,005)3 | : (0.001-1 ± 0.006)'* |
| ±32 мА / 480 нА | : (0.001-1 • 0.1 ) 5’ | : (0.001-1 • 0.1) '’ |
ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ, дополнительный канал Диапазон постоянного напряжения, В
от -4,0 до ±12,5 от -2,7 до ±11,7
воспроизведение
измерение
Разрешение по постоянному напряжению, мкВ
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения, мВ
250
1)
±(0,001 •U + 5)
Диапазоны DT / разрешение RT и пределы допускаемой абсолютной погрешности АТ воспроизведения и измерения силы постоянного тока
| воспроизведение | измерение |
| Di/Ri | Д1 | Di/Ri ±5 мкА / 75 пА ±20 мкА /300 пА ±200 мкА / 3 нА ±2 мА / 30 нА ±80 мА /1,2 мкА | AI |
| ±5 мкА / 75 пА | : (0.001-1 • 0.005) | ±(0,001-1 ±0,02) 2) |
| ±20 мкА /300 пА | : (0.001-1 • 0.01 г’ | : (0.001-1 • 0.03)21 |
| ±200 мкА / 3 нА ±2 мА / 30 нЛ ±80 мА /1,2 мкА | : (0.001-1 • 0.1 г’ ±(0,001-1 ±0,001)3) ±(0,001-1 + 0,03)3) | : (0.001-1 • 0.15)21 ±(0,001-1 ± 0,0015)3) ±(0,001-1 ±0,05)3) |
| Наименование характеристики | Значение |
| Габаритные размеры, мм FT-17HF-768 | |
| высота | 2160 |
| ширина | 1775 |
| глубина | 1748 |
| FT-17DT-256, исполнение А |
| высота | 970 |
| ширина | 670 |
| глубина | 355 |
| FT-17DT-256, исполнение Б |
| высота | 980 |
| ширина | 970 |
| глубина | 355 |
| Масса, кг, не более | |
| FT-17HF-768 | 555,5 |
| FT-17DT-256 | 45,0 |
| Параметры электропитания | |
| частота сети, Гц | 50±0,5 |
| напряжение, В | 220±4,4 |
| Потребляемая мощность, кВ-A, не более | |
| FT-17HF-768 | 5,4 |
| FT-17DT-256 | 1,8 |
| Рабочие условия применения | |
| температура окружающей среды, °С | от 20 до 26 |
| относительная влажность воздуха, % | от 30 до 70 |
| Электромагнитная совместимость | ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014 |
| Безопасность | ГОСТ IEC 61010-1-2014 |
Знак утверждения типа
наносится на панель корпуса измерительного блока в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
приведена в таблице 4.
Таблица 4 - Комплектность стендов
| Наименование и обозначение | Кол-во, шт. |
| 1 | 2 |
| Стенд FT-17HF-768 |
| Блок измерительный | 1 |
| Стойка управления | 1 |
| Манипулятор | 1 |
| Компьютер с операционной системой Windows-7 и программным обеспечением XperTest, HFDT Diagnostic | 1 |
| Монитор компьютерный | 1 |
| Продолжение таблицы 4 |
| 1 | 2 |
| Клавиатура компьютерная | 1 |
| Манипулятор «мышь» к компьютеру | 1 |
| Компакт-диск с программным обеспечением StaticTuning (по заказу) | 1 |
| Руководство по эксплуатации (на компакт диске) | 1 |
| Руководство пользователя XperTest (на компакт диске) | |
| Руководство пользователя HFDT Diagnostic (на компакт диске) | 1 |
| Руководство пользователя StaticTuning (на компакт диске, по заказу) | 1 |
| Комплект плат переходных (по заказу) | 1 |
| Адаптер USB-COM TRENDNET TU-S9 | 1 |
| Методика поверки FT-17МП-2017 | 1 |
| Комплект адаптеров и кабелей для поверки (по заказу) | 1 |
| Блок питания БПС 18-0.7 (по заказу) | 1 |
| Стенд FT-17DT-256 |
| Блок измерительный | 1 |
| Компьютер с операционной системой Windows-7 и программным обеспечением XperTest, HFDT Diagnostic | 1 |
| Монитор компьютерный | 1 |
| Клавиатура компьютерная | 1 |
| Манипулятор «мышь» к компьютеру | 1 |
| Компакт-диск с программным обеспечением StaticTuning (по заказу) | 1 |
| Руководство по эксплуатации (на компакт диске) | 1 |
| Руководство пользователя XperTest (на компакт диске) | |
| Руководство пользователя HFDT Diagnostic (на компакт диске) | 1 |
| Руководство пользователя StaticTuning (на компакт диске, по заказу) | 1 |
| Комплект плат переходных (по заказу) | 1 |
| Адаптер USB-COM TRENDNET TU-S9 | 1 |
| Стол поворотный (по заказу) | 1 |
| Методика поверки FT-17МП-2017 | 1 |
| Комплект адаптеров и кабелей для поверки (по заказу) | 1 |
| Блок питания БПС 18-0.7 (по заказу) | 1 |
Поверка
осуществляется по документу FT-17МП-2017 «ГСИ. Стенды измерительные для контроля параметров микроэлектронных компонентов FT-17HF-768, FT-17DT-256. Методика поверки», утвержденному ЗАО «АКТИ-Мастер» 01.02.2017 г.
Основные средства поверки:
- калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2400, регистрационный номер 25789-08;
- частотомер Keysight 53230A, регистрационный номер 51077-12;
- катушка электрического сопротивления Р310 0,01 Ом, класс точности 0,01, регистрационный номер 1162-58;
- катушка электрического сопротивления Р321 0,1 Ом, класс точности 0,01, регистрационный номер 1162-58.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик стендов с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на панель корпуса измерительного блока стендов в виде наклейки (место нанесения показано на рисунках 1 - 3) и/или на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационных документах.
Нормативные документы, устанавливающие требования к стендам измерительным для контроля параметров микроэлектронных компонентов FT-17HF-768 и FT-17DT-256
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 10-16 ^ 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014. Оборудование электрическое для измерения, управления и лабораторного применения. Требования электромагнитной совместимости. Часть 1. Общие требования.
ГОСТ IEC 61010-1-2014. Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования. Часть 1. Общие требования.
66927-17: Методика поверки FT-17МП-2017Скачать2.1 Мб