Назначение
Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1 (далее по тексту - установка) предназначена для автоматизированного измерения толщин полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).
Описание
Принцип действия установки основан на эллипсометрическом методе измерения тонких пленок. Установка состоит из измерительного модуля и SMIF-загрузчика для автоматического размещения измеряемых образцов пленок в измерительном модуле.
В установке реализованы методы эллипсометрического исследования тонких пленок
- спектральная эллипсометрия с вращающимся компенсатором в диапазоне длин волн от 633 до 905 нм и многоракурсная поляризационная рефлектометрия в диапазоне длин волн от 190 до 905 нм.
Общий вид установки представлен на рисунке 1.
Место пломбировки представлено на рисунке 2.
КТ-1
Рисунок 2 - Места пломбировки
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в установке осуществляется с помощью специального программного обеспечения Rudolph Technologies: Operator. Программное обеспечение служит для настройки эллипсометра, проведения измерений, анализа и обработки полученных данных.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные: Таблица 1
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Rudolph Technologies: Operator |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | не ниже 7.8431 S |
| Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | - |
Программное обеспечение устанавливается в определенную директорию жесткого диска персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия
- изготовителя с помощью специального оборудования.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» согласно Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений толщины, нм | от 10 до 1000 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, нм | ±2 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон показаний толщины, нм | от 1,5 до 30000 |
| Спектральный диапазон длин волн, нм | от 190 до 905 |
| Напряжение электропитания, В | 220 ± 10 |
| Частота сети питания, Гц | 50 ± 1 |
| Мощность, В-А | 4900 |
| Габаритные размеры, мм, не более | 1752x1041x1803 |
| Масса, кг, не более | 832 |
| Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур, °С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа | от +15 до +25 80 от 84 до 106,7 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 4
| Наименование характеристики | Обозначение | Количество |
| Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ -1 | зав.№ 001 | 1 шт. |
| SMIF-загрузчик ARM 1150 | - | 1 шт. |
| SMIF-контейнер для пластин Asyst 9700-4950-01 | - | 1 шт. |
| Кассета для пластин FB15A100H02 | - | 1 шт. |
| Устройство открытия-закрытия SMIF-контейнеров Pod Opener | - | 1 шт. |
| Сосуд | ГНДИ.307441.001 | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 030.М44-20 | 1 экз. |
| Руководство по эксплуатации | 000.037.МК03 РЭ | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 030.М44-20 «ГСИ. Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 04 сентября 2020 г.
Основные средства поверки:
Рабочий эталон единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий в диапазоне значений от 10 до 1000 нм (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 3.1.ZZA.0123.2019).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы, устанавливающие требования к установке контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоёв КТ-1
Локальная поверочная схема средств измерений толщины покрытий в диапазоне значений от 1 до 1000 нм, утвержденная ФГУП «ВНИИОФИ» 08.08.2019
79934-20: Методика поверки МП 030.М44-20Скачать6.0 Мб