Назначение
Стенды измерительные для контроля параметров микроэлектронных компонентов FT-17HF и FT-17DT (далее - стенды) предназначены для контроля и измерения электрических характеристик (напряжение, сила тока, сопротивление) цифровых и цифро-аналоговых микросхем при их производстве и входном контроле.
Описание
Стенды представляют собой автоматизированную многоканальную аппаратуру для функционального и параметрического контроля, который осуществляется путем подачи сигналов напряжения и тока на выводы тестируемой микросхемы и измерения выходных сигналов напряжения и тока, или сравнения выходных сигналов с заданными (ожидаемыми) сигналами.
Основной аппаратной частью стендов являются универсальные каналы, каждый из которых включает в себя генератор тестовой последовательности, драйвер (источник напряжения), компаратор напряжения, активную нагрузку, источник-измеритель статических параметров.
Кроме универсальных каналов, имеются дополнительные каналы источников-измерителей статических параметров с расширенными диапазонами напряжения и силы тока, и каналы измерительных источников питания.
Каналы размещаются на платах канальной электроники, каждая плата содержит 64 универсальных канала, 8 дополнительных каналов источников-измерителей статических параметров и 8 каналов измерительных источников питания.
В стендах FT-17HF может быть установлено до 12-ти плат канальной электроники, в стендах FT-17DT - до 4-х, количество плат определяется по заказу.
Входы и выходы плат канальной электроники выведены на подпружиненные контакты измерительных блоков. Для подключения объектов контроля используются специальные переходные платы.
Стенды FT-17HF имеют напольное исполнение, их общий вид показан на рисунке 1. На передвижной платформе установлены стойка управления манипулятора, с помощью которого осуществляется перемещение измерительного блока. В стойке управления находится компьютер, блок питания и вспомогательное оборудование. Монитор, клавиатура и мышь размещены на держателе, прикрепленном к стойке.
Стенды FT-17DT выполнены в настольном исполнении и представляют собой измерительный блок, работающий под управлением внешнего компьютера. Общий вид стендов FT-17DT показан на рисунке 2.
Программное обеспечение
Предустановленное на компьютере программное обеспечение служит для разработки, отладки и исполнения программ тестирования, выполняет функции управления режимами, обработки и представления измерительной информации.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «низкий» по Р 50.2.077-2014, класс риска “A” по WELMEC 7.2, Issue 5.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| идентификационное наименование | XperTest |
| идентификационный номер версии | 3.7.6.0 и выше |
| цифровой идентификатор | - |
| другие идентификационные данные | - |
место для знака утверждения типа и знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид стендов FT-17HF_
место пломбирования (защитная краска под винт)
Чф
место для знака утверждения типа и знака поверки
_Рисунок 2 - Общий вид стендов FT-17DT (измерительный блок)
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики аппаратуры стендов представлены в таблице 2.
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение |
| 1 | 2 |
| ГЕНЕРАТОР ТЕСТОВОЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТИ |
| диапазон задания частоты Fx функционального контроля | от 6,105 кГц до 100 МГц |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности частоты Fx, Гц | ± (0,001 •Fx + 0,1 Гц) |
| ДРАЙВЕР (ИСТОЧНИК НАПРЯЖЕНИЯ) |
| диапазоны воспроизводимых уровней напряжения, В высокий уровень низкий уровень | от минус 1,4 до + 6 от минус 1,5 В до + 5,9 |
| средний уровень | от минус 1,5 В до + 6 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения VIx, мВ | ± (0,001 •VIx + 10 мВ) |
| АКТИВНАЯ НАГРУЗКА |
| диапазон воспроизведения силы тока, мА | от минус 12 до + 12 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока I, мкА | ± (0,001-1 + 80 мкА) |
| КОМПАРАТОР |
| диапазон допустимых уровней напряжения на входах, В | от минус 1,4 до + 6 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения V, мВ | ± (0,001-V + 20 мВ) |
| ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ |
| диапазон воспроизведения постоянного напряжения, В | от минус 5,5 до + 14 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения U, мВ | ± (0,001-U + 10 мВ) |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы п на пределе измерения ± 5 мкА на пределе измерения ± 25 мкА | остоянного тока I, мкА ± (0,001-1 ±20 нА) : (0.001-1 • 100 нА)........................................................ |
| на пределе измерения ± 250 мкА | ± (0,001-1 + 1 мкА) |
| на пределе измерения ±2,5 мА | ± (0,001-1 ± 10 мкА) |
| на пределе измерения ± 25 мА | ± (0,001-1 + 100 мкА) |
| на пределе измерения ± 400 мА | ± (0,001-1 + 1,5 мА) |
| ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ, универсальный канал |
| диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения, В | от минус 1,5 до + 6 |
| разрешение по напряжению, мкВ | 110 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения U, мВ | ± (0,001-U + 10 мВ) |
| разрешение воспроизведения и измерения силы постоянного тока |
| на пределе ± 2 мкА | 30 пА |
| на пределе ± 20 мкА | 300 пА |
| на пределе ± 200 мкА | 3 нА |
| на пределе ± 2 мА | 30 нА |
| на пределе ± 32 мА | 480 нА |
| 1 | 2 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы |
| постоянного тока I, мкА | |
| на пределе ± 2 мкА | ±(0,00М + 30 нА) |
| на пределе ± 20 мкА | ±(0,001-1 + 100 нА) |
| на пределе ± 200 мкА | ±(0,001-1 ± 1 мкА) |
| на пределе ± 2 мА | ±(0,001-1 ± 10 мкА) |
| на пределе ± 32 мА | ± (0,001-1 ± 100 мкА) |
| ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ, дополнительный канал |
| диапазон воспроизведения постоянного напряжения, В | от минус 4 до + 12,5 |
| диапазон измерения постоянного напряжения, В | от минус 2,7 до + 11,7 |
| разрешение по напряжению, мкВ | 250 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения | |
| и измерения постоянного напряжения U, мВ | ± (0,001 •U + 10 мВ) |
| разрешение воспроизведения и измерения силы постоянного тока |
| на пределе ± 5 мкА | 75 нА |
| на пределе ± 20 мкА | 300 пА |
| на пределе ± 200 мкА | 3 нА |
| на пределе ± 2 мА | 30 нА |
| на пределе ± 80 мА | 1,2 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы |
| постоянного тока I, мкА | |
| на пределе ± 5 мкА | ±(0,001-1 ±20 нА) |
| на пределе ± 20 мкА | ±(0,001-1 ± 100 нА) |
| на пределе ± 200 мкА | ±(0,001-1 ± 1 мкА) |
| на пределе ± 2 мА | ± (0,001-1 ± 10 мкА) |
| на пределе ± 80 мА | ±(0,001-1 ± 1 мА) |
| ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
| габаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм |
| FT-17HF | 2160 х 1775 х 1748 |
| FT-17DT | 980 х 670 х 355 |
| масса, не более, кг |
| FT-17HF | 555,5 |
| FT-17DT | 45,0 |
| напряжение питания частотой (50 ± 0,5) Гц | (220 ± 4,4) В |
| потребляемая мощность, не более, кВ-А |
| FT-17HF | 5,4 |
| FT-17DT | 1,8 |
| условия эксплуатации | группа 2 ГОСТ 22261-94 |
| температура окружающей среды, °С | от 20 до 26 |
| относительная влажность при температуре 26 °С, не более | от 30 до 70 % |
Знак утверждения типа
наносится на панель корпуса измерительного блока в виде наклейки, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Таблица 3
| Наименование | Кол-во, шт. |
| Стенд FT-17HF |
| Блок измерительный | 1 |
| Стойка управления | 1 |
| Манипулятор | 1 |
| Компьютер с операционной системой Windows-7 и программным обеспечением XperTest | 1 |
| Монитор компьютерный | 1 |
| Клавиатура компьютерная | 1 |
| Манипулятор «мышь» к компьютеру | 1 |
| Руководство по эксплуатации АСЕД.411429.004 РЭ | 1 |
| Комплект плат переходных | 1 |
| Адаптер USB-COM TRENDNET TU-S9 | 1 |
| Методика поверки МП 091/551-2015 | 1 |
| Плата коммутации для поверки стенда FT-17HF | 1 |
| Стенд FT-17DT |
| Блок измерительный | 1 |
| Компьютер с операционной системой Windows-7 и программным обеспечением XperTest | 1 |
| Монитор компьютерный | 1 |
| Клавиатура компьютерная | 1 |
| Манипулятор «мышь» к компьютеру | 1 |
| Руководство по эксплуатации АСЕД.411429.003 РЭ | 1 |
| Комплект плат переходных | 1 |
| Адаптер USB-COM TRENDNET TU-S9 | 1 |
| Методика поверки МП 091/551-2015 | 1 |
| Плата коммутации для поверки стенда FT-17DT | 1 |
Поверка
осуществляется по документу МП РТ 091/551-2015 «ГСИ. Стенды измерительные для контроля параметров микроэлектронных компонентов FT-17HF и FT-17DT. Методика поверки», утвержденному ФБУ «Ростест-Москва» 27.04.2015 г.
Средства поверки и их метрологические характеристики:
- частотомер KEYSIGHT 53230A (диапазон измерения частоты от 1 мГц до 350 МГц, пределы допускаемой относительной погрешности измерения частоты не более ± 110-6);
- калибратор-мультиметр цифровой KEITHLEY 2400 (метрологические характеристики воспроизведения и измерения постоянного напряжения U и силы тока I даны в таблице 4).
Таблица 4
| Пределы | Пределы допускаемой абсолютной погрешности |
| воспроизведение | измерение |
| 1 | 2 | 3 |
| 200 мВ и 2 В | ± (2-10'4-и + 600 мкВ) | ± (12-10'5-U + 300 мкВ) |
| 20 В | : (2- КГ'-Г • 2.4 мВ) | : (15-КГЧ; • 1,5 мВ) |
| 200 В | : (2- КГ'-Г • 24 мВ) | : (15-кгЧ; • ю мВ) |
| 1 | 2 |
| 1 мкА | ± (35-Ю"5-! + 600 пА) | ± (29-10‘:>-1 + 300 пА) |
| 10 мкА | : (ЗЗ-10'Ч • 2 нА) | : (27-10’5-1 • 700 пА) |
| 100 мкА | : (31-Ю'Ч • 20 нА) | : (25-10’5-1 • 6 нА) |
| 1 мА | : (34-Ю'Ч • 200 нА) | : (27-10’5-1 • 60 нА) |
| 10 мА | : (45-10"5-1 • 2 мкА) | : (35-Ю‘Ч • 600 нА) |
| 100 мА | ± (66-10"'"'-I + 20 мкА) | ± (55-10_г>-1 + 6 мкА) |
| 1 А | : (27- КГ1-! • 900 мкА) | : (22-10’1-! • 570 мкА) |
Нормативные документы, устанавливающие требования к стендам измерительным для контроля параметров микроэлектронных компонентов FT-17HF и FT-17DT
ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 10-16 - 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
61074-15: Описание типа СИСкачать189.2 Кб