Назначение
Течеискатель гелиевый HLT-560 (далее - течеискатель) предназначен для измерения потоков гелия при контроле герметичности микросхем масс-спектрометрическим методом.
Описание
Течеискатель гелиевый HLT-560 представляет собой тестовую камеру из специально обработанного алюминиевого сплава, обладающим стойкостью к сорбции атомов гелия в течение длительного периода. Камера используется с фланцевым фитингом, имеет внутренний диаметр 150 мм, глубину 75 мм, и съемную крышку с «О»-образным уплотнителем.
Принцип работы течеискателя состоит в масс-спектрографическом детектировании атомов гелия или фторуглерода при создании высокого вакуума в тестовой камере. При наличии атомов тестового газа в откачиваемой среде делается вывод о негерметичности тестируемого изделия.
Течеискатель оборудован современными электронными и электрическими компонентами (управляемым микропроцессором). Поэтому все процессы в приборе управляются автоматически.
Конструктивно течеискатель выполнен в виде настольного моноблочного прибора. Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней панели соответственно. Внешний вид течеискателя приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид
*) Места для пломбировки от несанкционированного доступа.
**) Места для нанесения наклеек.
(1 - подключение объектов тестирования, 2 - задняя сторона с сетевыми подключениями, интерфейсами, подключениями для дистанционного контроля, зонд течеискателя и вентиляция, 3 - дисплей и контрольный блок, 4 - динамик, 5 - отверстие для притока свежего воздуха, 6 -отверстие для отвода отработанных газов)
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «SmartTest HLT 560» предназначено только для работы с течеискателем и не может быть использовано отдельно от измерительно-вычислительной платформы течеискателя.
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики те-чеискателя не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии (идентификационный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
| ПО управления течеиска-телем и обработки результатов измерений | «SmartTest HLT 560» | 7.50 | E628711208C79773A D6FBCBBAE8 | ГОСТ Р34.11-94 |
Метрологически значимая часть ПО течеискателя и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики течеискателя приведены в
таблицах 2 и 3.
Таблица 2 - Основные метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Режимы работы установки | Режим вакуума Режим анализа |
| Для режима вакуума |
| Диапазон измерений утечки газов, м^Па/с: 4He 3He H2 | от 5х10-12 до 1 от 5х10-10 до 1х10-2 от 5х10-8 до 1х10-2 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений утечки газов, % | ± 20 |
| Для режима анализа |
| Диапазон измерений утечки газов, м^Па/с: 4He 3He, H2 | от 5 х 10-8 до 1 от 5х10-8 до 1х10-2 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений утечки газов, % | ± 15 |
Таблица 3 - Габаритные размеры, масса и эксплуатационные характеристики течеиска-
теля
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм | 550х460х304 |
| Масса, кг | 44 |
| Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С | от 10 до 35 |
| Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, % | до 85 |
| Атмосферное давление, кПа | от 97 до 105 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50 Гц, В | 220 ± 22 |
| Потребляемая мощность, В •А, не более | 400 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель течеискателя в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Комплект поставки включает:
- течеискатель гелиевый HLT-560 - 1 шт.;
- комплект эксплуатационной документации (Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН.440224.002 ФО. Формуляр; Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН.440224.002 РЭ. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;
- методика поверки - 1 шт.
Поверка
осуществляется по документу «Инструкция. Течеискатель гелиевый HLT-560. Методика поверки. АЕСН.440224.002 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 14.08.2012 г.
Основные средства поверки:
- меры потока (течи гелиевые) Гелит 1, Гелит 2 (значение воспроизводимого потока при температуре (27 ± 0,5) 0С, м3\Па/с, Гелит 1 (от 7*10-10 до 2^10’8), Гелит 2 (от 3х10-11 до 7х10’10); пределы относительной погрешности воспроизведения потока, Гелит 1 - ± 15 %), Ге-лит 2 - ± 20 %).
Сведения о методах измерений
Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН. 440224.002. Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
1 ГОСТ 28517-90 «Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеи-скания. Общие требования».
2 ГОСТ Р 53177-2008 «Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности».
3 Течеискатель гелиевый HLT-560. АЕСН. 440224.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
