Назначение
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые LDS3000, Modul1000 (далее по тексту - течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности.
Описание
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр, настроенный на регистрацию потока пробного газа (гелия). Натекание (утечка) определяется потоком гелия, проникающего в испытуемый объём при вакуумных испытаниях или вытекающего из испытуемого объёма при избыточном давлении в нём.
Конструктивно течеискатель состоит из модуля системы течеискания (далее по тексту -модуль) и блока управления, соединяющихся электрическим кабелем. В состав модуля входят масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, и вакуумная система с турбомолекулярным насосом. Подключения испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя осуществляется с помощью присоединительных фланцев, расположенных на верхней или боковой панели корпуса модуля. Управление работой модуля и цифровой контроль результатов измерений осуществляется с помощью блока управления.
Испытуемый объект подсоединяют к фланцу модуля течеискателя и создают вакуум не более 1,5 кПа. Молекулы гелия, проникающие через места нарушения герметичности объекта, попадают в масс-спектрометрический анализатор. Ионный источник анализатора ионизирует эти молекулы газа. Образующиеся положительные ионы ускоряются, фокусируются магнитным полем анализатора и, после разделения, попадают на коллектор (приемник ионов). При этом образуется ионный ток, пропорциональный количеству попадающего в течеискатель гелия, который является критерием степени негерметичности испытуемого объекта. Значение измеряемого потока отображается на жидкокристаллическом дисплее блока управления.
В течеискателях предусмотрены режимы измерений по входу: ULTRA (сверхчувствительный), FINE (микроскопический) и GROSS (макроскопический), переключения между которыми осуществляются как в ручном, так и в автоматическом режиме. Также в течеискателях реализован режим поиска течей способом щупа.
Течеискатели могут применяться для обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
Течеискатели имеют 2 модификации, отличающиеся конструктивным исполнением, модификациями модулей и блоков управления, входящих в их состав, параметрами электропитания, массой и габаритами. В комплект поставки течеискателя Modul1000 по дополнительному заказу может быть включен беспроводной пульт дистанционного управления RC1000, который позволяет управлять работой Modul1000 на расстоянии до 100 м, и панель управления, предназначенная для управления работой течеискателя в случае его установки в распределительный шкаф.
Внешний вид течеискателей приведен на рисунках 1 и 2.
Знак поверки наносится на корпус модуля течеискателя, если это позволяют условия эксплуатации, и (или) на свидетельство о поверке.
Модуль Блок управления
Модуль Блок управления
Рисунок 1 - Внешний вид течеискателя Modul1000
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение гелием, либо смесью газов, содержащих гелий
ПО служит для управления работой течеискателя. ПО выполняет следующие функции:
- управление работой вакуумной системы течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов) и масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия);
- прием и обработка измерительной информации от масс-спектрометрического анализатора модуля;
- формирование выходных сигналов, передача их на блок управления и отображение информации на ЖК блока управления;
- автоматическая диагностика состояния течеискателя.
Идентификационные данные встроенного программного обеспечения представлены в таблице 1.
Идентификационные данные встроенного ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
| Идентификационные данные (признаки) ПО | Значение |
| Модификация течеискателя | LDS3000 | Modul1000 |
| Идентификационное наименование ПО | MSB | MS68 SW |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | не ниже 1.00 | не ниже 1.70 |
| Цифровой идентификатор ПО | - | - |
Информация о версии ПО доступна через меню прибора: номер версии отображается на дисплее блока управления.
Влияние встроенного ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений течеискателей - средний в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
приведены в таблице 2.
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значения характеристики для модификации: |
| LDS3000 | Modul1000 |
| Диапазон измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па-м /с* | от 5-10-13 до 1-10-2 |
| Диапазон показаний потока газа в вакууме при работе способом щупа, Па-м /с | от 1-10-8 до 1-10-2 | от 5-10-9 до 1-10-2 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений по входу течеискателя, % от измеряемой величины - режим измерения ULTRA (сверхчувствительный) - режим измерения FINE (микроскопический; - режим измерения GROSS (макроскопический) | ±(0,15 + 0нпи/0изм)-100, где 0нпи - нижний предел измерений 0изм - значение измеренного потока ±50 погрешность не нормируется |
* Производная единица величины потока газа в вакууме Па-м /с образована в соответствии с п.5.2.1. ГОСТ 8.417-2002 на основании уравнения связи (измерений), полученного из уравнения состояния идеального газа
| Наименование характеристики | Значения характеристики для модификации: |
| LDS3000 | Modul1000 |
| Время установления выходного сигнала, мин, не более | 3 |
| Параметры электропитания сети: постоянного тока переменного тока | 24 В, 10А | 230 В, 50 Гц |
| Потребляемая мощность, В-А, не более | 240 | 400 |
| Габаритные размеры, мм модуль (длинахширинахвысота) блок управления (длинахширинахвысота) (диаметр х высота) | 320х280х240 106,2х128,4х49,2 | 535х350х339 260х150 |
| Масса, кг модуль блок управления | 14,3 0,5 | 30 3,5 |
| Средняя наработка до метрологического отказа, ч | 15000 |
| Средний срок службы, лет | 10 |
Условия эксплуатации:
Диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С Относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более Атмосферное давление, кПа Высота над уровнем моря, м, не более
от 10 до 40 80
от 75 до 106,7 2000
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист руководств по эксплуатации и методом наклейки или иным методом на корпус модуля течеискателя.
Комплектность
Модуль системы течеискания соответствующей модификации Блок управления соответствующей модификации
1 шт 1 шт. 1 экз. 1 экз.
Руководство по эксплуатации на течеискатель соответствующей модификации Методика поверки МП 231 -0031 -2015
Поверка
осуществляется по документу МП 231-0031-2015 «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые LDS3000, Modul1000. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 03.11.2015 г.
Основное средство поверки: Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 10-12 - 1 Па-м3/с ГВЭТ 49-2-2006 (2.1.ZZB.0032.2014), СКО: в
12 9 3 9
диапазоне от 10 до 10 Па м /с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10 до
1 Пам3/с не более 0,015.
Сведения о методах измерений
приведены в документах «Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый LDS3000. Руководство по эксплуатации». «Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый Modul1000. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям масс-спектрометрическим гелиевым LDS3000, Modul1000
1 ГОСТ 28517-90 «Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования»
2 ГОСТ Р 53177-2008 «Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности»
3 Техническая документация компании Inficon GmbH, Германия
63679-16: Методика поверки МП 231-0031-2015Скачать715.3 Кб
54030-13
