Течеискатель гелиевый HLT-560. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Течеискатель гелиевый HLT-560

Основные
Тип HLT-560
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 1101 п. 04 от 10.12.2012
Номер сертификата 49081
Срок действия сертификата ..
Страна-производитель  Германия 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E

Назначение

Течеискатель гелиевый HLT-560 (далее - течеискатель) предназначен для измерения потоков гелия при контроле герметичности микросхем масс-спектрометрическим методом.

Описание

Течеискатель гелиевый HLT-560 представляет собой тестовую камеру из специально обработанного алюминиевого сплава, обладающим стойкостью к сорбции атомов гелия в течение длительного периода. Камера используется с фланцевым фитингом, имеет внутренний диаметр 150 мм, глубину 75 мм, и съемную крышку с «О»-образным уплотнителем.

Принцип работы течеискателя состоит в масс-спектрографическом детектировании атомов гелия или фторуглерода при создании высокого вакуума в тестовой камере. При наличии атомов тестового газа в откачиваемой среде делается вывод о негерметичности тестируемого изделия.

Течеискатель оборудован современными электронными и электрическими компонентами (управляемым микропроцессором). Поэтому все процессы в приборе управляются автоматически.

Конструктивно течеискатель выполнен в виде настольного моноблочного прибора. Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней панели соответственно. Внешний вид течеискателя приведен на рисунке 1.

Рисунок 1 - Общий вид

*) Места для пломбировки от несанкционированного доступа.

**) Места для нанесения наклеек.

(1 - подключение объектов тестирования, 2 - задняя сторона с сетевыми подключениями, интерфейсами, подключениями для дистанционного контроля, зонд течеискателя и вентиляция, 3 - дисплей и контрольный блок, 4 - динамик, 5 - отверстие для притока свежего воздуха, 6 -отверстие для отвода отработанных газов)

Программное обеспечение

Программное обеспечение (ПО) «SmartTest HLT 560» предназначено только для работы с течеискателем и не может быть использовано отдельно от измерительно-вычислительной платформы течеискателя.

Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики те-чеискателя не выходит за пределы согласованного допуска.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

Таблица 1

Наименование ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии (идентификационный номер) ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления идентификатора ПО

ПО управления течеиска-телем и обработки результатов измерений

«SmartTest HLT 560»

7.50

E628711208C79773A

D6FBCBBAE8

ГОСТ Р34.11-94

Метрологически значимая часть ПО течеискателя и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики течеискателя приведены в

таблицах 2 и 3.

Таблица 2 - Основные метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение характеристики

Режимы работы установки

Режим вакуума

Режим анализа

Для режима вакуума

Диапазон измерений утечки газов, м^Па/с:

4He

3He

H2

от 5х10-12 до 1 от 5х10-10 до 1х10-2 от 5х10-8 до 1х10-2

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений утечки газов, %

± 20

Для режима анализа

Диапазон измерений утечки газов, м^Па/с: 4He

3He, H2

от 5 х 10-8 до 1 от 5х10-8 до 1х10-2

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений утечки газов, %

± 15

Таблица 3 - Габаритные размеры, масса и эксплуатационные характеристики течеиска-

теля

Наименование характеристики

Значение характеристики

Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм

550х460х304

Масса, кг

44

Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С

от 10 до 35

Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, %

до 85

Атмосферное давление, кПа

от 97 до 105

Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50 Гц, В

220 ± 22

Потребляемая мощность, В •А, не более

400

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на лицевую панель течеискателя в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Комплект поставки включает:

- течеискатель гелиевый HLT-560 - 1 шт.;

- комплект эксплуатационной документации (Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН.440224.002 ФО. Формуляр; Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН.440224.002 РЭ. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;

- методика поверки - 1 шт.

Поверка

осуществляется по документу «Инструкция. Течеискатель гелиевый HLT-560. Методика поверки. АЕСН.440224.002 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 14.08.2012 г.

Основные средства поверки:

- меры потока (течи гелиевые) Гелит 1, Гелит 2 (значение воспроизводимого потока при температуре (27 ± 0,5) 0С, м3\Па/с, Гелит 1 (от 7*10-10 до 2^10’8), Гелит 2 (от 3х10-11 до 7х10’10); пределы относительной погрешности воспроизведения потока, Гелит 1 - ± 15 %), Ге-лит 2 - ± 20 %).

Сведения о методах измерений

Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН. 440224.002. Руководство по эксплуатации.

Нормативные документы

1 ГОСТ 28517-90 «Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеи-скания. Общие требования».

2 ГОСТ Р 53177-2008 «Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности».

3 Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН. 440224.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.

Развернуть полное описание