Тестер UltraFlex 810-72-00. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Тестер UltraFlex 810-72-00

Основные
Тип UltraFlex 810-72-00
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 1101 п. 02 от 10.12.2012
Номер сертификата 49079
Срок действия сертификата ..
Страна-производитель  США 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E

Назначение

Тестер UltraFlex 810-72-00 (далее - тестер) предназначен для воспроизведения и измерения напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных импульсов и применяется для высокопроизводительного функционального и параметрического контроля интегральных микросхем (ИМС) и кристаллов в составе полупроводниковой пластины с числом выводов до 256 и рабочей частотой последовательности функционального контроля до 500 МГц.

Описание

Принцип действия тестера основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля (ФК), формируемую тестером.

Тестер обеспечивает формирование входных воздействий на выводы ИМС и полупроводниковые кристаллы на каждом канале в режимах:

- импульсном с возвратом к нулю или единице с поканально-независимым заданием момента начала и окончания импульса;

- потенциальном с поканально-независимым заданием момента переключения уровней и состояния.

Тестер обеспечивает контроль ожидаемого состояния на выводах ИМС и полупроводниковых кристаллов на каждом канале с поканально-независимым заданием момента контроля. Переключение режима может производиться в каждом такте контроля поканально-независимо.

Тестер представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого входят источники и измерители электрических сигналов, манипулятор, охлаждающее устройство и управляющая ПЭВМ (рис. 1). Конструктивно тестер выполнен в виде стойки с присоединенной тестовой головой, перемещаемой манипулятором и управляемой с помощью пульта. Подстыковочные разъемы расположены на панелях основной стойки и внешней головы. Внешний вид тестера приведен на рисунке 2.

Рисунок 1 - Состав тестера UltraFlex 810-72-00

Рисунок 2 - Общий вид тестера

а) Место для размещения наклеек;

б) Место для пломбировки от несанкционированного доступа.

Программное обеспечение

Программное обеспечение (ПО) «UltraFlex 810-72-00» предназначено только для работы с тестером и не может быть использовано отдельно от измерительно-вычислительной платформы этого тестера.

Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики тестера не выходит за пределы согласованного допуска.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

Таблица 1

Наименование ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии (идентификационный номер) ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления идентификатора ПО

Лицензионное ПО IG-XL для управления тестером

401.vxe

IN-400-00

E988C8FEA88B15D0 7C7430D5D373A

ГОСТ Р

34.11-94

Метрологически значимая часть ПО тестера и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 32862010.

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики тестера приведены в таблицах 2 - 7.

Тестер обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала ФК с параметрами в соответствии с таблицей 2.

Таблица 2

Параметр

Значение

Диапазон задаваемых напряжений (VIL, VIH), В

от минус 1 до плюс 6

Дискретность установки напряжения, мВ

1

Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения, мВ (в диапазоне изменения уровня от 0,5 В до 5 В без нагрузки)

± (0,001 •Пуст +20 мВ), где иуст - установленное значение

Максимальный выходной ток на один канал, мА

100

Диапазон измеряемых напряжений, В

от минус 1 до плюс 6

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения, мВ

± 20

Частота следования импульсов, МГц

до 500

Пределы допускаемой относительной погрешности задаваемой частоты следования импульсов, %

± 0,1

Длительность фронта импульса, пс, не более

500

Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 3.

Таблица 3

Параметр

Значение

Диапазон задаваемого/измеряемого напряжения постоянного тока, В: - (при силе тока более 20 мА, диапазон измерений силы тока 50 мА) - (при силе тока менее 20 мА, диапазон измерений силы тока 50 мА)

от минус 0,1 до плюс 4,5 от минус 1,0 до плюс 6,0

Дискретность установки напряжения постоянного тока, мВ

1,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения постоянного тока, мВ

± (0,002/Пуст + 10 мВ), где Пуст - установленное значение, В

Дискретность измерений напряжения постоянного тока, мВ

1,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока, мВ

± (0,002/ии3м + 10 мВ), где U ,,зм - измеренное значение, В

Дискретность задаваемой силы постоянного тока: - диапазон ± 50 мА

- диапазон ± 2 мА

- диапазон ± 0,2 мА

< 20 мкА < 0,8 мкА < 0,08 мкА

Пределы допускаемой абсолютной погрешности задаваемой силы постоянного тока:

- диапазон ± 50 мА

- диапазон ± 2 мА

- диапазон ± 0,2 мА

- диапазон ± 0,02 мА

± (0,005йуст + 1000,0 мкА), ± (0,005^1уст + 10,0 мкА), ± (0,005-Туст + 1,0 мкА), ± (0,005-Туст + 0,2 мкА), где 1уст - установленное значение, мА

Дискретность измерений силы постоянного тока: - диапазон ± 50 мА

- диапазон ± 2 мА

- диапазон ± 0,2 мА

- диапазон ± 0,02 мА

- диапазон ± 0,002 мА

< 6 мкА

< 0,24 мкА < 0,024 мкА < 0,0024 мкА < 0,001 мкА

Параметр

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока:

- диапазон ± 50 мА

- диапазон ± 2 мА

- диапазон ± 0,02 мА

- диапазон ± 0,002 мА

- диапазон ± 0,0002 мА

± (0,005 •1изм + 500,0 мкА) ± (0,005-Тизм + 10,0 мкА) ± (0,005 -Тизм + 1,0 мкА) ± (0,005 -Тизм + 0,2 мкА) ± (0,005 -Тизм + 0,09 мкА), где Тизм - измеренное значение, мА

Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока источниками питания (№ 1- 4) в соответствии с таблицей 4.

Таблица 4

Параметр

Значение

Диапазоны задаваемого/измеряемого напряжения постоянного тока, В

0 - 0,5; 0 - 1,0; 0 - 2,0; 0 - 5,0;

0 - 10,0; 0 - 20,0; 0 - 30,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения постоянного тока:

- диапазон (0 - 0,5) В

- диапазон (0 - 1,0) В

- диапазон (0 - 2,0) В

- диапазон (0 - 5,0) В

- диапазон (0 - 10,0) В

- диапазон (0 - 20,0) В

- диапазон (0 - 30,0) В

± (0,0005 •Луст + 0,9 мВ)

± (0,0005 •Луст + 1,0 мВ)

± (0,0005 •Луст + 1,2 мВ)

± (0,0005 •Луст + 1,6 мВ)

± (0,0005 •Луст + 2,6 мВ)

± (0,0005 •Луст + 5,0 мВ)

± (0,0005 •Луст + 8,0 мВ), где Луст - установленное значение, В

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока:

- диапазон (0 - 0,5) В

- диапазон (0 - 1,0) В

- диапазон (0 - 2,0) В

- диапазон (0 - 5,0) В

- диапазон (0 - 10,0) В

- диапазон (0 - 20,0) В

- диапазон (0 - 30,0) В

± (0,0005 •Лизм + 0,9 мВ)

± (0,0005 •Лизм + 1,0 мВ)

± (0,0005 •Лизм + 1,2 мВ)

± (0,0005 •Лизм + 2,0 мВ)

± (0,0005 •Лизм + 4,0 мВ)

± (0,0005 •Лизм + 7,0 мВ)

± (0,0005 •Лизм + 10,0 мВ), где Лизм - измеренное значение, В

Диапазоны задаваемой/измеряемой силы постоянного тока, мА

0 - 0,02; 0 - 0,2;

0 - 2,0; 0 - 20,0; 0 - 200,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки силы постоянного тока:

- диапазон (0 - 0,02) мА

- диапазон (0 - 0,2) мА

- диапазон (0 - 2,0) мА

- диапазон (0 - 20,0) мА

- диапазон (0 - 200,0) мА

± (0,001 •Туст + 0,03 мкА)

± (0,001 •Туст + 0,3 мкА)

± (0,001 •Туст + 3,0 мкА)

± (0,001 •Туст + 30,0 мкА)

± (0,001 •Туст + 300,0 мкА), где Туст - установленное значение, мА

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока:

- диапазон (0 - 0,02) мА

- диапазон (0 - 0,2) мА

- диапазон (0 - 2,0) мА

- диапазон (0 - 20,0) мА

- диапазон (0 - 200,0) мА

± (0,001 •Тизм + 0,018 мкА)

± (0,001-Тизм + 0,18 мкА)

± (0,001 •Тизм +1,8 мкА)

± (0,001 •Тизм+18,0 мкА)

± (0,001 •Тизм+180,0 мкА), где Тизм - измеренное значение, мА

Таблица 5 - Габаритные размеры и масса составных частей тестера

Составные части

Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм

Масса, кг

Основная стойка

1600х1000x800

570

Тестовая голова

450 х 710 х 710

290

Манипулятор

1600 х 420 х 800

510

Система охлаждения

1140х650х1050

380

Рабочая станция (ПЭВМ)

138 х 539 х 447

17,7

Таблица 6 - Характеристики напряжения питания тестера

Параметр

Минимальное значение

Максимальное значение

Напряжение сети переменного тока, В

200

480

Отклонения напряжения сети, %

-15

10

Частота напряжения сети, Г ц

47

63

Потребляемая мощность, кВт-А

40

Таблица 7 - Условия эксплуатации тестера

Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С

от 15 до 30

Относительная влажность воздуха при температуре 30 °С, %

от 50 до 80

Атмосферное давление, кПа

от 97 до 105

Средний срок службы, лет

10

Наработка на отказ, ч

4000

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на лицевую панель стойки в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Комплект поставки включает:

- тестер UltraFlex 810-72-00 (в составе: тестовая стойка, манипулятор, тестовая голова) - 1 комплект;

- рабочая станция (ПЭВМ) - 1 комплект;

- блок охлаждения - 1 комплект;

- комплект эксплуатационной документации («Тестер UltraFlex 810-72-00. Паспорт. АЕСН.442241.002 ПС»; «Тестер UltraFlex 810-72-00. Руководство по эксплуатации. АЕСН.442241.002 РЭ») - 1 комплект;

- Методика поверки - 1 шт.

Поверка

Осуществляется по документу «Инструкция. Тестер UltraFlex 810-72-00. Методика поверки.

АЕСН.442241.002 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 14.08.2012 г.

Основные средства поверки:

- мультиметр цифровой KEITHLEY 2010 (регистрационный номер 25787-08) (диапазон измерений напряжения постоянного тока 100 мВ - 1000 В, пределы допускаемой относительной погрешности измерений напряжения постоянного тока ± 0,004 %; диапазон измерений силы постоянного тока от 10 мА до 3А, пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы постоянного тока ± 0,12 %);

- частотомер электронно-счетный ЧЗ-63 (регистрационный номер 9084-90), диапазон измеряемых частот импульсных сигналов от 1 Гц до 200 МГц с пределами допускаемой погрешности измерений частоты ± 5-10’7 ± 1 ед.сч.;

- осциллограф цифровой TDS-2014B (регистрационный номер 24018-06), диапазон измерений (0 - 100) МГц с пределами допускаемой относительной погрешности измерений 1 %.

Сведения о методах измерений

Тестер UltraFlex 810-72-00. АЕСН.442241.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.

Нормативные документы

Тестер UltraFlex 810-72-00. АЕСН.442241.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.

Развернуть полное описание