Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые G861XX. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые G861XX

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 7
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 1

Назначение

Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые G861XX (далее - течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием или смесью газов, содержащих гелий.

Описание

Принцип действия течеискателей основан на измерении электрического сигнала от ионизированных молекул пробного газа (по умолчанию - гелия) в ионном коллекторе течеискателя.

В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система в сборе, высоковакуумный насос. Подключение испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца (испытательный порт), расположенного на верхней панели корпуса течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-спектрометр ионизируются ионным источником. Данные положительно заряженные частицы ускоряются в магнитном поле по окружности, радиус которой зависит от относительной атомной массы иона. При выборе в качестве пробного газа гелия (по умолчанию) только ионы гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного коллектора, на котором измеряется поток ионов, в виде электрического сигнала.

Течеискатель состоит из турбомолекулярного насоса, вспомогательного насоса, трубки спектрометра, клапанного блока, электроники течеискателя и интерфейса оператора (TFT-дисплей сенсорной панели) и дополнительного оборудования (беспроводной пульт дистанционного управления и дополнительная печатная плата ввода/вывода).

Течеискатели выпускают в следующих модификациях: G8610A, G8610B, G8611A, G8611B, G8611C, G8611D, G8612A, G8612B, G8612C, G8612D, отличающихся вариантом исполнения, типом и моделью насоса, массой, габаритными размерами и характеристиками питания. Модификации G8611A, G8611B, G8611C, G8611D выполнены на тележке с встроенным туда насосом. Модификации G8612A, G8612B, G8612C, G8612D выполнены в настольном исполнении и оснащены внешним вспомогательным насосом. В зависимости от характеристик питания на течеискателях указывается код исполнения (приведены в таблицах 3 - 6).

Пломбирование течеискателей не предусмотрено. Общий вид течеискателей масс-спектрометрических гелиевых серии G861XX представлен на рисунках 1-3.

Рисунок 3 - Общий вид течеискателей масс-спектрометрических гелиевых G861XX модификаций G8611A, G8611B, G8611C, G8611D

Программное обеспечение

Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием, либо смесью газов, содержащих гелий. ПО выполняет функции приема, обработки и передачи и вывода информации.

ПО течеискателей выполняет следующие функции:

-    управление работой вакуумной системой течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов);

-    управление работой масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия);

-    прием, обработка и отображение измерительной информации от масс-спектрометрического анализатора;

-    формирование выходных сигналов, передача их на ЖК-дисплей течеискателя и ПК;

-    автоматическая диагностика состояния течеискателя.

Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.

Информация о версии ПО доступна в меню «Главная - Информация о системе».

Влияние ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик.

Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

LeakDetector

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже LD01.03 120717

Цифровой идентификатор ПО

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

М

одификация

G8610A

G8610B

1A

ю

8

G

G8611B

G8611C

1D

ю

8

G

G8612A

G8612B

C

2

ю

8

G

G8612D

Диапазон измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя, Пам3/с

от 1-10-11 до 1-10-4

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % (где 0нпи -нижний предел измерений -значение измеренного потока, Па м /с)

-    в режиме «Точный тест»

-    в режиме «Тест»

±(0,30 + Qнпи/Qизм)•100 ±50

Наименование

характеристики

Значение

Модификация

G8610A

G8610B

Код исполнения

G8610-

64000

G8610-

64001

G8610-

64002

G8610-

64003

G8610-

64004

Исполнение

Портативный

Тип форвакуумного насоса

Внутренний масляный пластинчато-роторный

Внутренний спиральный безмасляный

Модель

форвакуумного

насоса

DS40M

IDP-3

Скорость форвакуумной откачки, л/мин:

-    при 50 Гц

-    при 60 Гц

30

36

50

60

Модель

высоковакуумного

насоса

Contra

Скорость высоковакуумной откачки, л/сек:

-    при 50 Гц

-    при 60 Гц

0,42

0,5

1,0

1,1

Модель

турбомолекулярного

насоса

Navigator

Время установления сигнала, мин, не более

7,0

Масса, кг, не более

36

Габаритные размеры течеискателя, мм, не более:

-    длина

-    ширина

-    высота

625

403

517

Питание:

-    напряжение переменного тока, В

-    частота, Гц

-    сила тока, А

-    потребляемая мощность, Вт, не более

от 103,5 до 126,5 50/60 2,0/2,3

300

от 207 до 253 50/60 1,0/1,3

350

от 90 до 110 50/60 2,2/2,4

300

от 103,5 до 126,5 50/60 2,4/2,2

320

от 207 до 253 50/60 1,2/1,2

320

Наименование

характеристики

Значение

Модификация

G8610A

G8610B

Код исполнения

G8610- G8610-64000 64001

G8610- G8610- G8610-64002 64003 64004

Условия

эксплуатации:

-    температура окружающего воздуха, °С

-    относительная влажность, %, не более

-    атмосферное давление, кПа

от +15 до +30 80

от 75 до 106,7

Средний срок службы, лет

10

Средняя наработка на отказ, ч

15000

Таблица 4 - Основные технические характеристики

Наименование

характеристики

Значение

Модификация

G8611A

G8611B

Код исполнения

G8611-64000 G8611-64001

G8611-64002 G8611-64003

Исполнение

Передвижной

Тип форвакуумного насоса

Внешний масляный пластинчато-роторный

Внешний безмасляный спиральный

Модель форвакуумного насоса

DS302

TS620

Скорость форвакуумной откачки, л/мин:

-    при 50 Гц

-    при 60 Гц

237

285

420

500

Модель

высоковакуумного

насоса

Contra

Скорость высоковакуумной откачки, л/сек:

-    при 50 Гц

-    при 60 Гц

2,5

3,0

5.0

6.0

Модель

турбомолекулярного

насоса

Navigator

Время установления сигнала, мин, не более

7,0

Масса течеискателя (с тележкой), кг, не более

79 88

Наименование

характеристики

Значение

Модификация

G8611A

G8611B

Код исполнения

G8611-64000

G8611-64001

G8611-64002

G8611-64003

Габаритные размеры течеискателя (с тележкой), мм, не более:

-    длина

-    ширина

-    высота

764

508

[153

Масса внешнего насоса, кг, не более

25

32

Габаритные размеры внешнего насоса, мм, не более:

-    длина

-    ширина

-    высота

467

132

212

472

300

355

Питание:

-    напряжение переменного тока, В

-    частота, Гц

-    сила тока, А

-    потребляемая мощность насоса, Вт, не более

от 103,5 до 126,5

50/60

9,0/5,4

1150

от 207 до 253

50/60

4,4/2,5

1150

от 103,5 до 126,5

50/60

7,7/6,8

1000

от 207 до 253

50/60

3,8/3,4

1000

Условия эксплуатации:

-    температура окружающего воздуха, °С

-    относительная влажность, %, не более

-    атмосферное давление, кПа

от +15 до +30 80

от 75 до 106,7

Средний срок службы, лет

10

Средняя наработка на отказ, ч

15000

Таблица 5 - Основные технические характеристики

Наименование

характеристики

Значение

Модификация

G8611C

G8611D

G8612A

Код исполнения

G8611-

64004

G8611-

64005

G8611-64006

G8612-

64000

G8612-

64001

Исполнение

Передвижной

Настольный

Наименование

характеристики

Значение

G8611C

G8611D

G8612A

Код исполнения

G8611- G8611-64004 64005

G8611-64006

G8612- G8612-64000 64001

Тип форвакуумного насоса

Внешний безмасляный спиральный

Внешний масляный пластинчато-роторный

Модель

форвакуумного

насоса

IDP-15

DS602

DS302

Скорость форвакуумной откачки, л/мин:

-    при 50 Гц

-    при 60 Гц

210

250

420

500

237

285

Модель

высоковакуумного

насоса

Contra

Скорость высоковакуумной откачки, л/сек:

-    при 50 Гц

-    при 60 Гц

3,5

4,3

6,9

8,3

2,5

3,0

Модель

турбомолекулярного

насоса

Navigator

Время установления сигнала, мин, не более

7,0

Масса течеискателя (с тележкой), кг, не более

89

-

Габаритные размеры течеискателя (с тележкой), мм, не более:

-    длина

-    ширина

-    высота

764

508

1153

-

Масса течеискателя, кг, не более

-

-

36

Габаритные размеры течеискателя, мм, не более:

-    длина

-    ширина

-    высота

-

-

625

403

517

Масса внешнего насоса, кг, не более

34

35

25

Наименование

характеристики

Значение

Модификация

G8611C

G8611D

G8612A

Код исполнения

G8611-

64004

G8611-

64005

G8611-64006

G8612-

64000

G8612-

64001

Габаритные размеры внешнего насоса, мм, не более:

-    длина

-    ширина

-    высота

485

333

364

541

164

242

4(

1

21

7 2 2

АГЧ _1

Питание:

-    напряжение переменного тока, В

-    частота, Гц

-    сила тока, А

-    потребляемая мощность насоса, Вт, не более

от 103,5 до 126,5

50/60

6,0/4,2

800

от 207 до 253

50/60

2,8/3,0

800

от 207 до 253

50/60

4,4/2,8

1150

от 103,5 до 126,5

50/60

9,0/5,4

1150

от 207 до 253

50/60

4,4/2,5

1150

Условия

эксплуатации:

-    температура окружающего воздуха, °С

-    относительная влажность, %, не более

-    атмосферное давление, кПа

от +15 до +30 80

от 75 до 106,7

Средний срок службы, лет

10

Средняя наработка на отказ, ч

15000

Таблица 6 - Основные технические характеристики

Наименование

характеристики

Значение

Модификация

G8612B

G8612C

G8612D

Код исполнения

G8612- G8612-64002 64003

G8612- G8612-64004 64005

G8612-64006

Исполнение

Настольный

Тип форвакуумного насоса

Внешний безмасляный спиральный

Внешний безмасляный спиральный

Внешний

масляный

пластинчато

роторный

Модель

форвакуумного

насоса

TS620

IDP-15

DS602

Наименование

характеристики

Значение

Модификация

G8612B

G8612C

G8612D

Код исполнения

G8612-

64002

G8612-

64003

G8612-

64004

G8612-

64005

G8612-64006

Скорость форвакуумной откачки, л/мин:

-    при 50 Гц

-    при 60 Гц

420

500

210

250

420

500

Модель

высоковакуумного

насоса

Contra

Скорость высоковакуумной откачки, л/сек:

-    при 50 Гц

-    при 60 Гц

5.0

6.0

3,5

4,3

6,9

8,3

Модель

турбомолекулярного

насоса

Navigator

Время установления сигнала, мин, не более

7,0

Масса течеискателя, кг, не более

36

Габаритные размеры течеискателя, мм, не более:

-    длина

-    ширина

-    высота

625

403

517

Масса внешнего насоса, кг, не более

32

34

35

Габаритные размеры внешнего насоса, мм, не более:

-    длина

-    ширина

-    высота

472

300

355

485

333

364

541

164

242

Питание:

-    напряжение переменного тока, В

-    частота, Гц

-    сила тока, А

-    потребляемая мощность насоса, Вт, не более

от 103,5 до 126,5

50/60

7,7/6,8

1000

от 207 до 253

50/60

3,8/3,4

1000

от 103,5 до 126,5

50/60

6,0/4,2

800

от 207 до 253

2,8

3,0

800

от 207 до 253

4,4

2,8

1150

Наименование

характеристики

Значение

Модификация

G8612B

G8612C

G8612D

Код исполнения

G8612- G8612-64002 64003

G8612- G8612-64004 64005

G8612-64006

Условия

эксплуатации:

-    температура окружающего воздуха, °С

-    относительная влажность, %, не более

-    атмосферное давление, кПа

от +15 до +30 80

от 75 до 106,7

Средний срок службы, лет

10

Средняя наработка на отказ, ч

15000

Знак утверждения типа

наносится способом наклейки или иным способом на корпус течеискателя, типографским способом на титульные листы руководства по эксплуатации и паспорта.

Комплектность

Таблица 3 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Течеискатель

-

1 шт.

Тележка (только для модификаций передвижного исполнения)

-

1 шт.

Печатная плата ввода/вывода 1)

Руководство по эксплуатации

Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые G861XX. Руководство по эксплуатации

1 экз.

Методика поверки

МП 231-0066-2019

1 экз.

1) Данная позиция может быть включена в комплектацию по требованию Заказчика.

Поверка

осуществляется по документу МП 231-0066-2019 «ГСИ. Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые G861XX. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

30.05.2019 г.

Основные средства поверки:

Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне от 10-12 до 1 Па-м3/с ГВЭТ 49-2-2006, (2.122В.0032.2014), СКО: в диапазоне от 10-12

9    3    9    3

до 10 Па м /с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10 до 1 Па м /с не более 0,015.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Сведения о методиках (методах) измерений отсутствуют. Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям масс-спектрометрическим гелиевым G861XX

ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования

ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности

Техническая документация фирмы «Agilent Technologies LDA Sdn», Малайзия

Развернуть полное описание