Тестеры полупроводниковых компонентов SPEA DOT100, SPEA DOT400. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Тестеры полупроводниковых компонентов SPEA DOT100, SPEA DOT400

Основные
Тип
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год

Назначение

Тестеры полупроводниковых компонентов серии SPEA DOTIOO, SPEA DOT400 (далее по тексту - тестеры) предназначены для воспроизведений и измерений напряжения и силы постоянного тока.

Описание

Принцип действия тестеров основан на сравнении с помощью быстродействующих аналого-цифровых преобразователей выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля (далее по тексту - ФК), формируемым тестером.

Тестеры применяются для комплексной автоматизированной проверки микросхем широкой номенклатуры методами функционального алгоритмического контроля и параметрических измерений, а также для контроля и измерений параметров микросхем на пластинах и в корпусированном виде при разработке, испытаниях, производстве и входном контроле.

Тестеры имеют единую архитектуру построения, позволяют проводить гибкое конфигурирование в зависимости от требований по тестированию.

Тестеры обеспечивают снятие статических и динамических характеристик. Набор модулей позволяет проводить тестирование полупроводниковых компонентов цифрового, аналогового и смешанного типов.

Тестеры обеспечивают формирование входных воздействий на выводы интегральных микросхем (далее по тексту - ИМС) и полупроводниковые кристаллы на каждом канале в режимах:

-    импульсном с возвратом к нулю или единице с поканально-независимым заданием момента начала и окончания импульса;

-    потенциальном с поканально-независимым заданием момента переключения уровней и состояния.

Тестеры изготавливаются в двух исполнениях SPEA D0T100 и SPEA D0T400, отличающихся внешним видом и составом.

В зависимости от конфигурации тестеры состоят из основного измерительного блока, включающего источник питания, и отдельно стоящей управляющей электронновычислительной машиной ЭВМ на базе персонального компьютера. Дополнительно, в зависимости от конфигурации тестер может быть укомплектован дополнительной стойкой с силовыми функциональными модулями.

Измерительный блок построен по модульному принципу, в зависимости от назначения тестеры комплектуются измерительными и функциональными модулями.

Тестеры SPEA D0T400 могут комплектоваться следующими модулями:

-    модули DYPE200 - каждый модуль включает в свой состав 96 независимых аналоговоцифровых измерительных каналов (каналы типов №№ 2, 3, 4, 5, 7) с максимальной тактовой частотой 5 и 50 МГц. Общее количество каналов в тестере может составлять до 1536;

-    модули DYLPS100 - каждый модуль включает в свой состав 16 каналов источников питания низкой мощности (каналы типов №№ 1, 2), в состав каждого источника питания входит измеритель силы и напряжения постоянного тока с возможностью оцифровки сигнала, средства синхронизации, временных измерений и управления. Все источники питания поддерживают работу как по отдельности, так и при параллельном/последовательном включении посредством внутренней/внешней коммутации;

-    модули IPPS - включают в свой состав 4-х канальный источник питания (каналы типа № 1), в состав каждого источника входит измеритель силы (каналы типа № 3) и напряжения (каналы типа № 2) постоянного тока;

-    источник напряжения и силы постоянного тока высоковольтный HVS - включает в свой состав одноканальный источник питания высокого напряжения постоянного тока (каналы типа № 1) с измерителем напряжения (каналы типа № 2 и № 4) и силы постоянного тока (каналы типа № 3).

Тестеры SPEA DOTIOO комплектуются модулями DXPE100 - каждый модуль включает в свой состав 3 секции по 8 независимых аналогово-цифровых измерительных каналов/измерительных источников питания DPS (каналы типов №№ 2, 3, 4, 5, 7) с максимальной тактовой частотой 5 МГц и 3 секции по 8 независимых цифровых каналов с максимальной частотой до 50 МГц и один мультиплексированный аналоговый канал. Общее количество каналов в тестере может составлять до 768. В состав каждого источника питания DPS первой секции входит измеритель силы и напряжения постоянного тока с возможностью оцифровки сигнала, средства синхронизации, временных измерений и управления. Все источники питания поддерживают работу как по отдельности, так и параллельное/последовательное включение посредством внутренней/внешней коммутации.

В зависимости от конфигурации тестеров, измерительный блок может быть размещен как на манипуляторе, так и выполнен в виде настольного исполнения. Измерительный блок имеет принудительное воздушное охлаждение.

Каналы всех функциональных и измерительных модулей выведены на специализированный интерфейс с нулевым усилием. Через загрузочную плату, контактирующую со специализированным интерфейсом производится подключение объекта контроля к тестерам.

Модификация (конфигурация) тестеров определяется установленными типами функциональных модулей и их количеством. Данная информация не отражается в обозначении.

Выбор той или иной установки, ее конфигурации и необходимого количества каналов производится пользователем на основе решаемых задач.

Общий вид тестеров, места пломбирования и нанесения знака поверки представлены на рисунках 1 и 2.

Программное обеспечение

Программное обеспечение (далее по тексту - ПО) тестеров включает общее программное обеспечение (ОПО) - операционную систему MS Windows XP/7/8/10 и встроенное специальное программное обеспечение (далее по тексту - СПО) - «ATOS».

СПО «ATOS» является метрологически значимым. Оно позволяет задавать параметры измерений. С помощью СПО проводится управление процессами измерений. Метрологические характеристики тестеров нормированы с учетом влияния СПО «ATOS».

Идентификационные данные СПО приведены в таблице 1:

Таблица 1 - Идентификационные данные СПО

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование СПО

ATOS

Номер версии (идентификационный номер СПО), не ниже

2,7

Цифровой идентификатор СПО

-

Метрологически значимая часть CПО тестеров и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений.

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики тестеров приведены в таблицах 2-4.

Таблица 2 - Общие метрологические характеристики тестеров SPEA D0T400

Наименование характеристики

Значение

Модуль DYPE200

Секция аналогово/цифровых каналов с тактовой частотой до 5 МГц

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до 3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001-^p.v+0,016) ±(0,001-^p.v+0,008) ±(0,001- ap.v.+0,005)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,001/p.v+160+(Vdut-4)-32 В'1] ±[0,001/p.v.+40+(Vdut-4)-8 В'1] ±[0,001/p.v.+10+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,001/p.v.+2,56+(Vdut-4)0,512 В'1] ±[0,001/p.v.+0,64+(Vdut-4)-0,128 В'1] ±[0,001/p.v.+0,16+(Vdut-4)-0,032 В'1] ±[0,001/p.v.+0,04+(Vdut-4)-0,008 В'1] ±[0,001/p.v.+0,01+(Vdut-4)-0,002 В-1]

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001 •'^изм +0,004) ±(0,001 •иизм +0,003) ±(0,001 •Цизм +0,0015)

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,001/p.v.+80+(Fdut-4)-32 В'1] ±[0,001/p.v.+20+(Fdut-4)-8 В'1] ±[0,001/p.v.+5+(Fdut-4)-2 В-1] ±[0,001/p.v.+1,28+(Fdut-4)0,512 В'1] ±[0,001/p.v.+0,32+(Fdut-4)-0,128 В'1] ±[0,001/p.v.+0,08+(Fdut-4)-0,032 В'1] ±[0,001/p.v.+0,02+(Fdut-4)-0,008 В-1] ±[0,001/p.v.+0,006+(Fdut-4) 0,002 В-1]

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от -1,5 до +10 от -1 до + 6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001-Up.v.+0,016) ±(0,001-Up.v.+0,008) ±(0,001-Up.v.+0,005)

Наименование характеристики

Значение

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001 •'^изм +0,015)

±(0,001 •^изм +0,012) ±(0,001 •'^изм +0,010)

Секция аналогово/цифровых каналов с тактовой частотой до 50 МГц

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до 3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001 •-Up.v+0,02) ±(0,001Up.v.+0,012) ±(0,001Up.v.+ 0,008)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,001'/p.v.+160+(Vdut-4)-32 В'1] ±[0,001'/p.v.+40+(Vdut-4)-8 В-1] ±[0,001/p.v.+10+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,00Mp.v.+2,56+(Vdut-4)0,512 В'1] ±[0,001 -/p.v.+0,64+(Vdut-4) 0,128 В'1] ±[0,001 -/p.v.+0,16+(Vdut-4)- 0,032 В'1] ±[0,001 -7p.v.+0,04+(Vdut-4) 0,008 В'1] ±[0,001'/p.v.+0,01+(Vdut-4)-0,002 В-1]

от -1,5 до +10

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного

тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6.5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001'Цизм+ 0,012) ±(0,001 •иизм+0,006)

±(0,001-^+0,004)

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,001-/p.v.+ 80+(Vdut-4)-32 В-1] ±[0,00Mp.v.+20+(Vdut-4)-8 В'1] ±[0,00Mp.v+5+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,00Mp.v.+1,28+(Vdut-4)0,512 В'1] ±[0,001 -7p.v.+0,32+(Vdut-4)- 0,128 В'1] ±[0,001 Tp.v.+0,08+(Vdut-4)- 0,032 В'1] ±[0,001 •/p.v.+0,02+(Vdut-4)-0,008 В-1] ±[0,001 •7p.v.+0,006+(Vdut-4) 0,002 В-1]

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В:

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001-^p.v.+0,012) ±(0,001 • £/p.v.+0,008)

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В:

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001-tfp.v.+ 0,025) ±(0,001-tfp.v.+ 0,015)

Модуль DYLPS

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -10 до +10 от -5 до +5 от -2,5 до +2,5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -10 до +10 В

-    для диапазона от -5 до +5 В

-    для диапазона от -2,5 до +2,5 В

±(0,005^p.v.+0,002)

±(0,005^p.v.+0,001)

±(0,01^p.v.+0,0005)

Наименование характеристики

Значение

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -500 до +500 от -20 до +20 от -2 до +2 от -0,2 до +0,2 от -0,02 до +0,02

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -500 до +500 мА

-    для диапазона от -20 до +20 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,2 до +0,2 мА

-    для диапазона от -0,02 до +0,02 мА

±[0,0003-/p.v.+250+(Fdut-10)-15 В-1] ±[0,0002-/p.v.+10+(Fdut-10)-0,5 В-1] ±[0,0002-/p.v.+1+(Fdut-10)-0,05 В-1] ±[0,0002-/p.v.+0,1+(Fdut-10)-0,005 В-1] ±[0,0002-/p.v.+0,01+(Fdut-10)-0,001 В-1]

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3, В

от -10 до +10 от -5 до +5 от -2,5 до +2,5 от -1,25 до +1,25 от -0,625 до +0,625

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3*, В:

-    для диапазона от -10 до +10 В

-    для диапазона от -5 до +5 В

-    для диапазона от -2,5 до +2,5 В

-    для диапазона от -1,25 до +1,25 В

-    для диапазона от -0,625 до +0,625 В

±(0,001 •Цизм +0,002) ±(0,001 •Цизм +0,001)

±(0,001 •Цизм +0,0005) ±(0,001 •Цизм +0,0003)

±(0,01 •Цизм +0,0002)

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, мА

от -500 до +500 от -20 до +20 от -2 до +2 от -0,2 до +0,2 от -0,02 до +0,02

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений постоянного тока по каналам типа № 3*, мкА:

-    для диапазона от -500 до +500 мА

-    для диапазона от -20 до +20 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,2 до +0,2 мА

-    для диапазона от -0,02 до +0,02 мА

±[0,0003-/p.v.+250+(Vdut-10)15 В-1] ±[0,0002-/p.v.+10+(Vdut-10)0,5 В-1] ±[0,0002-/p.v.+1+(Vdut-10)0,05 В-1] ±[0,0002-Ip.v.+0,1+ (Vdut-10) 0,005 В-1] ±[0,0002-/p.v.+0,01+(Vdut-10)0,001 В-1]

Модуль IPPS

Диапазон воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от 0 до 20

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В

±(0,001-^+0,01)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, А

от 0 до 128 от 0 до 64

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, А:

-    для диапазона от 0 до 128 А

-    для диапазона от 0 до 64 А

±(0,002-/в + 0,128)

±(0,002-/в + 0,064)

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от 0 до 5 от 0 до 10 от 0 до 20

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В:

-    для диапазона от 0 до 5 В

-    для диапазона от 0 до 10 В

-    для диапазона от 0 до 20 В

±(0,005-Цизм + 0,001) ±(0,005-Цизм + 0,002) ±(0,005-Цизм + 0,004)

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, А

от 0 до 16 от 0 до 32 от 0 до 64 от 0 до 128

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3*, А:

-    для диапазона от 0 до 16 А

-    для диапазона от 0 до 32 А

-    для диапазона от 0 до 64 А

-    для диапазона от 0 до 128 А

±(0,005-/изм +0,016) ±(0,005-/Шм +0,032) ±(0,005-/изм +0,064) ±(0,005-/Шм +0,128)

Источник напряжения и тока высоковольтный HVS

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от 0 до 2500 от 0 до 1000 от 0 до 500 от 0 до 200

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В

±(0,005 •Ц +0,001 •Цпред)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от 0 до 50 от 0 до 5 от 0 до 1 от 0 до 0,1

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мА

±(0,01 / +0,001 •/пред )

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от 0 до 2500 от 0 до 1250 от 0 до 500 от 0 до 250

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В

±(0,005 • Цизм +0,001 • Цпред)

Наименование характеристики

Значение

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, мА

от 0 до 50 от 0 до 25 от 0 до 10 от 0 до 5 от 0 до 2,5 от 0 до 1 от 0 до 0,5 от 0 до 0,2 от 0 до 0,1 от 0 до 0,05 от 0 до 0,02 от 0 до 0,01

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3*, мА

±(0,002•/изм+0,001 •/пред)

от 0 до 2500

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4, В

от 0 до 1250 от 0 до 500 от 0 до 250

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4*, В

±(0,005 • Ццзм+0,004- Цпред)

Примечания - * - в формулах расчета пределов допускаемой абсолютной погрешности:

/изм - значения силы постоянного тока, измеренные при помощи тестера, мА (А);

иизм - значения напряжения постоянного тока, измеренные при помощи тестера, В;

/в - значения силы постоянного тока, воспроизведенные при помощи тестера, мА (А);

ив - значения напряжения постоянного тока, воспроизведенные при помощи тестера, В;

/пред - верхний предел измерений (или воспроизведений) силы постоянного тока, мА (А); ипред - верхний предел измерений (или воспроизведений) напряжения постоянного тока, В;

/p.v. - запрограммированное (установленное пользователем) значение силы постоянного тока, мА (А);

Up.v. - запрограммированное (установленное пользователем) значение напряжения постоянного тока, В;

Vdut -значение измеренного напряжения на объекте измерения (с учетом влияния всех факторов (падения напряжения, потери)), В.

Таблица 3 - Общие метрологические характеристики SPEA D0T100

Наименование характеристики

Значение

Модуль DXPE100

Секция аналогово/цифровых каналов и источников питания (8 источников питания DPS и 8 цифровых каналов) с тактовой частотой до 5 МГц

(3 секции)

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,0001 £/p.v.+0,016) ±(0,0001 f/p.v.+0,008) ±(0,0001 f/p.v.+0,005)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,0017p.v.+160+(Fdut-4)-32 В'1] ±[0,0017p.v.+40+(Fdut-4)-8 В'1] ±[0,0017p.v.+10+(Fdut-4)-2 В-1] ±[0,0017p.v.+2,56+(Fdut-4)-0,512 В'1] ±[0,0017p.v.+0,64+(Fdut-4)-0,128 В'1] ±[0,0017p.v.+0,16+(Fdut-4)-0,032 В'1] ±[0,0017p.v.+0,04+(Fdut-4)-0,008 В'1] ±[0,0017p.v.+0,01+(Fdut-4)-0,002 В-1]

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Наименование характеристики

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

Значение

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

±(0.0001 • Up.v.+0,004) ±(0.0001-Up.v.+0,003) ±(0.0001-Up.v+0,0015)

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В_

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,0017p.v+80+(Vdut-4)-32 В'1] ±[0,0017p.v.+20+(Vdut-4)-8 В'1] ±[0,0017p.v.+5+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,0017p.v.+1,28+(Vdut-4) 0,512 В-1]

±[0,0017p.v.+0,32+(Vdut-4) 0,128 В-1]

±[0,0017p.v.+0,08+(Vdut-4)-0,032 В-1] ±[0,0017p.v.+0,002+(Vdut-4) 0,008 В'1] ±[0,0017p.v+0,006+(ydut-4)-0,002 В-1]

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция), В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция)*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

±(0,0001-Up.v.+0,016) ±(0,0001 • Up.v.+0,008) ±(0,0001-Up.v+0,005)

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В_

Наименование характеристики

Значение

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция), В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция)*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,0001 Up.v.+0,015) ±(0,0001 • Up.v.+0,012) ±(0,0001 Up.v.+0,010)

Секция цифровых каналов и мультиплексированного аналогового канала (8 цифровых каналов и 1 мультиплексированный аналоговый канал) с

тактовой частотой до 50 МГц (3 секции)

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до 3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001 Up.v+0,020) ±(0,001 Up.v.+0,012) ±(0,001 Up.v+0,008)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,0017p.v.+160+(Vdut-4)-32 В'1] ±[0,0017p.v.+40+(Vdut-4)-8 В'1] ±[0,0017p.v+10+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,001 •/p.v.+2,56+(Vdut-4)0,512 В'1] ±[0,0017p.v.+0,64+(Vdut-4)-0,128 В'1] ±[0,0017p.v.+0,16+(Vdut-4)-0,032 В'1] ±[0,0017p.v.+0,04+(Vdut-4)-0,008 В'1] ±[0,0017p.v.+0,01+(Vdut-4)-0,002 В-1]

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока мультиплексированного аналогового канала, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока мультиплексированного аналогового канала*, В:

- для диапазона от -1,5 до +10 В

±(0,0001 -^.+0,012)

- для диапазона от -1 до +6,5 В

±(0,0001 -^.+0,006)

- для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,0001 -^.+0,004)

Диапазоны измерений силы постоянного тока мультиплексированного аналогового

от -32 до +32

канала, мА

от -8 до +8

от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока мультиплексированного аналогового канала *, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,0017p.v+80+(Vdut-4)-32 В'1] ±[0,0017p.v+20+(Vdut-4)-8 В'1] ±[0,0017p.v+5+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,0017p.v.+1,28+(Vdut-4)0,512 В'1] ±[0,0017p.v.+0,32+(Vdut-4)-0,128 В'1] ±[0,001 • /p.v.+0,08+(Vdut-4)-0,032 В-1] ±[0,001 • /p.v.+0,002+(Vdut-4) 0,008 В ] ±[0,001 • /p.v.+0,006+(Vdut-4) 0,002 В-1]

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция), В

от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция)*, В:

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,0001 • Up.v.+0,012) ±(0,0001 • Up.v.+0,008)

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция), В

от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция)*, В:

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3В

±(0,0001 • Up.v.+0,025) ±(0,0001-Up.v.+0,015)

Примечания - * - в формулах расчета пределов допускаемой абсолютной погрешности:

1изм - значения силы постоянного тока, измеренные при помощи тестера, мА (А); иизм - значения напряжения постоянного тока, измеренные при помощи тестера, В;

1в - значения силы постоянного тока, воспроизведенные при помощи тестера, мА (А); ив - значения напряжения постоянного тока, воспроизведенные при помощи тестера, В;

1пред - верхний предел измерений (или воспроизведений) силы постоянного тока, мА (А); ипред - верхний предел измерений (или воспроизведений) напряжения постоянного тока, В;

Ip.v. - запрограммированное (установленное пользователем) значение силы постоянного тока, мА (А);

Up.v. - запрограммированное (установленное пользователем) значение напряжения постоянного тока, В;

Vdut -значение измеренного напряжения на объекте измерения (с учетом влияния всех факторов (падения напряжения, потери)), В.

Таблица 4 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Рабочие условия измерений:

-    температура окружающего воздуха, °С

-    относительная влажность воздуха, %

-    атмосферное давление, мм рт.ст.

от +15 до +25 65±15 от 720 до 780

Габаритные размеры (высотахдлинахширина), мм, не более

600x400x400

Масса, кг, не более

50

Средний срок службы, лет

10

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель тестера методом гравирования и на титульный лист паспорта типографским способом.

Комплектность

Комплект поставки тестеров представлен в таблице 5.

Таблица 5 - Комплектность тестеров

Наименование

Количество

Тестер полупроводниковых компонентов серии SPEA D0T100 (SPEA D0T400)

1 шт.

Методика поверки ИЦРМ-МП-112-18

1 экз.

Паспорт

1 экз.

Руководство по эксплуатации

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу ИЦРМ-МП-112-18 «Тестеры полупроводниковых компонентов серий SPEA D0T100, SPEA D0T400. Методика поверки», утвержденному

ООО «ИЦРМ» 19.03.2018 г.

Основные средства поверки:

-    калибратор универсальный 9100 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 25985-09);

-    мультиметр цифровой прецизионный Fluke 8508A (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 25984-14);

-    шунт токовый АКИП-7501 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 49121-12);

-    делитель напряжений ДН-200э (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 54883-13).

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки на корпус тестеров и (или) в виде наклейки или оттиска поверительного клейма в паспорт.

Сведения о методах измерений

отсутствуют.

Нормативные документы

ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия

ГОСТ 14014-91 Приборы и преобразователи измерительные цифровые напряжения, тока, сопротивления. Общие технические требования и методы испытаний Техническая документация фирмы-изготовителя

Развернуть полное описание