Назначение
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые PHOENIX модификаций Quadro, Quadro dry, Magno, Magno dry, Vario (далее - течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов.
Описание
Принцип действия течеискателей основан на измерении электрического сигнала от ионизированных молекул пробного газа (по умолчанию - гелия) в ионном коллекторе течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-спектрометр, ионизируются ионным источником. Данные положительно заряженные частицы ускоряются в магнитном поле по окружности, радиус которой зависит от относительной атомной массы иона. При выборе в качестве пробного газа гелия (по умолчанию) только ионы гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного коллектора, на котором измеряется поток ионов, в виде электрического сигнала.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система, электроника течеискателя и интерфейс оператора (ЖК-дисплей сенсорной панели). Также в состав течеискателя входит дополнительное оборудование (беспроводной пульт дистанционного управления и дополнительная печатная плата ввода/вывода). Подключение испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца (испытательный порт), расположенного на верхней панели корпуса течеискателя.
Модификации течеискателей отличаются наличием/отсутствием и типом форвакуумного насоса (Quadro, Magno - с масляным насосом; Quadro dry, Magno dry - с сухим насосом, Vario -без насоса), массой, габаритными размерами и характеристиками питания.
Пломбирование течеискателей не предусмотрено. Общий вид течеискателей представлен на рисунках 1-3.
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), состоящее из ПО основного устройства, ПО встроенного блока управления и ПО вывода изображения на дисплей, разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
ПО основного устройства выполняет следующие функции:
- сбор, обработка и передача измерительной информации на устройство вывода;
- автоматическая диагностика состояния течеискателя.
ПО встроенного блока управления выполняет следующие функции:
- управление работой вакуумной системой течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов);
- управление работой масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия).
ПО вывода изображения на дисплей выполняет следующие функции:
- отображение измерительной информации, полученной от блока основного устройства течеискателя.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Информация о версии ПО доступна в меню «Диагностика» - «Информация» -«Устройство» - вкладка «Идентификация».
Влияние ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Основное устройство | Встроенный блок управления | Изображение |
| Идентификационное наименование ПО | PHOENIX 4 basic unit | PHOENIX 4 operating unit | PHOENIX 4 image |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | 1.16 | 1.31 | 1.44 |
| Цифровой идентификатор ПО | - | - | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па м /с* | от 110-12 до 110-2 |
| Диапазон показаний потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па м /с* | от 5 10-13 до 110-2 |
| Диапазон показаний потока газа в вакууме при работе способом щупа, Пам3/с* | от 110-10 до 110-2 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины (где 0нпи - значение нижнего предела измерений, Па м /с; 0изм - значение измеренного потока, Пам3/с): - в режиме «ULTRA» - в режиме «FINE» - в режиме «CROSS» | ±(0,15 + 0нпи/0изм)'100 ±50 не нормируется |
| * Производная единица величины потока газа в вакууме Па-м3/с образована в соответствии с п. 5.2.1. ГОСТ 8.417-2002 на основании уравнения связи (измерений), полученного из уравнения состояния идеального газа. |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Quadro | Quadro dry | Magno | Magno dry | Vario |
| Питание от сети переменного тока: - напряжение, В - частота, Гц | 230±10;230; 115±5;100 50;60; 60;(50/60) | 170±70 50/60 | 215±15; 110±10;100 (50/60); 60;(50/60) | 215±15; 110±10;100 (50/60); 60;(50/60) | 170±70 50/60 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Quadro | Quadro dry | Magno | Magno dry | Vario |
| Потребляемая мощность, В • А, не более | 640 | 470 | 1500 | 770 | 3230 |
| Габаритные размеры, мм, не более: - высота - ширина - длина | 475 318 495 | 475 318 495 | 679 371 521 | 679 371 521 | 380 313 486 |
| Масса, кг, не более | 41 | 35 | 67 | 57 | 25 |
| Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более - атмосферное давление, кПа | от +10 до +35 80 от 84 до 106,7 |
| Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
| Средний срок службы, лет | 10 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус течеискателя способом наклейки или иным способом, на титульные листы руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Течеискатель | - | 1 шт. |
| Комплект ЗИП | - | 1 компл. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 231-0073-2019 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 231-0073-2019 «ГСИ. Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые PHOENIX модификаций Quadro, Quadro dry, Magno, Magno dry, Vario. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 14 ноября 2019 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне от 10-12 до 1 Па-м3/с (ГВЭТ 49-2-2006) (регистрационный номер в Федеральном
12 9 3
информационном фонде 2.1.ZZB.0032.2014), СКО: в диапазоне от 10" до 10" Па м /с не более
-9 3
(0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10 до 1 Па м /с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности
Техническая документация компании Leybold GmbH, Германия
78615-20: Методика поверки МП 231-0073-2019Скачать2.8 Мб
2186-66
