Назначение
Тестер UltraFlex 810-72-00 (далее - тестер) предназначен для воспроизведения и измерения напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных импульсов и применяется для высокопроизводительного функционального и параметрического контроля интегральных микросхем (ИМС) и кристаллов в составе полупроводниковой пластины с числом выводов до 256 и рабочей частотой последовательности функционального контроля до 500 МГц.
Описание
Принцип действия тестера основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля (ФК), формируемую тестером.
Тестер обеспечивает формирование входных воздействий на выводы ИМС и полупроводниковые кристаллы на каждом канале в режимах:
- импульсном с возвратом к нулю или единице с поканально-независимым заданием момента начала и окончания импульса;
- потенциальном с поканально-независимым заданием момента переключения уровней и состояния.
Тестер обеспечивает контроль ожидаемого состояния на выводах ИМС и полупроводниковых кристаллов на каждом канале с поканально-независимым заданием момента контроля. Переключение режима может производиться в каждом такте контроля поканально-независимо.
Тестер представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого входят источники и измерители электрических сигналов, манипулятор, охлаждающее устройство и управляющая ПЭВМ (рис. 1). Конструктивно тестер выполнен в виде стойки с присоединенной тестовой головой, перемещаемой манипулятором и управляемой с помощью пульта. Подстыковочные разъемы расположены на панелях основной стойки и внешней головы. Внешний вид тестера приведен на рисунке 2.
Рисунок 1 - Состав тестера UltraFlex 810-72-00
Рисунок 2 - Общий вид тестера
а) Место для размещения наклеек;
б) Место для пломбировки от несанкционированного доступа.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «UltraFlex 810-72-00» предназначено только для работы с тестером и не может быть использовано отдельно от измерительно-вычислительной платформы этого тестера.
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики тестера не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии (идентификационный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
| Лицензионное ПО IG-XL для управления тестером | 401.vxe | IN-400-00 | E988C8FEA88B15D0 7C7430D5D373A | ГОСТ Р 34.11-94 |
Метрологически значимая часть ПО тестера и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 32862010.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики тестера приведены в таблицах 2 - 7.
Тестер обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала ФК с параметрами в соответствии с таблицей 2.
Таблица 2
| Параметр | Значение |
| Диапазон задаваемых напряжений (VIL, VIH), В | от минус 1 до плюс 6 |
| Дискретность установки напряжения, мВ | 1 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения, мВ (в диапазоне изменения уровня от 0,5 В до 5 В без нагрузки) | ± (0,001 •Пуст +20 мВ), где иуст - установленное значение |
| Максимальный выходной ток на один канал, мА | 100 |
| Диапазон измеряемых напряжений, В | от минус 1 до плюс 6 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения, мВ | ± 20 |
| Частота следования импульсов, МГц | до 500 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности задаваемой частоты следования импульсов, % | ± 0,1 |
| Длительность фронта импульса, пс, не более | 500 |
Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 3.
Таблица 3
| Параметр | Значение |
| Диапазон задаваемого/измеряемого напряжения постоянного тока, В: - (при силе тока более 20 мА, диапазон измерений силы тока 50 мА) - (при силе тока менее 20 мА, диапазон измерений силы тока 50 мА) | от минус 0,1 до плюс 4,5 от минус 1,0 до плюс 6,0 |
| Дискретность установки напряжения постоянного тока, мВ | 1,0 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения постоянного тока, мВ | ± (0,002/Пуст + 10 мВ), где Пуст - установленное значение, В |
| Дискретность измерений напряжения постоянного тока, мВ | 1,0 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока, мВ | ± (0,002/ии3м + 10 мВ), где U ,,зм - измеренное значение, В |
| Дискретность задаваемой силы постоянного тока: - диапазон ± 50 мА - диапазон ± 2 мА - диапазон ± 0,2 мА | < 20 мкА < 0,8 мкА < 0,08 мкА |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности задаваемой силы постоянного тока: - диапазон ± 50 мА - диапазон ± 2 мА - диапазон ± 0,2 мА - диапазон ± 0,02 мА | ± (0,005йуст + 1000,0 мкА), ± (0,005^1уст + 10,0 мкА), ± (0,005-Туст + 1,0 мкА), ± (0,005-Туст + 0,2 мкА), где 1уст - установленное значение, мА |
| Дискретность измерений силы постоянного тока: - диапазон ± 50 мА - диапазон ± 2 мА - диапазон ± 0,2 мА - диапазон ± 0,02 мА - диапазон ± 0,002 мА | < 6 мкА < 0,24 мкА < 0,024 мкА < 0,0024 мкА < 0,001 мкА |
| Параметр | Значение |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока: - диапазон ± 50 мА - диапазон ± 2 мА - диапазон ± 0,02 мА - диапазон ± 0,002 мА - диапазон ± 0,0002 мА | ± (0,005 •1изм + 500,0 мкА) ± (0,005-Тизм + 10,0 мкА) ± (0,005 -Тизм + 1,0 мкА) ± (0,005 -Тизм + 0,2 мкА) ± (0,005 -Тизм + 0,09 мкА), где Тизм - измеренное значение, мА |
Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока источниками питания (№ 1- 4) в соответствии с таблицей 4.
Таблица 4
| Параметр | Значение |
| Диапазоны задаваемого/измеряемого напряжения постоянного тока, В | 0 - 0,5; 0 - 1,0; 0 - 2,0; 0 - 5,0; 0 - 10,0; 0 - 20,0; 0 - 30,0 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения постоянного тока: - диапазон (0 - 0,5) В - диапазон (0 - 1,0) В - диапазон (0 - 2,0) В - диапазон (0 - 5,0) В - диапазон (0 - 10,0) В - диапазон (0 - 20,0) В - диапазон (0 - 30,0) В | ± (0,0005 •Луст + 0,9 мВ) ± (0,0005 •Луст + 1,0 мВ) ± (0,0005 •Луст + 1,2 мВ) ± (0,0005 •Луст + 1,6 мВ) ± (0,0005 •Луст + 2,6 мВ) ± (0,0005 •Луст + 5,0 мВ) ± (0,0005 •Луст + 8,0 мВ), где Луст - установленное значение, В |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока: - диапазон (0 - 0,5) В - диапазон (0 - 1,0) В - диапазон (0 - 2,0) В - диапазон (0 - 5,0) В - диапазон (0 - 10,0) В - диапазон (0 - 20,0) В - диапазон (0 - 30,0) В | ± (0,0005 •Лизм + 0,9 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 1,0 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 1,2 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 2,0 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 4,0 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 7,0 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 10,0 мВ), где Лизм - измеренное значение, В |
| Диапазоны задаваемой/измеряемой силы постоянного тока, мА | 0 - 0,02; 0 - 0,2; 0 - 2,0; 0 - 20,0; 0 - 200,0 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки силы постоянного тока: - диапазон (0 - 0,02) мА - диапазон (0 - 0,2) мА - диапазон (0 - 2,0) мА - диапазон (0 - 20,0) мА - диапазон (0 - 200,0) мА | ± (0,001 •Туст + 0,03 мкА) ± (0,001 •Туст + 0,3 мкА) ± (0,001 •Туст + 3,0 мкА) ± (0,001 •Туст + 30,0 мкА) ± (0,001 •Туст + 300,0 мкА), где Туст - установленное значение, мА |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока: - диапазон (0 - 0,02) мА - диапазон (0 - 0,2) мА - диапазон (0 - 2,0) мА - диапазон (0 - 20,0) мА - диапазон (0 - 200,0) мА | ± (0,001 •Тизм + 0,018 мкА) ± (0,001-Тизм + 0,18 мкА) ± (0,001 •Тизм +1,8 мкА) ± (0,001 •Тизм+18,0 мкА) ± (0,001 •Тизм+180,0 мкА), где Тизм - измеренное значение, мА |
Таблица 5 - Габаритные размеры и масса составных частей тестера
| Составные части | Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм | Масса, кг |
| Основная стойка | 1600х1000x800 | 570 |
| Тестовая голова | 450 х 710 х 710 | 290 |
| Манипулятор | 1600 х 420 х 800 | 510 |
| Система охлаждения | 1140х650х1050 | 380 |
| Рабочая станция (ПЭВМ) | 138 х 539 х 447 | 17,7 |
Таблица 6 - Характеристики напряжения питания тестера
| Параметр | Минимальное значение | Максимальное значение |
| Напряжение сети переменного тока, В | 200 | 480 |
| Отклонения напряжения сети, % | -15 | 10 |
| Частота напряжения сети, Г ц | 47 | 63 |
| Потребляемая мощность, кВт-А | 40 | |
Таблица 7 - Условия эксплуатации тестера
| Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С | от 15 до 30 |
| Относительная влажность воздуха при температуре 30 °С, % | от 50 до 80 |
| Атмосферное давление, кПа | от 97 до 105 |
| Средний срок службы, лет | 10 |
| Наработка на отказ, ч | 4000 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель стойки в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Комплект поставки включает:
- тестер UltraFlex 810-72-00 (в составе: тестовая стойка, манипулятор, тестовая голова) - 1 комплект;
- рабочая станция (ПЭВМ) - 1 комплект;
- блок охлаждения - 1 комплект;
- комплект эксплуатационной документации («Тестер UltraFlex 810-72-00. Паспорт. АЕСН.442241.002 ПС»; «Тестер UltraFlex 810-72-00. Руководство по эксплуатации. АЕСН.442241.002 РЭ») - 1 комплект;
- Методика поверки - 1 шт.
Поверка
Осуществляется по документу «Инструкция. Тестер UltraFlex 810-72-00. Методика поверки.
АЕСН.442241.002 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 14.08.2012 г.
Основные средства поверки:
- мультиметр цифровой KEITHLEY 2010 (регистрационный номер 25787-08) (диапазон измерений напряжения постоянного тока 100 мВ - 1000 В, пределы допускаемой относительной погрешности измерений напряжения постоянного тока ± 0,004 %; диапазон измерений силы постоянного тока от 10 мА до 3А, пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы постоянного тока ± 0,12 %);
- частотомер электронно-счетный ЧЗ-63 (регистрационный номер 9084-90), диапазон измеряемых частот импульсных сигналов от 1 Гц до 200 МГц с пределами допускаемой погрешности измерений частоты ± 5-10’7 ± 1 ед.сч.;
- осциллограф цифровой TDS-2014B (регистрационный номер 24018-06), диапазон измерений (0 - 100) МГц с пределами допускаемой относительной погрешности измерений 1 %.
Сведения о методах измерений
Тестер UltraFlex 810-72-00. АЕСН.442241.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
Тестер UltraFlex 810-72-00. АЕСН.442241.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
