Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3

Назначение

Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 (далее по тексту установка) предназначена для воспроизведения и точных измерений абсолютного давления негорючих газов.

Описание

Установка представляет собой вакуумную откачную систему с измерительной камерой, на которой установлены два эталонных вакуумметра - ионизационный AIGX и деформационно-термопарный ВДТО-3.

Принцип действия установки основан на непосредственном измерении эталонными вакуумметрами, входящими в состав установки, абсолютного давления, создаваемого форвакуумным и турбомолекулярным насосами в измерительной камере. Регулирование давления в камере установки осуществляется при помощи вакуумных клапанов и натекателя.

Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. На передней панели корпуса расположены органы управления установкой и лицевые панели электронного блока вакуумметра ВДТО-3 и контроллера TIC, который предназначен для управления турбомолекулярным насосом и отображения значений давления, измеряемого вакуумметром AIGX. К измерительной камере кроме эталонных вакуумметров подключен вакуумметр сопротивления APG, предназначенный для индикации давления в форвакуумной линии турбомолекулярного насоса, и вакуумметр тепловой CVM211 для контроля давления в измерительной камере установки. При поверке (калибровке) на установке рабочих средств измерений низких абсолютных давлений (вакуумметров) их измерительные преобразователи подключают к соответствующим клапанам измерительной камеры установки. Поверка (калибровка) вакуумметров осуществляется непосредственным сличением их показаний с

5    2

показаниями эталонных вакуумметров установки: в диапазоне от 1-10 до 1-10 Па с

2    3

вакуумметром AIGX, в диапазоне свыше 1-10 до 1-10 Па с вакуумметром ВДТО-3.

Внешний вид установки приведен на рисунке 1.

5    3

Диапазон измерений, Па    от 1-10 до 1-10

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, %

в диапазоне от 1-10"5 до 1-10"2 Па    ±15

2    3

в диапазоне свыше 1-10 до 1-10 Па    ±10

Предельное остаточное давление, Па, не более    1 -10"6 Электропитание установки:

•    напряжение, В    220±22

•    частота, Гц    50±1

Потребляемая мощность, кВ-А, не более    2,5

Габаритные размеры, мм, не более:

•    длина    1300

•    ширина    750

•    высота    1400

Масса, кг, не более    200

Средняя наработка до метрологического отказа, ч    10000

Средний срок службы, лет    10

Условия эксплуатации:

-    температура окружающего воздуха, °С    20±5

-    относительная влажность окружающего воздуха, %    60±15

-    атмосферное давление, кПа    от 84 до 106,7

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации и формуляра, фотохимическим или иным методом на корпус установки.

Комплектность

У становка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 - 1 шт.

Руководство по эксплуатации - 1 экз.

Формуляр - 1 экз.

Методика поверки МП 231-0029-2015 - 1 экз.

Поверка

осуществляется по методике поверки МП 231 -0029-2015 «Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3. Методика поверки», утвержденной ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 05.02.2015 г.

Основные средства измерений, применяемые при поверке:

Вакуумметр мембранно-емкостный Баратрон, входящий в состав государственного специального эталона ГЭТ 49-80, диапазон измерений от 10-3 до 103 Па, СКО не более 0,3 • 10-2, НСП не более 0,3 10-2

Вакуумметр вязкостный с вращающимся шариком SRG, диапазон измерений от 5,010-5 до 100 Па, пределы допускаемой относительной погрешности ±(5.1,3) % в диапазоне от 510-5 до 1 Па; ±10 % в диапазоне от 1 до 100 Па.

Вакуумметр ионизационный AIGX-S, диапазон измерений от 6,6-10" до 6,6 Па, пределы допускаемой относительной погрешности ±15 %.

Сведения о методах измерений

Сведения о методе измерений приведены в документе «Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3. Руководство по эксплуатации».

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3

1    ГОСТ 8.107-81 «Государственный специальный эталон и государственная

8 3

поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10 -1-10 Па».

2    Техническая документация изготовителя.