Назначение
Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 (далее по тексту -установка) предназначена для воспроизведения и точных измерений абсолютного давления негорючих и неагрессивных газов с целью поверки и калибровки средств измерений низких абсолютных давлений и вакуума.
Описание
Установка представляет собой вакуумную откачную систему с измерительной камерой, на которой установлены два эталонных вакуумметра - ионизационный AIGX и деформационно-термопарный ВДТО-3.
Принцип действия установки основан на непосредственном измерении эталонными вакуумметрами, входящими в состав установки, абсолютного давления, создаваемого форвакуумным и турбомолекулярным насосами в измерительной камере. Регулирование давления в камере установки осуществляется при помощи вакуумных клапанов и натекателя.
Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. На передней панели корпуса расположены органы управления установкой и лицевые панели электронного блока вакуумметра ВДТО-3 и контроллера TIC, который предназначен для управления турбомолекулярным насосом и отображения значений давления, измеряемого вакуумметром AIGX. К измерительной камере, кроме эталонных вакуумметров, подключен вакуумметр сопротивления APG, предназначенный для индикации давления в форвакуумной линии турбомолекулярного насоса, и вакуумметр тепловой CVM211 для контроля давления в измерительной камере установки. При поверке (калибровке) на установке рабочих средств измерений низких абсолютных давлений (вакуумметров) их измерительные преобразователи подключают к соответствующим клапанам измерительной камеры установки. Поверка (калибровка) вакуумметров осуществляется непосредственным сличением их показаний с
5 2
показаниями эталонных вакуумметров установки: в диапазоне от 1-10 до 1-10 Па с
2 5
вакуумметром AIGX, в диапазоне свыше 1-10 до 1,06 -10 Па с вакуумметром ВДТО-3. Пломбировка корпуса установки не предусмотрена.
Общий вид установки приведен на рисунке 1.
f f
Рисунок 1 - Общий вид установки вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3
На рисунке 2 изображена шильда маркировки установки.
Программное обеспечение
отсутствует.
Технические характеристики
Таблица 1 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений давления, Па | от 1-10-5 до 1,06- 105 Па |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % 5 2 в диапазоне от 1-10 до 1- 10 Па включ. 2 3 в диапазоне свыше 1-10 до 6,65- 10 Па включ. Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений, Па 3 5 в диапазоне свыше 6,65-10 до 1,06 -10 Па | ±15 ±10 ±665 |
| Остаточное давление, Па, не более | 1-10-6 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Параметры электрического питания: | |
| - напряжение переменного тока, В | 220±22 |
| - частота переменного тока, Гц | 50±1 |
| Потребляемая мощность, кВ-А, не более | 2,5 |
| Габаритные размеры, мм, не более | |
| - длина | 1300 |
| - ширина | 780 |
| - высота | 1400 |
| Масса, кг, не более | 200 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающей среды, °С | от +15 до +30 |
| - относительная влажность, %, не более | 80 |
| - атмосферное давление, кПа | от 84 до 106,7 |
| Средняя наработка на отказ, ч | 10000 |
| Средний срок службы, лет | 10 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации, фотохимическим или иным методом на корпус установки.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Кол-во |
| Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда | УВЭ-3 | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Комплект запасных частей и принадлежностей | - | 1 компл. |
| Методика поверки | МП 231-0078-2020 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 231-0078-2020 «ГСИ. Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 29 апреля 2020 г.
Основные средства поверки:
Вакуумметр ионизационный AIGX-S, диапазон измерений абсолютного давления в диапазоне от 6,6-10" до 6,6 Па, допускаемая относительная погрешность ±15 % (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 44388-10).
Рабочий эталон 1 разряда единицы абсолютного давления по ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств
8 3
измерений абсолютного давления в диапазоне 1 10 -1 10 Па», в диапазоне измерений абсолютного давления от 1,040-7 до 1,0^ 103 Па, пределы допускаемой относительной погрешности ±(7^3) % (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 3.1.ZZB.0050.2015).
Рабочий эталон 1 разряда единицы абсолютного давления по Государственной
1 7
поверочной схеме для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 110 -110», утвержденной Приказом Росстандарта № 2900 от 06.12.2019 г., диапазон абсолютного давления от 5 до 1300 гПа, пределы допускаемой абсолютной погрешности 10 Па (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 3.1.ZZB.0084.2015).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке и (или) корпус.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная
8 3
поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 10 -1 10 Па
Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 110-1 - 1107, утвержденная Приказом Росстандарта № 2900 от 06.12.2019 г. Техническая документация изготовителя
79069-20: Методика поверки МП 231-0078-2020Скачать3.2 Мб