Назначение
Установка для измерения поверхностного сопротивления четырех зондовым методом ResMap 168 (далее по тексту - установка) предназначена для измерений электрического сопротивления материалов и применяется при разработке, испытаниях, техническом обслуживании и ремонте образцов радиоэлектронной аппаратуры на объектах сферы обороны и безопасности.
Описание
Принцип действия установки основан на определении электрического сопротивления исходных пластин и на косвенном определении концентрации легирующей примеси полупроводниковых слоев.
Конструктивно установка выполнена в виде моноблока.
Для измерения поверхностного сопротивления установка имеет четырех точечный зонд. Он представляет собой точный инструмент для измерения поверхностного сопротивления в проводящих элементах (обычно тонкий слой плёнки в полупроводниках), называемый сопротивлением квадрата пленки, «Rs».
Установка управляется через интерфейс SECS-II с ПЭВМ.
Технические характеристики
Основные технические характеристики установки приведены в таблице. Таблица
| Наименование характеристики | Значения характеристики |
| Диапазон измерений электрического сопротивления постоянному току, Ом | от 5-10'3 до 5106 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления постоянному току, % | ±0,5 |
| Пределы допускаемой погрешности воспроизведения электрического сопротивления постоянному току калибровочными резисторами, % | ±0,15 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 0,5) Гц, В | 220 ± 22 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 500 |
| Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более | 710 х 300 х 280 |
| Масса, кг, не более | 10 |
Рабочие условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха, °C..............................................................................от 0 до 50;
- относительная влажность воздуха при температуре 25 °C, % .................................................до 80;
- атмосферное давление, мм рт.ст....................................................................................от 630 до 800.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель установки в виде наклейки и на техническую документацию фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом ResMap 168, набор калибровочных резисторов номинальными значениями электрического сопротивления постоянному току 0,10115, 1,00739, 10,01765, 100,353 Ом, 1,006354, 10,03022 кОм, ПЭВМ, техническая документация фирмы-изготовителя, методика поверки.
Поверка
Поверка установки проводится в соответствии с документом «Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом ResMap 168 фирмы «Creative Design Engineering Inc.», США. Методика поверки», утвержденным начальником ГЦИ СИ «Воен-тест» 32 ГНИИИ МО РФ в сентябре 2009 года и входящим в комплект поставки.
Средства поверки: нановольтметр/микроомметр 34420А фирмы "Agilent Technologies", Малайзия (диапазон измерений электрического сопротивления от 1 мкОм до 1 МОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления ± (0,006 - 0,007) %).
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
ГОСТ 8.028-86 «ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений электрического сопротивления».
Заключение
Тип установки для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом ResMap 168 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.
